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1. WO2019216348 - LENTILLE ÉLECTROSTATIQUE DE CORRECTION D'ABERRATION SPHÉRIQUE À RAPPORT DE RÉDUCTION VARIABLE, ANALYSEUR D'ÉNERGIE À GRAND ANGLE ET SPECTROMÈTRE D'ÉLECTRONS BIDIMENSIONNEL

Numéro de publication WO/2019/216348
Date de publication 14.11.2019
N° de la demande internationale PCT/JP2019/018418
Date du dépôt international 08.05.2019
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 06.03.2020
CIB
H01J 37/12 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
02Détails
04Dispositions des électrodes et organes associés en vue de produire ou de commander la décharge, p.ex. dispositif électronoptique, dispositif ionoptique
10Lentilles
12électrostatiques
G01N 23/2273 2018.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
NRECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
23Recherche ou analyse des matériaux par l'utilisation de rayonnement (ondes ou particules), p.ex. rayons X ou neutrons, non couvertes par les groupes G01N3/-G01N17/201
22en mesurant l'émission secondaire de matériaux
227en mesurant l'effet photo-électrique, p.ex. microscopie d'émission photo-électronique
2273en mesurant le spectre photo-électronique, p.ex. spectroscopie électronique pour l’analyse chimique ou spectroscopie photo-électronique par rayon X
G01N 23/2276 2018.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
NRECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
23Recherche ou analyse des matériaux par l'utilisation de rayonnement (ondes ou particules), p.ex. rayons X ou neutrons, non couvertes par les groupes G01N3/-G01N17/201
22en mesurant l'émission secondaire de matériaux
227en mesurant l'effet photo-électrique, p.ex. microscopie d'émission photo-électronique
2276en utilisant l’effet Auger, p.ex. spectroscopie électronique Auger
H01J 37/153 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
02Détails
04Dispositions des électrodes et organes associés en vue de produire ou de commander la décharge, p.ex. dispositif électronoptique, dispositif ionoptique
153Dispositions électronoptiques ou ionoptiques pour la correction de défauts d'images, p.ex. stigmateurs
H01J 37/252 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
JTUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
252Tubes analyseurs à spot par faisceaux électroniques ou ioniques; Micro-analyseurs
CPC
G01N 23/2273
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
23Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
22by measuring secondary emission from the material
227Measuring photoelectric effect, e.g. photoelectron emission microscopy [PEEM]
2273Measuring photoelectron spectrum, e.g. electron spectroscopy for chemical analysis [ESCA] or X-ray photoelectron spectroscopy [XPS]
G01N 23/2276
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
23Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
22by measuring secondary emission from the material
227Measuring photoelectric effect, e.g. photoelectron emission microscopy [PEEM]
2276using the Auger effect, e.g. Auger electron spectroscopy [AES]
H01J 37/12
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
04Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
10Lenses
12electrostatic
H01J 37/153
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
04Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
153Electron-optical or ion-optical arrangements for the correction of image defects, e.g. stigmators
H01J 37/252
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
252Tubes for spot-analysing by electron or ion beams; Microanalysers
Déposants
  • 国立大学法人奈良先端科学技術大学院大学 NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION NARA INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY [JP]/[JP]
Inventeurs
  • 松田 博之 MATSUDA, Hiroyuki
  • 大門 寛 DAIMON, Hiroshi
  • トス ラスロ Toth Laszlo
Mandataires
  • 特許業務法人グローバル知財 THE PATENT CORPORATE BODY GLOBAL INTELLECTUAL PROPERTY
Données relatives à la priorité
2018-09102009.05.2018JP
Langue de publication japonais (JA)
Langue de dépôt japonais (JA)
États désignés
Titre
(EN) VARIABLE REDUCTION RATIO SPHERICAL ABERRATION CORRECTION ELECTROSTATIC LENS, WIDE ANGLE ENERGY ANALYZER, AND TWO-DIMENSIONAL ELECTRON SPECTROMETER
(FR) LENTILLE ÉLECTROSTATIQUE DE CORRECTION D'ABERRATION SPHÉRIQUE À RAPPORT DE RÉDUCTION VARIABLE, ANALYSEUR D'ÉNERGIE À GRAND ANGLE ET SPECTROMÈTRE D'ÉLECTRONS BIDIMENSIONNEL
(JA) 減速比可変球面収差補正静電レンズ、広角エネルギーアナライザ、及び、二次元電子分光装置
Abrégé
(EN)
Provided is a compact two-dimensional electron spectrometer that is capable of variably adjusting the reduction ratio across a wide range, and performing simultaneous measurements of the two-dimensional emission angle distribution measurement of high energy resolution across a wide solid angle of acquisition. The two-dimensional electron spectrometer is configured from: a variable reduction ratio spherical aberration correction electrostatic lens; a cylindrical mirror type energy analyzer or a wide angle energy analyzer; and a projection lens. The variable reduction ratio spherical aberration correction electrostatic lens is configured from: an electrostatic lens that consists of an axially symmetrical spherical mesh having a concave shape with respect to a point source, and one or a plurality of axially symmetrical electrodes, and that adjusts the spherical aberration of charged particles generated from the point source; and an axially symmetrical deceleration field generating electrode that is placed coaxially with the electrostatic lens, wherein the mesh shape, and the potential and placement of the electrode are adjusted so that the charged particles generated from the point source converge at the lens exit using the electrostatic lens, the deceleration field generating electrode is provided in front of the convergence point, and broad control of the reduction ratio of charged particles can be done by adjusting the applied potential.
(FR)
L'invention concerne un spectromètre d'électrons bidimensionnel compact qui peut ajuster d'une manière variable le rapport de réduction sur une large plage, et effectuer des mesures simultanées de la distribution bidimensionnelle de l'angle d'émission à haute résolution en énergie sur un grand angle solide d'acquisition. Le spectromètre d'électrons bidimensionnel est configuré à partir : d'une lentille électrostatique de correction d'aberration sphérique à taux de réduction variable; d'un analyseur d'énergie du type miroir cylindrique ou d'un analyseur d'énergie à grand angle; et d'une lentille de projection. La lentille électrostatique de correction d'aberration sphérique à rapport de réduction variable est configurée à partir : d'une lentille électrostatique, qui est constituée d'un maillage sphérique à symétrie axiale ayant une forme concave par rapport à une source ponctuelle et d'une ou plusieurs électrodes à symétrie axiale, et qui ajuste l'aberration sphérique de particules chargées générées par la source ponctuelle; et d'une électrode de génération de champ de décélération à symétrie axiale qui est placée coaxiale avec la lentille électrostatique, la forme de maillage ainsi que le potentiel et le placement de l'électrode étant ajustés de telle sorte que les particules chargées générées par la source ponctuelle convergent au niveau de la sortie de lentille à l'aide de la lentille électrostatique, l'électrode de génération de champ de décélération étant disposée en avant du point de convergence, et une commande large du rapport de réduction de particules chargées pouvant être effectuée par ajustement du potentiel appliqué.
(JA)
減速比を幅広い範囲にわたって可変調整でき、高エネルギー分解能の二次元放出角度分布測定を広い取り込み立体角にわたって同時に測定できるコンパクトな二次元電子分光装置を提供する。二次元電子分光装置は、減速比可変球面収差補正静電レンズと、円筒鏡型エネルギーアナライザ又は広角エネルギーアナライザと、投影レンズから構成される。減速比可変球面収差補正静電レンズは、点源に対し凹面状を有する軸対称な非球面メッシュおよび軸対称な単一乃至は複数の電極から成り、点源から発生した荷電粒子の球面収差を調整する静電レンズと、静電レンズと同軸に配置される軸対称な減速電場生成電極から構成され、点源から発生した荷電粒子が静電レンズによりレンズ出口に収束するように、メッシュ形状と電極の電位及び配置が調整され、減速電場生成電極が収束点の前段に設けられ、印加電位の調整によって荷電粒子の減速比を幅広く制御できる。
Également publié en tant que
EP2019799637
JP2020518321
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international