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1. WO2019112055 - DISPOSITIF D'INSPECTION DE FORME ET PROCÉDÉ D'INSPECTION DE FORME

Numéro de publication WO/2019/112055
Date de publication 13.06.2019
N° de la demande internationale PCT/JP2018/045168
Date du dépôt international 07.12.2018
CIB
G01B 11/24 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
BMESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
11Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de moyens optiques
24pour mesurer des contours ou des courbes
G01B 11/30 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
BMESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
11Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de moyens optiques
30pour mesurer la rugosité ou l'irrégularité des surfaces
G01N 21/892 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
NRECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
21Recherche ou analyse des matériaux par l'utilisation de moyens optiques, c. à d. en utilisant des rayons infrarouges, visibles ou ultraviolets
84Systèmes spécialement adaptés à des applications particulières
88Recherche de la présence de criques, de défauts ou de souillures
89dans un matériau mobile, p.ex. du papier, des textiles
892caractérisée par la crique, le défaut ou la caractéristique de l'objet examiné
CPC
G01B 11/24
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
24for measuring contours or curvatures
G01B 11/30
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
30for measuring roughness or irregularity of surfaces
G01N 21/892
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
84Systems specially adapted for particular applications
88Investigating the presence of flaws or contamination
89in moving material, e.g. running paper or textiles
892characterised by the flaw, defect or object feature examined
Déposants
  • 日本製鉄株式会社 NIPPON STEEL CORPORATION [JP]/[JP]
Inventeurs
  • 今野 雄介 KONNO, Yusuke
  • 園田 貴之 SONODA, Takayuki
  • 古家 順弘 FURUYA, Nobuhiro
Mandataires
  • 特許業務法人ブライタス BRIGHTAS IP ATTORNEYS
Données relatives à la priorité
2017-23607208.12.2017JP
Langue de publication japonais (JA)
Langue de dépôt japonais (JA)
États désignés
Titre
(EN) SHAPE INSPECTION DEVICE AND SHAPE INSPECTION METHOD
(FR) DISPOSITIF D'INSPECTION DE FORME ET PROCÉDÉ D'INSPECTION DE FORME
(JA) 形状検査装置及び形状検査方法
Abrégé
(EN)
This shape inspection device is provided with: N illumination light sources including a first illumination light source and a second illumination light source; a line sensor camera; a measurement control unit that controls the illumination light sources and the line sensor camera; and a data processing unit. The first illumination light source and the second illumination light source are arranged symmetrically about the optical axis with respect to the specular direction of the line sensor camera. The measurement control unit modulates the light emission intensities of the illumination light sources at a frequency which is 1/N of the frequency of the scan rate of the line sensor camera, and controls the illumination light sources to be lit so as to sequentially repeat different N patterns of the illumination intensity ratios. The data processing unit generates a first separated image and a second separated image from a captured image, generates a first mixing canceled image obtained by removing an unnecessary illumination component from the first separated image and a second mixing canceled image obtained by removing an unnecessary illumination component from the second separated image, and calculates the surface inclination of a band-like body on the basis of the difference between the first mixing canceled image and the second mixing canceled image. Accordingly, the surface shape of an object to be measured can be measured at a uniform sensitivity.
(FR)
L'invention concerne un dispositif d'inspection de forme comprenant : N sources de lumière d'éclairage comprenant une première source de lumière d'éclairage et une seconde source de lumière d'éclairage; une caméra de capteur de ligne; une unité de commande de mesure qui commande les sources de lumière d'éclairage et la caméra de capteur de ligne; et une unité de traitement de données. La première source de lumière d'éclairage et la seconde source de lumière d'éclairage sont disposées symétriquement autour de l'axe optique par rapport à la direction spéculaire de la caméra de capteur de ligne. L'unité de commande de mesure module les intensités d'émission de lumière des sources de lumière d'éclairage à une fréquence correspondant à 1/N de la fréquence du taux de balayage de la caméra de capteur de ligne, et commande l'éclairage des sources de lumière d'éclairage de façon à répéter séquentiellement N motifs différents des rapports d'intensité d'éclairage. L'unité de traitement de données génère une première image séparée et une seconde image séparée à partir d'une image capturée, génère une première image annulée de mélange obtenue par l'élimination d'un composant d'éclairage inutile de la première image séparée et une seconde image annulée de mélange obtenue par l'élimination d'un composant d'éclairage inutile de la seconde image séparée, et calcule l'inclinaison de surface d'un corps de type bande en fonction de la différence entre la première image annulée de mélange et la seconde image annulée de mélange. Ainsi, la forme de surface d'un objet à mesurer peut être mesurée à une sensibilité uniforme.
(JA)
【課題】形状検査装置は、第1の照明光源及び第2の照明光源を含むN個の照明光源と、ラインセンサカメラと、各照明光源及びラインセンサカメラを制御する測定制御部と、データ処理部とを備え、第1の照明光源と第2の照明光源は、ラインセンサカメラの正反射方向に対して、光軸を中心に対称に配置され、測定制御部は、照明光源をラインセンサカメラのスキャンレートの周波数の1/Nの周波数で発光強度を変調させ、相違するNパターンの照明強度比を順次繰り返して点灯するように制御し、データ処理部は、撮像画像から第1の分離画像及び第2の分離画像を生成し、第1の分離画像から不要な照明成分を除去した第1の混合解消画像及び第2の分離画像から不要な照明成分を除去した第2の混合解消画像を生成し、第1の混合解消画像と第2の混合解消画像との差分に基づき帯状体の表面の傾きを算出する。これにより、測定対象物の表面形状を一様な感度で測定できる。
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