(EN) A sample observation device 1 comprises: an illumination optical system 3 for shining a sheet of light L2 in the X-Z plane on a sample S; a sweeping unit 4 for sweeping the sample S in the Y-axis direction so as to pass through the illumination plane R of the sheet of light L2; an imaging optical system 5 which has an observation axis P2 inclined relative to the illumination plane R and images observation light L3 generated by the sample S; an image acquisition unit 6 for acquiring a plurality of pieces of X-Z image data 31 corresponding to the optical image of the observation light L3; and an image generation unit 8 for generating X-Y image data 32 on the basis of the plurality of pieces of X-Z image data 31. The image generation unit 8 extracts an analysis area F for the plurality of pieces of X-Z image data 31 acquired along the Y-axis direction, integrates luminance values at least for the analysis area F along the Z-axis direction to generate X image data 33, and connects the X image data 33 along the Y-axis direction to generate X-Y image data 32.
(FR) Un dispositif d'observation d'échantillon 1 selon l'invention comprend : un système optique d'éclairage 3 pour éclairer une feuille de lumière L2 dans le plan X-Z sur un échantillon S ; une unité de balayage 4 pour balayer l'échantillon S dans la direction de l'axe Y de façon à passer à travers le plan d'éclairage R de la feuille de lumière L2 ; un système optique d'imagerie 5 qui a un axe d'observation P2 incliné par rapport au plan d'éclairage R et image une lumière d'observation L3 générée par l'échantillon S ; une unité d'acquisition d'image 6 pour acquérir une pluralité d'éléments de données d'image X-Z 31 correspondant à l'image optique de la lumière d'observation L3 ; et une unité de génération d'image 8 pour générer des données d'image X-Y 32 sur la base de la pluralité d'éléments de données d'image X-Z 31. L'unité de génération d'image 8 extrait une zone d'analyse F pour la pluralité d'éléments de données d'image X-Z 31 acquis le long de la direction de l'axe Y, intègre des valeurs de luminance au moins pour la zone d'analyse F le long de la direction d'axe Z pour générer des données d'image X 33, et connecte les données d'image X 33 le long de la direction d'axe Y pour générer des données d'image X-Y 32.
(JA) 試料観察装置１は、試料Ｓに面状光Ｌ２をＸＺ面で照射する照射光学系３と、面状光Ｌ２の照射面Ｒを通過するように試料ＳをＹ軸方向に走査する走査部４と、照射面Ｒに対して傾斜する観察軸Ｐ２を有し、試料Ｓで発生した観察光Ｌ３を結像する結像光学系５と、観察光Ｌ３の光像に対応するＸＺ画像データ３１を複数取得する画像取得部６と、複数のＸＺ画像データ３１に基づいてＸＹ画像データ３２を生成する画像生成部８と、を備え、画像生成部８は、Ｙ軸方向について複数取得されたＸＺ画像データ３１の解析領域Ｆを抽出し、少なくとも解析領域Ｆの輝度値をＺ軸方向に積算してＸ画像データ３３を生成し、Ｘ画像データ３３をＹ軸方向に結合してＸＹ画像データ３２を生成する。
