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1. WO2020002382 - ENSEMBLE D'ÉLECTRODES POUR UN SYSTÈME MICRO-ÉLECTROMÉCANIQUE, SYSTÈME MICRO-ÉLECTROMÉCANIQUE, PROCÉDÉ POUR FAIRE FONCTIONNER UN SYSTÈME MICRO-ÉLECTROMÉCANIQUE

Numéro de publication WO/2020/002382
Date de publication 02.01.2020
N° de la demande internationale PCT/EP2019/066918
Date du dépôt international 25.06.2019
CIB
B81B 3/00 2006.01
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
81TECHNOLOGIE DES MICROSTRUCTURES
BDISPOSITIFS OU SYSTÈMES À MICROSTRUCTURE, p.ex. DISPOSITIFS MICROMÉCANIQUES
3Dispositifs comportant des éléments flexibles ou déformables, p.ex. comportant des membranes ou des lamelles élastiques
G01C 19/5733 2012.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
CMESURE DES DISTANCES, DES NIVEAUX OU DES RELÈVEMENTS; GÉODÉSIE; NAVIGATION; INSTRUMENTS GYROSCOPIQUES; PHOTOGRAMMÉTRIE OU VIDÉOGRAMMÉTRIE
19Gyroscopes; Dispositifs sensibles à la rotation utilisant des masses vibrantes; Dispositifs sensibles à la rotation sans masse en mouvement; Mesure de la vitesse angulaire en utilisant les effets gyroscopiques
56Dispositifs sensibles à la rotation utilisant des masses vibrantes, p.ex. capteurs vibratoires de vitesse angulaire basés sur les forces de Coriolis
5719utilisant des masses planaires vibrantes entraînées dans une vibration de translation le long d’un axe
5733Details de structure ou topologie
CPC
B81B 2201/0242
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
2201Specific applications of microelectromechanical systems
02Sensors
0228Inertial sensors
0242Gyroscopes
B81B 2203/0136
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
2203Basic microelectromechanical structures
01Suspended structures, i.e. structures allowing a movement
0136Comb structures
B81B 2203/04
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
2203Basic microelectromechanical structures
04Electrodes
B81B 3/0086
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
3Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
0064Constitution or structural means for improving or controlling the physical properties of a device
0086Electrical characteristics, e.g. reducing driving voltage, improving resistance to peak voltage
G01C 19/5733
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
CMEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
19Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
56Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
5719using planar vibrating masses driven in a translation vibration along an axis
5733Structural details or topology
Déposants
  • ROBERT BOSCH GMBH [DE]/[DE]
Inventeurs
  • CARDANOBILE, Stefano
  • PUTNIK, Martin
Données relatives à la priorité
10 2018 210 487.527.06.2018DE
Langue de publication allemand (DE)
Langue de dépôt allemand (DE)
États désignés
Titre
(DE) ELEKTRODENANORDNUNG FÜR EIN MIKROELEKTROMECHANISCHES SYSTEM, MIKROELEKTROMECHANISCHES SYSTEM, VERFAHREN ZUM BETRIEB EINES MIKROELEKTROMECHANISCHEN SYSTEMS
(EN) ELECTRODE ARRANGEMENT FOR A MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM, MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM, AND METHOD FOR OPERATING A MICRO-ELECTRO-MECHANICAL SYSTEM
(FR) ENSEMBLE D'ÉLECTRODES POUR UN SYSTÈME MICRO-ÉLECTROMÉCANIQUE, SYSTÈME MICRO-ÉLECTROMÉCANIQUE, PROCÉDÉ POUR FAIRE FONCTIONNER UN SYSTÈME MICRO-ÉLECTROMÉCANIQUE
Abrégé
(DE)
Elektrodenanordnung für ein mikroelektromechanisches System, umfassend eine erste Elektrodenstruktur und eine zweite Elektrodenstruktur, wobei die erste Elektrodenstruktur eine Aufnahme aufweist, wobei die zweite Elektrodenstruktur einen Finger aufweist, wobei die erste und zweite Elektrodenstruktur relativ zueinander zu einer Relativbewegung entlang einer Bewegungsachse ausgebildet sind, dadurch gekennzeichnet, dass sich eine zur Bewegungsachse senkrechte erste Breite der Aufnahme entlang der Bewegungsachse zumindest in einem ersten Bereich verjüngt und/oder dass sich eine zur Bewegungsachse senkrechte zweite Breite des Fingers entlang der Bewegungsachse zumindest in einem zweiten Bereich verjüngt.
(EN)
The invention relates to an electrode arrangement for a micro-electro-mechanical system, comprising a first electrode structure and a second electrode structure, wherein the first electrode structure has a receptacle, the second electrode structure has a finger, and the first and second electrode structures are designed for relative movement with respect to one another along an axis of movement, characterised in that a first width of the receptacle perpendicular to the axis of movement tapers along the axis of movement at least in a first region, and/or in that a second width of the finger perpendicular to the axis of movement tapers along the axis of movement at least in a second region.
(FR)
L'invention concerne un système micro-électromécanique comprenant une première structure d'électrode et une deuxième structure d'électrode, la première structure d'électrode présentant un logement, la deuxième structure d'électrode présentant un doigt, les première et deuxième structures d'électrodes étant conçues pour se déplacer de façon relative l'une par rapport à l'autre le long d'un axe de déplacement. L'invention est caractérisée en ce qu'une première largeur du logement, laquelle largeur est perpendiculaire à l'axe de déplacement, se rétrécit au moins dans une première zone le long de l'axe de déplacement et/ou en ce qu'une deuxième largeur du doigt, laquelle largeur est perpendiculaire à l'axe de déplacement, se rétrécit au moins dans une deuxième zone le long de l'axe de déplacement.
Également publié en tant que
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