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1. WO2019224481 - DISPOSITIF COUPLEUR/COMBINEUR MICRO-ONDES ET GÉNÉRATEUR MICRO-ONDES ASSOCIÉ

Numéro de publication WO/2019/224481
Date de publication 28.11.2019
N° de la demande internationale PCT/FR2019/051167
Date du dépôt international 22.05.2019
CIB
H01P 5/103 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
PGUIDES D'ONDES; RÉSONATEURS, LIGNES OU AUTRES DISPOSITIFS DU TYPE GUIDE D'ONDES
5Dispositifs de couplage du type guide d'ondes
08destinés au couplage de lignes ou de dispositifs de différentes sortes
10destinés au couplage de lignes ou de dispositifs équilibrés avec des lignes ou des dispositifs déséquilibrés
103Transitions entre guides d'ondes creux et lignes coaxiales
H01P 5/12 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
PGUIDES D'ONDES; RÉSONATEURS, LIGNES OU AUTRES DISPOSITIFS DU TYPE GUIDE D'ONDES
5Dispositifs de couplage du type guide d'ondes
12Dispositifs de couplage présentant au moins trois accès
CPC
H01J 37/32192
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
32Gas-filled discharge tubes, ; e.g. for surface treatment of objects such as coating, plating, etching, sterilising or bringing about chemical reactions
32009Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
32192Microwave generated discharge
H01J 37/32201
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
32Gas-filled discharge tubes, ; e.g. for surface treatment of objects such as coating, plating, etching, sterilising or bringing about chemical reactions
32009Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
32192Microwave generated discharge
32201Generating means
H01J 37/32211
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
32Gas-filled discharge tubes, ; e.g. for surface treatment of objects such as coating, plating, etching, sterilising or bringing about chemical reactions
32009Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
32192Microwave generated discharge
32211Means for coupling power to the plasma
H01J 37/32229
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
32Gas-filled discharge tubes, ; e.g. for surface treatment of objects such as coating, plating, etching, sterilising or bringing about chemical reactions
32009Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
32192Microwave generated discharge
32211Means for coupling power to the plasma
32229Waveguides
H01J 37/32311
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
32Gas-filled discharge tubes, ; e.g. for surface treatment of objects such as coating, plating, etching, sterilising or bringing about chemical reactions
32009Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
32192Microwave generated discharge
32311Circuits specially adapted for controlling the microwave discharge
H01P 5/103
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
PWAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
5Coupling devices of the waveguide type
08for linking dissimilar lines or devices
10for coupling balanced with unbalanced lines or devices
103Hollow-waveguide/coaxial-line transitions
Déposants
  • SAIREM SOCIETE POUR L'APPLICATION INDUSTRIELLE DE LA RECHERCHE EN ELECTRONIQUE ET MICRO ONDES [FR]/[FR]
Inventeurs
  • LATRASSE, Louis
  • GADEYNE, Thibault
Mandataires
  • CABINET GERMAIN & MAUREAU
Données relatives à la priorité
18/5431523.05.2018FR
Langue de publication français (FR)
Langue de dépôt français (FR)
États désignés
Titre
(EN) MICROWAVE COUPLING/COMBINING DEVICE AND ASSOCIATED MICROWAVE GENERATOR
(FR) DISPOSITIF COUPLEUR/COMBINEUR MICRO-ONDES ET GÉNÉRATEUR MICRO-ONDES ASSOCIÉ
Abrégé
(EN)
The invention relates to a microwave coupling/combining device (1) for coupling and combining at least two microwave sources, comprising a waveguide (2) provided with: - a sleeve (20) extending longitudinally along a main axis (X) and having two opposing ends comprising a first end (21) provided with an element forming a short-circuit (23) and a second open end (22); and - at least one transverse bar (3a; 3b) extending inside the sleeve (20) along a transverse axis (Y) orthogonal to the main axis (X); said microwave coupling/combining device (1) also comprising at least two coaxial connectors (4a; 4b) provided for being connected respectively to microwave sources, wherein each coaxial connector is mounted externally on the sleeve and has a central conductive core (41) connected to and extended by a conductive antenna (42) extending in a direction orthogonal to the transverse axis and to the main axis inside the sleeve and ending by an end attached to a transverse bar.
(FR)
Dispositif coupleur/combineur micro-ondes (1)pour un couplage et une combinaison d'au moins deux sources micro-ondes, comprenant un guide d'ondes (2)muni de: -un manchon (20) s'étendant longitudinalement selon un axe principal (X) et présentant deux extrémités opposées comprenant une première extrémité (21) munie d'un élément formant court-circuit (23) et une seconde extrémité (22) ouverte; et -au moins une barre transversale (3a; 3b) s'étendant à l'intérieur du manchon (20) selon un axe transversal (Y) orthogonal à l'axe principal (X); ledit dispositif coupleur/combineur micro-ondes (1)comprenant en outre au moins deux connecteurs coaxiaux (4a; 4b) prévus pour être respectivement connectés à des sources micro-ondes, dans lequel chaque connecteur coaxial est monté extérieurement sur le manchon et présente une âme centrale conductrice (41) reliée à et prolongée par une antenne conductrice (42) s'étendant selon une direction orthogonale à l'axe transversal et à l'axe principal à l'intérieur du manchon et se terminant par une extrémité fixée sur une barre transversale.
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