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1. WO2020018079 - COMMANDE DE CYCLE DE SERVICE, DE PROFONDEUR ET D'ÉNERGIE DE SURFACE EN NANO-FABRICATION

Numéro de publication WO/2020/018079
Date de publication 23.01.2020
N° de la demande internationale PCT/US2018/042488
Date du dépôt international 17.07.2018
CIB
B29C 33/38 2006.01
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
29TRAVAIL DES MATIÈRES PLASTIQUES; TRAVAIL DES SUBSTANCES À L'ÉTAT PLASTIQUE EN GÉNÉRAL
CFAÇONNAGE OU ASSEMBLAGE DES MATIÈRES PLASTIQUES; FAÇONNAGE DES MATIÈRES À L'ÉTAT PLASTIQUE NON PRÉVU AILLEURS; POST-TRAITEMENT DES PRODUITS FAÇONNÉS, p.ex. RÉPARATION
33Moules ou noyaux; Leurs détails ou accessoires
38caractérisés par la matière ou le procédé de fabrication
B29C 33/42 2006.01
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
29TRAVAIL DES MATIÈRES PLASTIQUES; TRAVAIL DES SUBSTANCES À L'ÉTAT PLASTIQUE EN GÉNÉRAL
CFAÇONNAGE OU ASSEMBLAGE DES MATIÈRES PLASTIQUES; FAÇONNAGE DES MATIÈRES À L'ÉTAT PLASTIQUE NON PRÉVU AILLEURS; POST-TRAITEMENT DES PRODUITS FAÇONNÉS, p.ex. RÉPARATION
33Moules ou noyaux; Leurs détails ou accessoires
42caractérisés par la forme de la surface de moulage, p.ex. par des nervures ou des rainures
B29C 33/56 2006.01
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
29TRAVAIL DES MATIÈRES PLASTIQUES; TRAVAIL DES SUBSTANCES À L'ÉTAT PLASTIQUE EN GÉNÉRAL
CFAÇONNAGE OU ASSEMBLAGE DES MATIÈRES PLASTIQUES; FAÇONNAGE DES MATIÈRES À L'ÉTAT PLASTIQUE NON PRÉVU AILLEURS; POST-TRAITEMENT DES PRODUITS FAÇONNÉS, p.ex. RÉPARATION
33Moules ou noyaux; Leurs détails ou accessoires
56Revêtements; Agents de démoulage, de lubrification ou de séparation
CPC
B82Y 40/00
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
82NANOTECHNOLOGY
YSPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
40Manufacture or treatment of nanostructures
G02B 2005/1804
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
5Optical elements other than lenses
18Diffraction gratings
1804Transmission gratings
G02B 2027/0123
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
27Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
01Head-up displays
0101characterised by optical features
0123comprising devices increasing the field of view
G02B 2027/0174
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
27Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
01Head-up displays
017Head mounted
0172characterised by optical features
0174holographic
G02B 27/0081
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
27Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
0081with means for altering, e.g. enlarging, the entrance or exit pupil
G02B 27/0172
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
27Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
01Head-up displays
017Head mounted
0172characterised by optical features
Déposants
  • FACEBOOK TECHNOLOGIES, LLC [US]/[US]
Inventeurs
  • MOHANTY, Nihar Ranjan
  • LEIBOVICI, Matthieu Charles Raoul
Mandataires
  • THOMAS, Daniel, A.
  • MOON, William, A.
Données relatives à la priorité
16/036,72216.07.2018US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) DUTY CYCLE, DEPTH, AND SURFACE ENERGY CONTROL IN NANO FABRICATION
(FR) COMMANDE DE CYCLE DE SERVICE, DE PROFONDEUR ET D'ÉNERGIE DE SURFACE EN NANO-FABRICATION
Abrégé
(EN)
Techniques for fabricating slanted surface-relief structures are disclosed. In some embodiments, a method for of fabricating a target slanted surface-relief structure, such as a nanoimprint lithography (NIL) mold or a slanted surface-relief grating, includes manufacturing a preliminary surface-relief structure that includes a plurality of ridges and modifying a parameter of the preliminary surface-relief structure to make the target slanted surface-relief structure. The parameter includes a width of each of the plurality of ridges, a height of each of the plurality of ridges, a surface energy of the preliminary surface-relief structure, or a slant angle of an edge of the plurality of ridges. Modifying the parameter includes depositing a material layer on the preliminary surface-relief structure and etching or surface-treating the material layer.
(FR)
La présente invention concerne des techniques de fabrication de structures inclinées à surface en relief. Dans certains modes de réalisation, l'invention concerne un procédé de fabrication d'une structure inclinée cible à surface en relief, telle qu'un moule de lithographie par nano-impression (NIL) ou un réseau incliné à surface en relief, comprenant la fabrication d'une structure préliminaire à surface en relief qui comprend une pluralité de crêtes et la modification d'un paramètre de la structure préliminaire à surface en relief pour fabriquer la structure inclinée cible à surface en relief. Le paramètre comprend une largeur de chacune de la pluralité de crêtes, une hauteur de chacune de la pluralité de crêtes, une énergie de surface de la structure préliminaire à surface en relief ou un angle d'inclinaison d'un bord de la pluralité de crêtes. La modification du paramètre comprend le dépôt d'une couche de matériau sur la structure préliminaire à surface en relief et la gravure ou le traitement de surface de la couche de matériau.
Également publié en tant que
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