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1. WO2020010838 - PROCÉDÉ DE PRÉPARATION D'UN FIL MÉTALLIQUE ET PROCÉDÉ DE PRÉPARATION D'UNE GRILLE MÉTALLIQUE, ET POLARISEUR À GRILLE MÉTALLIQUE ET APPAREIL ÉLECTRONIQUE

Numéro de publication WO/2020/010838
Date de publication 16.01.2020
N° de la demande internationale PCT/CN2019/072993
Date du dépôt international 24.01.2019
CIB
G02B 5/30 2006.01
GPHYSIQUE
02OPTIQUE
BÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
5Eléments optiques autres que les lentilles
30Eléments polarisants
H01L 21/3065 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
02Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
04les dispositifs présentant au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface, p.ex. une jonction PN, une région d'appauvrissement, ou une région de concentration de porteurs de charges
18les dispositifs ayant des corps semi-conducteurs comprenant des éléments du groupe IV de la classification périodique, ou des composés AIIIBV, avec ou sans impuretés, p.ex. des matériaux de dopage
30Traitement des corps semi-conducteurs en utilisant des procédés ou des appareils non couverts par les groupes H01L21/20-H01L21/26162
302pour changer leurs caractéristiques physiques de surface ou leur forme, p.ex. gravure, polissage, découpage
306Traitement chimique ou électrique, p.ex. gravure électrolytique
3065Gravure par plasma; Gravure au moyen d'ions réactifs
CPC
G02B 5/3058
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
5Optical elements other than lenses
30Polarising elements
3025Polarisers, i.e. arrangements capable of producing a definite output polarisation state from an unpolarised input state
3058comprising electrically conductive elements, e.g. wire grids, conductive particles
Déposants
  • 京东方科技集团股份有限公司 BOE TECHNOLOGY GROUP CO., LTD. [CN]/[CN]
Inventeurs
  • 董水浪 DONG, Shuilang
  • 谷新 GU, Xin
  • 郭康 GUO, Kang
  • 路达 LU, Da
  • 刘清召 LIU, Qingzhao
  • 赵磊 ZHAO, Lei
Mandataires
  • 北京市柳沈律师事务所 LIU, SHEN & ASSOCIATES
Données relatives à la priorité
201810759614.611.07.2018CN
Langue de publication chinois (ZH)
Langue de dépôt chinois (ZH)
États désignés
Titre
(EN) METHOD FOR PREPARING METAL WIRE AND METHOD FOR PREPARING METAL WIRE GRID, AND WIRE GRID POLARIZER AND ELECTRONIC APPARATUS
(FR) PROCÉDÉ DE PRÉPARATION D'UN FIL MÉTALLIQUE ET PROCÉDÉ DE PRÉPARATION D'UNE GRILLE MÉTALLIQUE, ET POLARISEUR À GRILLE MÉTALLIQUE ET APPAREIL ÉLECTRONIQUE
(ZH) 金属线及金属线栅的制备方法以及线栅偏振片、电子装置
Abrégé
(EN)
Provided are a method for preparing a metal wire (1021, 2021), a method for preparing a metal wire grid (3021), and a wire grid polarizer (30) and an electronic apparatus (10). The method for preparing the metal wire (1021, 2021) comprises: forming a metal material layer (102, 302) on a base substrate (101, 301); and etching the metal material layer (102, 302) using a composite gas comprising an etching gas and a coating reaction gas so as to form the metal wire (1021, 2021) and a protective coating (1022, 2022, 3022) at the surface of the metal wire (1021, 2021). When the metal wire (1021, 2021) is formed using the method for preparing the metal wire (1021, 2021), the protective coating (1022, 2022, 3022) can be formed on the surface of the metal wire (1021, 2021) during etching, and the protective coating (1022, 2022, 3022) can protect the metal wire (1021, 2021), and the morphology of the formed metal wire (1021, 2021) can be made to be closer to a target morphology.
(FR)
L'invention porte sur un procédé de préparation d'un fil métallique (1021, 2021), sur un procédé de préparation d'une grille métallique (3021), et sur un polariseur à grille métallique (30) et sur un appareil électronique (10). Le procédé de préparation du fil métallique (1021, 2021) consiste : à former une couche de matériau métallique (102, 302) sur un substrat de base (101, 301) ; et à graver la couche de matériau métallique (102, 302) à l'aide d'un gaz composite contenant un gaz de gravure et un gaz de réaction de revêtement de façon à former le fil métallique (1021, 2021) et un revêtement protecteur (1022, 2022, 3022) sur la surface du fil métallique (1021, 2021). Lorsque le fil métallique (1021, 2021) est formé au moyen du procédé de préparation du fil métallique (1021, 2021), le revêtement protecteur (1022, 2022, 3022) peut être formé sur la surface du fil métallique (1021, 2021) pendant la gravure et protéger le fil métallique (1021, 2021), et la morphologie du fil métallique formé (1021, 2021) peut s'approcher d'une morphologie cible.
(ZH)
一种金属线(1021,2021)的制备方法、金属线栅(3021)的制备方法以及线栅偏振片(30)、电子装置(10)。金属线(1021,2021)的制备方法包括:在衬底基板(101,301)上形成金属材料层(102,302);采用包括刻蚀气体与涂层反应气体的复合气体对金属材料层(102,302)进行刻蚀以形成金属线(1021,2021)以及金属线(1021,2021)的表面的保护涂层(1022,2022,3022)。采用金属线(1021,2021)制备方法形成金属线(1021,2021)时,金属线(1021,2021)的表面在刻蚀过程中即可形成保护涂层(1022,2022,3022),保护涂层(1022,2022,3022)可以对金属线(1021,2021)形成保护,可以使所形成的金属线(1021,2021)的形貌更接近于目标形貌。
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