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1. (WO2019067833) COMPOSITIONS ET PROCÉDÉS POUR EMPÊCHER L'AFFAISSEMENT DE STRUCTURES À RAPPORT HAUTEUR/LARGEUR ÉLEVÉ PENDANT LE SÉCHAGE
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N° de publication : WO/2019/067833 N° de la demande internationale : PCT/US2018/053299
Date de publication : 04.04.2019 Date de dépôt international : 28.09.2018
CIB :
C11D 7/50 (2006.01) ,C11D 11/00 (2006.01) ,C11D 7/32 (2006.01)
C CHIMIE; MÉTALLURGIE
11
HUILES, GRAISSES, MATIÈRES GRASSES OU CIRES ANIMALES OU VÉGÉTALES; LEURS ACIDES GRAS; DÉTERGENTS; BOUGIES
D
COMPOSITIONS DÉTERGENTES; EMPLOI D'UNE SUBSTANCE, UTILISÉE SEULE, COMME DÉTERGENT; SAVON OU FABRICATION DU SAVON; SAVONS DE RÉSINE; RÉCUPÉRATION DE LA GLYCÉRINE
7
Compositions détergentes formées essentiellement de composés non tensio-actifs
50
Solvants
C CHIMIE; MÉTALLURGIE
11
HUILES, GRAISSES, MATIÈRES GRASSES OU CIRES ANIMALES OU VÉGÉTALES; LEURS ACIDES GRAS; DÉTERGENTS; BOUGIES
D
COMPOSITIONS DÉTERGENTES; EMPLOI D'UNE SUBSTANCE, UTILISÉE SEULE, COMME DÉTERGENT; SAVON OU FABRICATION DU SAVON; SAVONS DE RÉSINE; RÉCUPÉRATION DE LA GLYCÉRINE
11
Méthodes particulières pour la préparation de compositions contenant des mélanges de détergents
C CHIMIE; MÉTALLURGIE
11
HUILES, GRAISSES, MATIÈRES GRASSES OU CIRES ANIMALES OU VÉGÉTALES; LEURS ACIDES GRAS; DÉTERGENTS; BOUGIES
D
COMPOSITIONS DÉTERGENTES; EMPLOI D'UNE SUBSTANCE, UTILISÉE SEULE, COMME DÉTERGENT; SAVON OU FABRICATION DU SAVON; SAVONS DE RÉSINE; RÉCUPÉRATION DE LA GLYCÉRINE
7
Compositions détergentes formées essentiellement de composés non tensio-actifs
22
Composés organiques
32
contenant de l'azote
Déposants :
VERSUM MATERIALS US, LLC [US/US]; 8555 S. River Parkway Tempe, AZ 85284, US
Inventeurs :
GE, Jhih, Kuei; US
LEE, Yi-Chia; US
LIU, Wen, Dar; US
CHEN, Tianniu; US
Mandataire :
AQUILINA, James, J.; US
Données relatives à la priorité :
16/141,73525.09.2018US
62/565,26629.09.2017US
Titre (EN) COMPOSITIONS AND METHODS FOR PREVENTING COLLAPSE OF HIGH ASPECT RATIO STRUCTURES DURING DRYING
(FR) COMPOSITIONS ET PROCÉDÉS POUR EMPÊCHER L'AFFAISSEMENT DE STRUCTURES À RAPPORT HAUTEUR/LARGEUR ÉLEVÉ PENDANT LE SÉCHAGE
Abrégé :
(EN) Described herein is an aqueous composition for treating a substrate including patterns having line-space dimensions of 50 nm or below to prevent collapse of the patters, the composition comprising: a solvent system comprising water and a water-miscible organic solvent; a surface modifier that is a reaction product between an alkylamine and an organic acid; and an optional pH adjusting agent.
(FR) L'invention concerne une composition aqueuse pour traiter un substrat comprenant des motifs ayant des dimensions de ligne-espace de 50 nm ou moins pour empêcher l'affaissement des motifs, la composition comprenant: un système de solvant comprenant de l'eau et un solvant organique miscible à l'eau, un modificateur de surface qui est un produit de réaction entre une alkylamine et un acide organique et un agent d'ajustement du pH facultatif.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)