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1. WO2020064201 - SPECTROMÈTRE DE MASSE ET PROCÉDÉ D'ANALYSE D'UN GAZ PAR SPECTROMÉTRIE DE MASSE

Numéro de publication WO/2020/064201
Date de publication 02.04.2020
N° de la demande internationale PCT/EP2019/071577
Date du dépôt international 12.08.2019
CIB
H01J 49/04 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
49Spectromètres pour particules ou tubes séparateurs de particules
02Détails
04Dispositions pour introduire ou extraire les échantillons devant être analysés, p.ex. fermetures étanches au vide; Dispositions pour le réglage externe des composants électronoptiques ou ionoptiques
CPC
H01J 49/0422
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
49Particle spectrometers or separator tubes
02Details
04Arrangements for introducing or extracting samples to be analysed, e.g. vacuum locks; Arrangements for external adjustment of electron- or ion-optical components
0422for gaseous samples
Déposants
  • CARL ZEISS SMT GMBH [DE]/[DE]
Inventeurs
  • CHUNG, Anthony Hin Yiu
  • BENTER, Thorsten
  • ALIMAN, Michel
  • REUTER, Rüdiger
  • BRACHTHÄUSER, Yessica
Mandataires
  • KOHLER SCHMID MÖBUS PATENTANWÄLTE PARTNERSCHAFTSGESELLSCHAFT MBB
Données relatives à la priorité
10 2018 216 623.427.09.2018DE
Langue de publication allemand (DE)
Langue de dépôt allemand (DE)
États désignés
Titre
(DE) MASSENSPEKTROMETER UND VERFAHREN ZUR MASSENSPEKTROMETRISCHEN ANALYSE EINES GASES
(EN) MASS SPECTROMETER AND METHOD FOR ANALYSING A GAS BY MASS SPECTROMETRY
(FR) SPECTROMÈTRE DE MASSE ET PROCÉDÉ D'ANALYSE D'UN GAZ PAR SPECTROMÉTRIE DE MASSE
Abrégé
(DE)
Die Erfindung betrifft ein Massenspektrometer (1) zur massenspektrometrischen Analyse eines Gases (2), umfassend: ein steuerbares Einlasssystem (6) zum gepulsten Zuführen des zu analysierenden Gases (2) aus einem Prozessbereich (4) außerhalb des Massenspektrometers (1) in einen lonisierungsbereich (11), eine lonisierungseinrichtung (14) zur Ionisierung des zu analysierenden Gases (2) in dem lonisierungsbereich (11), eine lonentransfereinrichtung (21) zum Transferieren des ionisierten Gases (2a) von dem lonisierungsbereich (11) über einen lonentransferbereich (20) in einen Analysebereich (25) und einen Analysator (26) zur Detektion des ionisierten Gases (2a) in dem Analysebereich (25). Die Erfindung betrifft auch ein zugehöriges Verfahren zur massenspektrometrischen Analyse eines Gases (2).
(EN)
The invention relates to a mass spectrometer (1) for analysing a gas (2) by mass spectrometry, comprising: a controllable inlet system (6) for pulsed feeding of the gas (2) to be analysed from a process region (4) outside the mass spectrometer (1) into an ionisation region (11), an ionisation device (14) for ionising the gas (2) to be analysed in the ionisation region (11), an ion transfer device (21) for transferring the ionised gas (2a) from the ionisation region (11) via an ion transfer region (20) into an analysis region (25), and an analyser (26) for detecting the ionised gas (2a) in the analysis region (25). The invention further relates to an associated method for mass spectrometrically analysing a gas (2).
(FR)
L'invention concerne un spectromètre de masse (1) pour l'analyse par spectrométrie de masse d'un gaz (2), comprenant : un système d'admission commandable (6) pour acheminer de manière pulsée le gaz à analyser (2) à partir d'une zone de processus (4) située à l'extérieur du spectromètre de masse (1) dans une zone d'ionisation (11), un dispositif d'ionisation (14) servant à ioniser le gaz à analyser (2) dans la zone d'ionisation (11), un dispositif de transfert d'ions (21) servant à transférer le gaz ionisé (2a) de la zone d'ionisation (11) par l'intermédiaire d'une zone de transfert d'ions (20) dans une zone d'analyse (25), et un analyseur (26) servant à détecter le gaz ionisé (2a) dans la zone d'analyse (25). L'invention concerne également un procédé correspondant d’analyse d'un gaz (2) par spectrométrie de masse.
Également publié en tant que
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