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1. (WO2019066256) CARTOUCHE DE TEST DE SUBSTRATS ET PROCÉDÉ DE FABRICATION ASSOCIÉ
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N° de publication : WO/2019/066256 N° de la demande internationale : PCT/KR2018/009595
Date de publication : 04.04.2019 Date de dépôt international : 21.08.2018
CIB :
G01R 1/04 (2006.01) ,G01R 1/073 (2006.01) ,G01R 31/28 (2006.01) ,G01R 3/00 (2006.01)
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
R
MESURE DES VARIABLES ÉLECTRIQUES; MESURE DES VARIABLES MAGNÉTIQUES
1
Détails ou dispositions des appareils des types couverts par les groupes G01R5/-G01R13/125
02
Éléments structurels généraux
04
Boîtiers; Organes de support; Agencements des bornes
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
R
MESURE DES VARIABLES ÉLECTRIQUES; MESURE DES VARIABLES MAGNÉTIQUES
1
Détails ou dispositions des appareils des types couverts par les groupes G01R5/-G01R13/125
02
Éléments structurels généraux
06
Conducteurs de mesure; Sondes de mesure
067
Sondes de mesure
073
Sondes multiples
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
R
MESURE DES VARIABLES ÉLECTRIQUES; MESURE DES VARIABLES MAGNÉTIQUES
31
Dispositions pour vérifier les propriétés électriques; Dispositions pour la localisation des pannes électriques; Dispositions pour l'essai électrique caractérisées par ce qui est testé, non prévues ailleurs
28
Essai de circuits électroniques, p.ex. à l'aide d'un traceur de signaux
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
R
MESURE DES VARIABLES ÉLECTRIQUES; MESURE DES VARIABLES MAGNÉTIQUES
3
Appareils ou procédés spécialement adaptés à la fabrication des appareils de mesure
Déposants :
한국생산기술연구원 KOREA INSTITUTE OF INDUSTRIAL TECHNOLOGY [KR/KR]; 충청남도 천안시 서북구 입장면 양대기로길 89 89, Yangdaegiro-gil, Ipjang-myeon, Seobuk-gu Cheonan-si Chungcheongnam-do 31056, KR
Inventeurs :
남경태 NAM, Kyung Tae; KR
이상무 LEE, Sang Moo; KR
이승준 LEE, Seung Joon; KR
이광희 LEE, Kwang Hee; KR
추성원 CHOO, Sung Won; KR
Mandataire :
특허법인 이룸리온 ERUUM & LEEON INTELLECTUAL PROPERTY LAW FIRM; 서울시 서초구 사평대로 108, 3층 (반포동) (Banpo-dong) 3rd Floor, 108, Sapyeong-daero, Seocho-gu Seoul 06575, KR
Données relatives à la priorité :
10-2017-012631828.09.2017KR
Titre (EN) SUBSTRATE TESTING CARTRIDGE AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME
(FR) CARTOUCHE DE TEST DE SUBSTRATS ET PROCÉDÉ DE FABRICATION ASSOCIÉ
(KO) 기판 검사 카트리지 및 이의 제조 방법
Abrégé :
(EN) The present invention relates to a substrate testing cartridge provided for simultaneously testing multiple substrates for which a substrate treatment process has been finished, and a method for manufacturing same. According to an embodiment of the present invention, a substrate testing cartridge comprises: a chuck member on which a substrate is placed; a probe card which contacts and tests the substrate and is positioned to face the chuck member with reference to the substrate; and coupling members which couple the substrate, the chuck member, and the probe card, wherein each coupling member comprises: a substrate coupling part which couples the substrate and the chuck member; and a chuck coupling part which couples the probe card and the chuck member.
(FR) L'invention concerne une cartouche de test de substrats servant à tester simultanément des substrats multiples pour lesquels un processus de traitement de substrat a été achevé, ainsi qu'un procédé de fabrication associé. Dans un mode de réalisation, la cartouche de test de substrats selon l'invention comprend : un élément mandrin sur lequel est placé un substrat; une carte sonde venant en contact avec le substrat et testant ce dernier, qui est positionnée de sorte à faire face à l'élément mandrin par rapport au substrat; et un élément de couplage destiné à coupler le substrat, l'élément mandrin et la carte sonde, l'élément de couplage comprenant : une partie couplage de substrat destinée à coupler le substrat et l'élément mandrin; et une partie couplage de mandrin destinée à coupler la carte sonde et l'élément mandrin.
(KO) 본 발명은 기판 처리 공정이 끝난 복수개의 기판을 동시에 검사하기 위해 제공되는 기판 검사 카트리지 및 이의 제조 방법에 에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시 예에 따르면, 상기 기판이 놓이는 척 부재와 상기 기판과 접촉하여 상기 기판을 검사하고, 상기 기판을 기준으로 상기 척 부재와 마주보며 위치하는 프로브 카드와 그리고 상기 기판, 상기 척 부재 그리고 상기 프로브 카드를 결합시키는 결합 부재를 포함하되, 상기 결합 부재는 상기 기판과 상기 척부재를 결합시키는 기판 결합부와 상기 프로브 카드와 상기 척 부재를 결합시키는 척 결합부를; 포함하는 기판 검사 카트리지를 포함한다.
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Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : coréen (KO)
Langue de dépôt : coréen (KO)