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1. WO2019115361 - PROCÉDÉ DE PRÉTRAITEMENT DE MATIÈRE SOLIDE, ET PRODUIT À MATIÈRE SOLIDE REMPLI DE MATIÈRE SOLIDE FABRIQUÉ À L'AIDE DUDIT PROCÉDÉ DE PRÉTRAITEMENT DE MATIÈRE SOLIDE

Numéro de publication WO/2019/115361
Date de publication 20.06.2019
N° de la demande internationale PCT/EP2018/083863
Date du dépôt international 06.12.2018
CIB
H01L 21/02 2006.01
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
02Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
C23C 16/44 2006.01
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
23REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT CHIMIQUE DE SURFACE; TRAITEMENT DE DIFFUSION DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL; MOYENS POUR EMPÊCHER LA CORROSION DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES, L'ENTARTRAGE OU LES INCRUSTATIONS, EN GÉNÉRAL
CREVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT DE SURFACE DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES PAR DIFFUSION DANS LA SURFACE, PAR CONVERSION CHIMIQUE OU SUBSTITUTION; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL
16Revêtement chimique par décomposition de composés gazeux, ne laissant pas de produits de réaction du matériau de la surface dans le revêtement, c. à d. procédés de dépôt chimique en phase vapeur (CVD)
44caractérisé par le procédé de revêtement
C23C 16/448 2006.01
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
23REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT CHIMIQUE DE SURFACE; TRAITEMENT DE DIFFUSION DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL; MOYENS POUR EMPÊCHER LA CORROSION DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES, L'ENTARTRAGE OU LES INCRUSTATIONS, EN GÉNÉRAL
CREVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT DE SURFACE DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES PAR DIFFUSION DANS LA SURFACE, PAR CONVERSION CHIMIQUE OU SUBSTITUTION; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL
16Revêtement chimique par décomposition de composés gazeux, ne laissant pas de produits de réaction du matériau de la surface dans le revêtement, c. à d. procédés de dépôt chimique en phase vapeur (CVD)
44caractérisé par le procédé de revêtement
448caractérisé par le procédé utilisé pour produire des courants de gaz réactifs, p.ex. par évaporation ou par sublimation de matériaux précurseurs
C01G 41/04 2006.01
CCHIMIE; MÉTALLURGIE
01CHIMIE INORGANIQUE
GCOMPOSÉS CONTENANT DES MÉTAUX NON COUVERTS PAR LES SOUS-CLASSES C01D OU C01F104
41Composés du tungstène
04Halogénures
CPC
B01D 7/02
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
DSEPARATION
7Sublimation
02Crystallisation directly from the vapour phase
C01G 1/06
CCHEMISTRY; METALLURGY
01INORGANIC CHEMISTRY
GCOMPOUNDS CONTAINING METALS NOT COVERED BY SUBCLASSES C01D OR C01F
1Methods of preparing compounds of metals not covered by subclasses C01B, C01C, C01D, or C01F, in general
06Halides
C01G 41/04
CCHEMISTRY; METALLURGY
01INORGANIC CHEMISTRY
GCOMPOUNDS CONTAINING METALS NOT COVERED BY SUBCLASSES C01D OR C01F
41Compounds of tungsten
04Halides
C01P 2002/72
CCHEMISTRY; METALLURGY
01INORGANIC CHEMISTRY
PINDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
2002Crystal-structural characteristics
70defined by measured X-ray, neutron or electron diffraction data
72by d-values or two theta-values, e.g. as X-ray diagram
C01P 2006/80
CCHEMISTRY; METALLURGY
01INORGANIC CHEMISTRY
PINDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
2006Physical properties of inorganic compounds
80Compositional purity
C23C 16/4402
CCHEMISTRY; METALLURGY
23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
16Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
44characterised by the method of coating
4401Means for minimising impurities, e.g. dust, moisture or residual gas, in the reaction chamber
4402Reduction of impurities in the source gas
Déposants
  • L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE [FR]/[FR]
Inventeurs
  • TARUTANI, Kohei
  • GIRARD, Jean-Marc
  • BLASCO, Nicolas
  • WIESE, Stefane
  • HUSSON, Guillaume
Mandataires
  • DE BEAUFORT, François-Xavier
Données relatives à la priorité
2017-23934214.12.2017JP
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) PREPROCESSING METHOD FOR SOLID MATERIAL, AND SOLID MATERIAL PRODUCT FILLED WITH SOLID MATERIAL MANUFACTURED USING SAID SOLID MATERIAL PREPROCESSING METHOD
(FR) PROCÉDÉ DE PRÉTRAITEMENT DE MATIÈRE SOLIDE, ET PRODUIT À MATIÈRE SOLIDE REMPLI DE MATIÈRE SOLIDE FABRIQUÉ À L'AIDE DUDIT PROCÉDÉ DE PRÉTRAITEMENT DE MATIÈRE SOLIDE
Abrégé
(EN)
[Problem] To provide a simple solid material preprocessing method which can supply a solid material vapour from which impurities have been removed. [Solution] A preprocessing method, comprising a sintering step of heating a solid material container filled with a solid material using a temperature which is lower than either the melting point or sublimation of the solid material, whichever is lower, and crystallizing at least part of the solid material, and an impurity removal step of heating the solid material container filled with the solid material using a temperature which is lower than either the melting point or sublimation of the solid material, whichever is lower, and removing at least part of the impurities included in the solid material.
(FR)
Le problème décrit par la présente invention est de pourvoir à un procédé de prétraitement de matière solide simple qui puisse fournir une vapeur de matière solide de laquelle des impuretés ont été éliminées. La solution de l'invention porte sur un procédé de prétraitement, comprenant une étape de frittage consistant à chauffer un récipient de matière solide rempli d'une matière solide en utilisant une température qui est inférieure au point de fusion ou à la température de sublimation de la matière solide, celui des deux qui est le plus bas, et à cristalliser au moins une partie de la matière solide, et une étape d'élimination d'impuretés consistant à chauffer le récipient de matière solide rempli de la matière solide en utilisant une température qui est inférieure au point de fusion ou à la température de sublimation de la matière solide, celui des deux qui est le plus bas, et à éliminer au moins une partie des impuretés incluses dans la matière solide.
Également publié en tant que
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