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1. WO2019204512 - APPAREIL D’ÉTANCHÉITÉ POUR UN SYSTÈME DE DÉPÔT ÉLECTROLYTIQUE

Numéro de publication WO/2019/204512
Date de publication 24.10.2019
N° de la demande internationale PCT/US2019/027979
Date du dépôt international 17.04.2019
CIB
C25D 17/00 2006.1
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
25PROCÉDÉS ÉLECTROLYTIQUES OU ÉLECTROPHORÉTIQUES; APPAREILLAGES À CET EFFET
DPROCÉDÉS POUR LA PRODUCTION ÉLECTROLYTIQUE OU ÉLECTROPHORÉTIQUE DE REVÊTEMENTS; GALVANOPLASTIE; JONCTION DE PIÈCES PAR ÉLECTROLYSE; APPAREILLAGES À CET EFFET
17Éléments structurels, ou leurs assemblages, des cellules pour revêtement électrolytique
C25D 7/12 2006.1
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
25PROCÉDÉS ÉLECTROLYTIQUES OU ÉLECTROPHORÉTIQUES; APPAREILLAGES À CET EFFET
DPROCÉDÉS POUR LA PRODUCTION ÉLECTROLYTIQUE OU ÉLECTROPHORÉTIQUE DE REVÊTEMENTS; GALVANOPLASTIE; JONCTION DE PIÈCES PAR ÉLECTROLYSE; APPAREILLAGES À CET EFFET
7Dépôt électrochimique caractérisé par l'objet à revêtir
12Semi-conducteurs
CPC
C25D 17/001
CCHEMISTRY; METALLURGY
25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
DPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
17Constructional parts, or assemblies thereof, of cells for electrolytic coating
001Apparatus specially adapted for electrolytic coating of wafers, e.g. semiconductors or solar cells
C25D 17/004
CCHEMISTRY; METALLURGY
25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
DPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
17Constructional parts, or assemblies thereof, of cells for electrolytic coating
004Sealing devices
C25D 17/005
CCHEMISTRY; METALLURGY
25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
DPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
17Constructional parts, or assemblies thereof, of cells for electrolytic coating
005Contacting devices
C25D 17/06
CCHEMISTRY; METALLURGY
25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
DPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
17Constructional parts, or assemblies thereof, of cells for electrolytic coating
06Suspending or supporting devices for articles to be coated
Déposants
  • APPLIED MATERIALS, INC. [US]/[US]
Inventeurs
  • HANSON, Kyle, M.
  • ADAGOOR, Manjunatha Vishwanatha
  • BALARAMAN, Karthikeyan
  • VASU, Karthick
  • CHOURIYA, Shailesh
Mandataires
  • MCCORMICK, Daniel, K.
  • BERNARD, Eugene, J.
Données relatives à la priorité
62/660,43620.04.2018US
Langue de publication Anglais (en)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) SEAL APPARATUS FOR AN ELECTROPLATING SYSTEM
(FR) APPAREIL D’ÉTANCHÉITÉ POUR UN SYSTÈME DE DÉPÔT ÉLECTROLYTIQUE
Abrégé
(EN) Electroplating system seals may include an annular busbar characterized by an inner annular radius and an outer annular radius. The annular busbar may include a plurality of contact extensions. The seals may include an external seal member characterized by an inner annular radius and an outer annular radius. The external seal member may be vertically aligned with and extend inward of the contact extensions at the inner annular radius of the external seal member. The external seal member may include an interior surface at least partially facing the contact extensions. The seals may also include an internal seal member extending a first distance along the interior surface of the external seal member from the inner annular radius. The internal seal member may include a deformable material configured to support a substrate between the internal seal member and the plurality of contact extensions.
(FR) Selon la présente invention, les joints d’étanchéité d’un système de dépôt électrolytique peuvent comprendre une barre omnibus annulaire caractérisée par un rayon annulaire interne et un rayon annulaire externe. La barre omnibus annulaire peut comprendre une pluralité d’extensions de contact. Les joints d’étanchéité peuvent comprendre un élément d’étanchéité externe caractérisé par un rayon annulaire interne et un rayon annulaire externe. L’élément d’étanchéité externe peut être aligné verticalement avec et s’étendre vers l’intérieur des extensions de contact au niveau du rayon annulaire interne de l’élément d’étanchéité externe. L’élément d’étanchéité externe peut comprendre une surface intérieure faisant face au moins partiellement aux extensions de contact. Les joints d’étanchéité peuvent comprendre en outre un élément d’étanchéité interne s’étendant à une première distance le long de la surface intérieure de l’élément d’étanchéité externe depuis le rayon annulaire interne. L’élément d’étanchéité interne peut comprendre un matériau déformable configuré pour soutenir un substrat entre l’élément d’étanchéité interne et la pluralité d’extensions de contact.
Documents de brevet associés
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