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1. WO2020008492 - MICROSCOPE ÉLECTRONIQUE À BALAYAGE

Numéro de publication WO/2020/008492
Date de publication 09.01.2020
N° de la demande internationale PCT/JP2018/025029
Date du dépôt international 02.07.2018
CIB
H01J 37/21 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
02Détails
21Moyens pour la mise au point
H01J 37/244 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
02Détails
244Détecteurs; Composants ou circuits associés
CPC
H01J 37/21
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
21Means for adjusting the focus
H01J 37/244
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
244Detectors; Associated components or circuits therefor
Déposants
  • 株式会社日立ハイテク HITACHI HIGH-TECH CORPORATION [JP]/[JP]
Inventeurs
  • 早田 康成 SOHDA Yasunari
  • 備前 香織 BIZEN Kaori
  • 安部 悠介 ABE Yusuke
  • 谷本 憲史 TANIMOTO Kenji
Mandataires
  • ポレール特許業務法人 POLAIRE I.P.C.
Données relatives à la priorité
Langue de publication japonais (JA)
Langue de dépôt japonais (JA)
États désignés
Titre
(EN) SCANNING ELECTRON MICROSCOPE
(FR) MICROSCOPE ÉLECTRONIQUE À BALAYAGE
(JA) 走査電子顕微鏡
Abrégé
(EN)
To make it possible, in a scanning electron microscope in which an electron beam having a high energy is used, to correct the focal point at a high speed. This invention has: an electron optical system including an objective lens 113 and an electron source 100 for releasing an electron beam 116; a sample stand 1025 disposed on a stage 115, a sample 114 being placed on the sample stand 1025; a reflected electron detector 1023 disposed between the objective lens and the sample stand, the reflected electron detector 1023 detecting reflected electrons 1017 released by an interaction between the electron beam and the sample; a reflected electron detection system control unit 138 provided so as to correspond to the reflected electron detector, the reflected electron detection system control unit applying a voltage onto the reflected electron detector; and a device control computation device 146. The objective lens has an opening in the stage direction, and the device control computation device controls the voltage applied from the reflected electron detection system control unit to the reflected electron detector and thereby performs a correction of the focal point of the electron beam.
(FR)
La présente invention concerne un microscope électronique à balayage dans lequel est utilisé un faisceau d'électrons à haute énergie, rendant possible une correction du point de foyer à grande vitesse. La présente invention fait appel à : un système électro-optique comprenant une lentille d'objectif 113 et une source d'électrons 100 servant à libérer un faisceau d'électrons 116; un porte-échantillon 1025 disposé sur une platine 115, un échantillon 114 étant placé sur le porte-échantillon 1025; un détecteur 1023 d'électrons réfléchis disposé entre la lentille d'objectif et le porte-échantillon, le détecteur 1023 d'électrons réfléchis détectant les électrons réfléchis 1017 libérés par une interaction entre le faisceau d'électrons et l'échantillon; une unité de commande 138 de système de détection d'électrons réfléchis disposée de façon à correspondre au détecteur d'électrons réfléchis, l'unité de commande de système de détection d'électrons réfléchis appliquant une tension au détecteur d'électrons réfléchis; et un dispositif de calcul 146 de commande de dispositif. La lentille d'objectif comporte une ouverture dans la direction de platine, et le dispositif de calcul de commande de dispositif commande la tension appliquée par l'unité de commande de système de détection d'électrons réfléchis au détecteur d'électrons réfléchis et exécutant ainsi une correction du point foyer du faisceau d'électrons.
(JA)
エネルギーの高い電子ビームを使用する走査電子顕微鏡においても、高速な焦点補正が可能とする。電子ビーム116を放出する電子源100と対物レンズ113とを含む電子光学系と、ステージ115上に配置され、試料114を載置する試料台1025と、対物レンズと試料台との間に配置され、電子ビームと試料との相互作用により放出される反射電子1017を検出する反射電子検出器1023と、反射電子検出器に対応して設けられ、反射電子検出器に電圧を印加する反射電子検出系制御部138と、装置制御演算装置146とを有し、対物レンズは、ステージ方向に開口を有し、装置制御演算装置は、反射電子検出系制御部から反射電子検出器に印加する電圧を制御することにより、電子ビームの焦点補正を行う。
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