Certains contenus de cette application ne sont pas disponibles pour le moment.
Si cette situation persiste, veuillez nous contacter àObservations et contact
1. (WO2019067376) SCELLEMENT HERMÉTIQUE D’UN CRISTAL NON LINÉAIRE UTILISABLE DANS UN SYSTÈME LASER
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international    Formuler une observation

N° de publication : WO/2019/067376 N° de la demande internationale : PCT/US2018/052508
Date de publication : 04.04.2019 Date de dépôt international : 25.09.2018
CIB :
G03F 7/20 (2006.01) ,H01L 21/66 (2006.01) ,H01L 21/67 (2006.01)
G PHYSIQUE
03
PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
F
PRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
7
Production par voie photomécanique, p.ex. photolithographique, de surfaces texturées, p.ex. surfaces imprimées; Matériaux à cet effet, p.ex. comportant des photoréserves; Appareillages spécialement adaptés à cet effet
20
Exposition; Appareillages à cet effet
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
66
Essai ou mesure durant la fabrication ou le traitement
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67
Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
Déposants :
KLA-TENCOR CORPORATION [US/US]; Legal Department One Technology Drive Milpitas, California 95035, US
Inventeurs :
PATIL, Rajeev; US
RAMIREZ, David; US
CHURIN, Yevgeniy; US
REPLOGLE, William; US
Mandataire :
MCANDREWS, Kevin; US
MORRIS, Elizabeth M.N.; US
Données relatives à la priorité :
16/133,61117.09.2018US
62/564,48728.09.2017US
Titre (EN) HERMETIC SEALING OF A NONLINEAR CRYSTAL FOR USE IN A LASER SYSTEM
(FR) SCELLEMENT HERMÉTIQUE D’UN CRISTAL NON LINÉAIRE UTILISABLE DANS UN SYSTÈME LASER
Abrégé :
(EN) Disclosed are methods and apparatus for hermetically sealing a nonlinear optical (NLO) crystal for use in a laser system. A mounted NLO crystal, an enclosure base, a lid, and a plurality of window components are moved into an oven. A vacuum bake process is then performed on the mounted NLO crystal, enclosure base, lid, and plurality of window components until a humidity level that is less than a predefined amount is reached. The mounted NLO crystal, enclosure base, lid, and plurality of window components are moved from the oven onto a stage of a glove box that includes a sealing tool. In the glove box, the mounted NLO crystal is hermetically sealed into the enclosure base by sealing the lid and plurality of window components into openings of the enclosure base.
(FR) L’invention concerne des procédés et un appareil de scellement hermétique d’un cristal optique non linéaire (NLO) utilisable dans un système laser. Un cristal NLO monté, une base d’enceinte, un couvercle, et une pluralité de composants de fenêtres sont déplacés dans un four. Un processus de cuisson sous vide est alors conduit sur le cristal NLO monté, la base d’enceinte, le couvercle et la pluralité de composants de fenêtres jusqu’à ce qu’un niveau d’humidité qui est inférieur à une quantité prédéfinie soit atteint. Le cristal NLO monté, la base d’enceinte, le couvercle et la pluralité de composants de fenêtres sont déplacés hors du four sur un étage d’une boîte à gants qui inclut un outil de scellement. Dans la boîte à gants, le cristal NLO monté est scellé hermétiquement dans la base d’enceinte en scellant le couvercle et la pluralité de composants de fenêtres dans des ouvertures de la base d’enceinte.
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)