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1. (WO2019067331) SYSTÈMES ET PROCÉDÉS DE STABILISATION DE FAISCEAU DE MÉTROLOGIE
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N° de publication : WO/2019/067331 N° de la demande internationale : PCT/US2018/052334
Date de publication : 04.04.2019 Date de dépôt international : 24.09.2018
CIB :
G01N 21/88 (2006.01) ,G01B 11/27 (2006.01) ,G01N 21/21 (2006.01)
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
N
RECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
21
Recherche ou analyse des matériaux par l'utilisation de moyens optiques, c. à d. en utilisant des rayons infrarouges, visibles ou ultraviolets
84
Systèmes spécialement adaptés à des applications particulières
88
Recherche de la présence de criques, de défauts ou de souillures
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
B
MESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
11
Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de moyens optiques
26
pour mesurer des angles ou des cônes; pour vérifier l'alignement des axes
27
pour vérifier l'alignement des axes
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
N
RECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
21
Recherche ou analyse des matériaux par l'utilisation de moyens optiques, c. à d. en utilisant des rayons infrarouges, visibles ou ultraviolets
17
Systèmes dans lesquels la lumière incidente est modifiée suivant les propriétés du matériau examiné
21
Propriétés affectant la polarisation
Déposants :
KLA-TENCOR CORPORATION [US/US]; One Technology Drive Milpitas, California 95035, US
Inventeurs :
BLASENHEIM, Barry; US
SAPIENS, Noam; US
FRIEDMANN, Michael; US
Mandataire :
MCANDREWS, Kevin; US
MORRIS, Elizabeth M.N.; US
Données relatives à la priorité :
16/033,51112.07.2018US
62/563,58026.09.2017US
Titre (EN) SYSTEMS AND METHODS FOR METROLOGY BEAM STABILIZATION
(FR) SYSTÈMES ET PROCÉDÉS DE STABILISATION DE FAISCEAU DE MÉTROLOGIE
Abrégé :
(EN) Methods and systems for measuring a specimen while actively stabilizing an optical measurement beam subject to changes in polarization by a rotating polarizer element are described herein. Movement of a focused measurement beam spot induced by a rotating polarizer element is compensated by actively controlling the position of an optical element in the beam path based on measurements of the focused measurement beam spot. Both feedback and feedforward control schemes may be employed to reduce beam position error. In one aspect, a measurement system includes a rotating optical polarizer, a beam position sensor, and an active beam compensating element in the illumination beam path, the collection beam path, or both. Beam position errors are detected by the beam position sensor, and control commands are communicated to the active beam compensating element to reduce the measured beam position errors.
(FR) L'invention concerne des procédés et des systèmes permettant de mesurer un échantillon tout en stabilisant activement un faisceau de mesure optique soumis à des changements de polarisation par l'intermédiaire d'un élément polariseur rotatif. Le mouvement d'un point de faisceau de mesure focalisé induit par un élément polariseur rotatif est compensé par la commande active de la position d'un élément optique dans le trajet de faisceau en fonction de mesures du point de faisceau de mesure focalisé. Des procédés de commande de rétroaction et de correction aval peuvent être utilisés afin de réduire une erreur de position de faisceau. Selon un aspect, un système de mesure comprend un polariseur optique rotatif, un capteur de position de faisceau et un élément de compensation de faisceau actif dans le trajet de faisceau d'éclairage, le trajet de faisceau de collecte, ou les deux. Des erreurs de position de faisceau sont détectées par le capteur de position de faisceau, et des commandes de commande sont communiquées à l'élément de compensation de faisceau actif afin de réduire les erreurs de position de faisceau mesurées.
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)