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1. (WO2019067885) VANNE D'ISOLEMENT DOUBLE VOIE POUR NETTOYAGE PAR PLASMA À DISTANCE
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N° de publication : WO/2019/067885 N° de la demande internationale : PCT/US2018/053403
Date de publication : 04.04.2019 Date de dépôt international : 28.09.2018
CIB :
H01J 37/32 (2006.01) ,F16K 51/02 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
J
TUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37
Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
32
Tubes à décharge en atmosphère gazeuse
F MÉCANIQUE; ÉCLAIRAGE; CHAUFFAGE; ARMEMENT; SAUTAGE
16
ÉLÉMENTS OU ENSEMBLES DE TECHNOLOGIE; MESURES GÉNÉRALES POUR ASSURER LE BON FONCTIONNEMENT DES MACHINES OU INSTALLATIONS; ISOLATION THERMIQUE EN GÉNÉRAL
K
SOUPAPES; ROBINETS; VANNES; COMMANDES À FLOTTEURS; DISPOSITIFS POUR VENTILER OU AÉRER
51
Autres détails non particuliers aux types de soupapes ou clapets ou autres appareils d'obturation
02
spécialement conçus pour les installations de vide poussé
Déposants :
APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054, US
Inventeurs :
RIORDON, Benjamin B.; US
CARLSON, Charles T.; US
WEBB, Aaron; US
WYKA, Gary; US
Mandataire :
PATTERSON, B. Todd; US
DOUGHERTY, Chad M.; US
Données relatives à la priorité :
62/565,91529.09.2017US
Titre (EN) DUAL PORT REMOTE PLASMA CLEAN ISOLATION VALVE
(FR) VANNE D'ISOLEMENT DOUBLE VOIE POUR NETTOYAGE PAR PLASMA À DISTANCE
Abrégé :
(EN) The present disclosure generally relates to an isolation device for use in processing systems. The isolation device has a body with an inlet opening disposed at a first end coupled to a processing system component such as a remote plasma source and outlet openings, for example two, disposed at a second end which are coupled to a processing system component such as a process chamber. Flaps disposed within the body are actuatable to an open position from a closed position or to a closed position from an open position, to selectively allow or prevent passage of a fluid from the processing system component coupled to the isolation device to the other processing system component coupled thereto.
(FR) De manière générale, la présente divulgation concerne un dispositif d'isolement destiné à être utilisé dans des systèmes de traitement. Le dispositif d'isolement comprend un corps pourvu d'une ouverture d'admission ménagée à une première extrémité raccordée à un composant de système de traitement tel qu'une source de plasma à distance et d'ouvertures d'évacuation, par exemple deux, ménagées à une seconde extrémité qui sont raccordées à un composant de système de traitement tel qu'une chambre de traitement. Des clapets logés à l'intérieur du corps peuvent être actionnés jusqu'à une position ouverte à partir d'une position fermée ou jusqu'à une position fermée à partir d'une position ouverte, pour permettre ou empêcher sélectivement le passage d'un fluide entre le composant de système de traitement raccordé au dispositif d'isolement et l'autre composant de système de traitement raccordé à celui-ci.
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)