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1. (WO2019065244) PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UN CAPTEUR MAGNÉTIQUE ET ENSEMBLE CAPTEUR MAGNÉTIQUE
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N° de publication : WO/2019/065244 N° de la demande internationale : PCT/JP2018/033810
Date de publication : 04.04.2019 Date de dépôt international : 12.09.2018
CIB :
G01R 33/02 (2006.01) ,H01L 43/12 (2006.01)
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
R
MESURE DES VARIABLES ÉLECTRIQUES; MESURE DES VARIABLES MAGNÉTIQUES
33
Dispositions ou appareils pour la mesure des grandeurs magnétiques
02
Mesure de la direction ou de l'intensité de champs magnétiques ou de flux magnétiques
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
43
Dispositifs utilisant les effets galvanomagnétiques ou des effets magnétiques analogues; Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de ces dispositifs ou de leurs parties constitutives
12
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou le traitement de ces dispositifs ou de leurs parties constitutives
Déposants :
昭和電工株式会社 SHOWA DENKO K.K. [JP/JP]; 東京都港区芝大門一丁目13番9号 13-9, Shiba Daimon 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058518, JP
Inventeurs :
遠藤 大三 ENDO, Daizo; JP
Mandataire :
古部 次郎 FURUBE, Jiro; JP
加藤 謹矢 KATO, Kinya; JP
Données relatives à la priorité :
2017-19044829.09.2017JP
Titre (EN) METHOD FOR PRODUCING MAGNETIC SENSOR AND MAGNETIC SENSOR ASSEMBLY
(FR) PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UN CAPTEUR MAGNÉTIQUE ET ENSEMBLE CAPTEUR MAGNÉTIQUE
(JA) 磁気センサの製造方法及び磁気センサ集合体
Abrégé :
(EN) Provided is a method for producing a magnetic sensor, the method comprising: a soft-magnetic-layer-deposition step in which a soft magnetic layer 101 constituting a magnetic field sensing part 21 is deposited on a substrate 10 by magnetron sputtering; and a sensing-part-forming step for forming the magnetic field sensing part 21 in a portion of the soft magnetic layer 101, the portion having uniaxial magnetic anisotropy due to the magnetic field used for magnetron sputtering.
(FR) L'invention concerne un procédé de production d'un capteur magnétique, le procédé comprenant : le dépôt d'une couche magnétique molle dans laquelle une couche magnétique molle (101) constituant une partie de détection de champ magnétique (21) est déposée sur un substrat (10) par pulvérisation magnétron ; et la formation d'une partie de détection permettant de former la partie de détection de champ magnétique (21) dans une partie de la couche magnétique molle (101), la partie présentant une anisotropie magnétique uniaxiale due au champ magnétique utilisé pour la pulvérisation magnétron.
(JA) 磁気センサの製造方法は、マグネトロンスパッタリングにより、基板10上に磁界を感受する感受部21を構成する軟磁性体層101を堆積する軟磁性体層堆積工程と、軟磁性体層101のマグネトロンスパッタリングに用いた磁界により一軸磁気異方性が付与された部分に、磁界を感受する感受部21を形成する感受部形成工程とを含む。
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Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)