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1. WO2019118051 - MESURE D'INTERVALLE SUR PUCE

Numéro de publication WO/2019/118051
Date de publication 20.06.2019
N° de la demande internationale PCT/US2018/055221
Date du dépôt international 10.10.2018
CIB
G01C 19/5726 2012.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
CMESURE DES DISTANCES, DES NIVEAUX OU DES RELÈVEMENTS; GÉODÉSIE; NAVIGATION; INSTRUMENTS GYROSCOPIQUES; PHOTOGRAMMÉTRIE OU VIDÉOGRAMMÉTRIE
19Gyroscopes; Dispositifs sensibles à la rotation utilisant des masses vibrantes; Dispositifs sensibles à la rotation sans masse en mouvement; Mesure de la vitesse angulaire en utilisant les effets gyroscopiques
56Dispositifs sensibles à la rotation utilisant des masses vibrantes, p.ex. capteurs vibratoires de vitesse angulaire basés sur les forces de Coriolis
5719utilisant des masses planaires vibrantes entraînées dans une vibration de translation le long d’un axe
5726Traitement du signal
G01C 25/00 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
CMESURE DES DISTANCES, DES NIVEAUX OU DES RELÈVEMENTS; GÉODÉSIE; NAVIGATION; INSTRUMENTS GYROSCOPIQUES; PHOTOGRAMMÉTRIE OU VIDÉOGRAMMÉTRIE
25Fabrication, étalonnage, nettoyage ou réparation des instruments ou des dispositifs mentionnés dans les autres groupes de la présente sous-classe
CPC
B81B 7/008
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
7Microstructural systems; ; Auxiliary parts of microstructural devices or systems
008MEMS characterised by an electronic circuit specially adapted for controlling or driving the same
G01C 19/5712
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
CMEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
19Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
56Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
5705using masses driven in reciprocating rotary motion about an axis
5712the devices involving a micromechanical structure
G01C 19/5726
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
CMEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
19Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
56Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
5719using planar vibrating masses driven in a translation vibration along an axis
5726Signal processing
G01C 19/5776
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
CMEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
19Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
56Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
5776Signal processing not specific to any of the devices covered by groups G01C19/5607 - G01C19/5719
G01C 25/005
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
CMEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
25Manufacturing, calibrating, cleaning, or repairing instruments or devices referred to in the other groups of this subclass
005initial alignment, calibration or starting-up of inertial devices
Déposants
  • INVENSENSE, INC. [US]/[US]
Inventeurs
  • SENKAL, Doruk
  • JOHARI-GALLE, Houri
  • SEEGER, Joseph
Mandataires
  • SHVARTS, Alexander
Données relatives à la priorité
16/130,69513.09.2018US
62/598,34913.12.2017US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) ON-CHIP GAP MEASUREMENT
(FR) MESURE D'INTERVALLE SUR PUCE
Abrégé
(EN)
A MEMS gyroscope includes a proof mass of a suspended spring mass system that is driven at a drive frequency. The proof mass moves relative to a sense electrode such that an overlap of the proof mass and sense electrode changes during the drive motion. A Coriolis force causes the proof mass to move relative to the sense electrode. The overlap and the movement due to the Coriolis force are sensed, and angular velocity is determined based on the magnitude of a signal generated due to a change in overlap and the Coriolis force.
(FR)
L'invention concerne un gyroscope MEMS comprenant une masse d'étalon d'un système de masse à ressort suspendu qui est entraîné à une fréquence d'entraînement. La masse d'étalon se déplace par rapport à une électrode de détection de telle sorte qu'un chevauchement de la masse d'étalon et de l'électrode de détection change pendant le mouvement d'entraînement. Une force de Coriolis provoque le déplacement de la masse d'étalon par rapport à l'électrode de détection. Le chevauchement et le mouvement dus à la force de Coriolis sont détectés, et la vitesse angulaire est déterminée en fonction de l'amplitude d'un signal généré en raison d'un changement de chevauchement et de la force de Coriolis.
Également publié en tant que
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