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1. (WO2019066995) DISPOSITIFS AU NITRURE DU GROUPE III (III-N) À PERFORMANCE RF AMÉLIORÉE ET LEURS PROCÉDÉS DE FABRICATION
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N° de publication : WO/2019/066995 N° de la demande internationale : PCT/US2017/054679
Date de publication : 04.04.2019 Date de dépôt international : 30.09.2017
CIB :
H01L 29/778 (2006.01) ,H01L 29/49 (2006.01) ,H01L 29/51 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
29
Dispositifs à semi-conducteurs spécialement adaptés au redressement, à l'amplification, à la génération d'oscillations ou à la commutation et ayant au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface; Condensateurs ou résistances ayant au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface, p.ex. jonction PN, région d'appauvrissement, ou région de concentration de porteurs de charges; Détails des corps semi-conducteurs ou de leurs électrodes
66
Types de dispositifs semi-conducteurs
68
commandables par le seul courant électrique fourni ou par la seule tension appliquée, à une électrode qui ne transporte pas le courant à redresser, amplifier ou commuter
76
Dispositifs unipolaires
772
Transistors à effet de champ
778
avec un canal à gaz de porteurs de charge à deux dimensions, p.ex. transistors à effet de champ à haute mobilité électronique HEMT
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
29
Dispositifs à semi-conducteurs spécialement adaptés au redressement, à l'amplification, à la génération d'oscillations ou à la commutation et ayant au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface; Condensateurs ou résistances ayant au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface, p.ex. jonction PN, région d'appauvrissement, ou région de concentration de porteurs de charges; Détails des corps semi-conducteurs ou de leurs électrodes
40
Electrodes
43
caractérisées par les matériaux dont elles sont constituées
49
Electrodes du type métal-isolant-semi-conducteur
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
29
Dispositifs à semi-conducteurs spécialement adaptés au redressement, à l'amplification, à la génération d'oscillations ou à la commutation et ayant au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface; Condensateurs ou résistances ayant au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface, p.ex. jonction PN, région d'appauvrissement, ou région de concentration de porteurs de charges; Détails des corps semi-conducteurs ou de leurs électrodes
40
Electrodes
43
caractérisées par les matériaux dont elles sont constituées
49
Electrodes du type métal-isolant-semi-conducteur
51
Matériaux isolants associés à ces électrodes
Déposants :
INTEL CORPORATION [US/US]; 2200 Mission College Blvd. Santa Clara, CA 95054, US
Inventeurs :
RADOSAVLJEVIC, Marko; US
DASGUPTA, Sansaptak; US
THEN, Han Wui; US
BAN, Ibrahim; US
FISCHER, Paul B.; US
Mandataire :
HOWARD, James M.; US
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) GROUP III-NITRIDE (III-N) DEVICES WITH IMPROVED RF PERFORMANCE AND THEIR METHODS OF FABRICATION
(FR) DISPOSITIFS AU NITRURE DU GROUPE III (III-N) À PERFORMANCE RF AMÉLIORÉE ET LEURS PROCÉDÉS DE FABRICATION
Abrégé :
(EN) A device including a III-N material is described. The device includes a transistor structure having a first layer including a first group III-nitride (III-N) material, a polarization charge inducing layer above the first layer, the polarization charge inducing layer including a second III-N material, a gate electrode above the polarization charge inducing layer and a source structure and a drain structure on opposite sides of the gate electrode. The device further includes a plurality of peripheral structures adjacent to transistor structure, where each of the peripheral structure includes the first layer, but lacks the polarization charge inducing layer, an insulating layer above the peripheral structure and the transistor structure, wherein the insulating layer includes a first dielectric material. A metallization structure, above the peripheral structure, is coupled to the transistor structure.
(FR) L'invention concerne un dispositif comprenant un matériau du groupe III-N. Le dispositif comprend une structure de transistor ayant une première couche comprenant un premier matériau de nitrure du groupe III (III-N), une couche induisant une charge de polarisation au-dessus de la première couche, la couche induisant une charge de polarisation comprenant un second matériau du groupe III-N, une électrode de grille au-dessus de la couche d'induction de charge de polarisation et une structure de source et une structure de drain sur des côtés opposés de l'électrode de grille. Le dispositif comprend en outre une pluralité de structures périphériques adjacentes à la structure de transistor, chacune de la structure périphérique comprenant la première couche, mais dépourvue de la couche inductrice de charge de polarisation, une couche isolante au-dessus de la structure périphérique et de la structure de transistor, la couche isolante comprenant un premier matériau diélectrique. Une structure de métallisation, au-dessus de la structure périphérique, est couplée à la structure de transistor.
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)