Certains contenus de cette application ne sont pas disponibles pour le moment.
Si cette situation persiste, veuillez nous contacter àObservations et contact
1. (WO2019064891) DISPOSITIF DE TRANSPORT DE SUBSTRAT ET PROCÉDÉ DE DÉTERMINATION DE RELATION DE POSITION ENTRE UN ROBOT DE TRANSPORT DE SUBSTRAT ET UNE UNITÉ TRANSPORTEUSE DE SUBSTRAT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international    Formuler une observation

N° de publication : WO/2019/064891 N° de la demande internationale : PCT/JP2018/028493
Date de publication : 04.04.2019 Date de dépôt international : 30.07.2018
CIB :
H01L 21/677 (2006.01) ,B25J 9/22 (2006.01) ,B65G 49/07 (2006.01) ,H01L 21/68 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67
Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
677
pour le transport, p.ex. entre différents postes de travail
B TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
25
OUTILS À MAIN; OUTILS PORTATIFS À MOTEUR; MANCHES POUR USTENSILES À MAIN; OUTILLAGE D'ATELIER; MANIPULATEURS
J
MANIPULATEURS; ENCEINTES À DISPOSITIFS DE MANIPULATION INTÉGRÉS
9
Manipulateurs à commande programmée
16
Commandes à programme
22
Systèmes d'enregistrement ou de reproduction
B TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
65
MANUTENTION; EMBALLAGE; EMMAGASINAGE; MANIPULATION DES MATÉRIAUX DE FORME PLATE OU FILIFORME
G
DISPOSITIFS DE TRANSPORT OU D'EMMAGASINAGE, p.ex. TRANSPORTEURS POUR CHARGEMENT OU BASCULEMENT, SYSTÈMES TRANSPORTEURS POUR MAGASINS OU TRANSPORTEURS PNEUMATIQUES À TUBES
49
Systèmes transporteurs caractérisés par leur utilisation à des fins particulières, non prévus ailleurs
05
pour des matériaux ou objets fragiles ou dommageables
07
pour des plaquettes semi-conductrices
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67
Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
68
pour le positionnement, l'orientation ou l'alignement
Déposants :
川崎重工業株式会社 KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 兵庫県神戸市中央区東川崎町3丁目1番1号 1-1, Higashikawasaki-cho 3-chome, Chuo-ku, Kobe-shi, Hyogo 6508670, JP
Inventeurs :
吉田 雅也 YOSHIDA, Masaya; --
野口 健治 NOGUCHI, Kenji; --
岡田 拓之 OKADA, Hiroyuki; --
Mandataire :
特許業務法人 有古特許事務所 PATENT CORPORATE BODY ARCO PATENT OFFICE; 兵庫県神戸市中央区東町123番地の1 貿易ビル3階 3rd Fl., Bo-eki Bldg., 123-1, Higashimachi, Chuo-ku, Kobe-shi, Hyogo 6500031, JP
Données relatives à la priorité :
2017-19161929.09.2017JP
Titre (EN) SUBSTRATE TRANSPORT DEVICE AND METHOD FOR DETERMINING POSITIONAL RELATIONSHIP BETWEEN SUBSTRATE TRANSPORT ROBOT AND SUBSTRATE CARRYING UNIT
(FR) DISPOSITIF DE TRANSPORT DE SUBSTRAT ET PROCÉDÉ DE DÉTERMINATION DE RELATION DE POSITION ENTRE UN ROBOT DE TRANSPORT DE SUBSTRAT ET UNE UNITÉ TRANSPORTEUSE DE SUBSTRAT
(JA) 基板搬送装置及び基板搬送ロボットと基板載置部との位置関係を求める方法
Abrégé :
(EN) The invention comprises: a step of detecting, with an object detection sensor, a portion of the surface of a target in a plurality of rotational positions where a rotational position when the rotational axis of the target on a substrate carrying unit serves as the rotational center and/or a rotational position when a robot reference axis in a detection region serves as the rotation center is changed, wherein the portion of the surface of the target is positioned at the inner side of a predetermined circle, which is centered on the rotational axis, through which the target passes; a step of determining, for each of the plurality of rotational positions, a quantity correlated with a reference length, which represents the distance from the robot reference axis to the target when the target is detected with the object detection sensor; and a step of determining the positional relationship between the robot reference axis and the rotational axis on the basis of the rotational position, from among the plurality of rotation positions, for which the quantity correlated with the reference length is maximum or minimum.
(FR) L'invention comprend : une étape de détection, à l'aide d'un capteur de détection d'objet, d'une partie de la surface d'une cible dans une pluralité de positions de rotation, une position de rotation lorsque l'axe de rotation de la cible sur une unité transporteuse de substrat sert de centre de rotation et/ou une position de rotation lorsqu'un axe de référence de robot dans une région de détection sert de centre de rotation étant changées, et la partie de la surface de la cible étant positionnée sur le côté interne d'un cercle prédéfini, qui est centré sur l'axe de rotation, par lequel passe la cible ; une étape de détermination, pour chaque position de rotation de la pluralité de positions de rotation, d'une quantité corrélée à une longueur de référence, qui représente la distance de l'axe de référence de robot à la cible lorsque la cible est détectée à l'aide du capteur de détection d'objet ; et une étape de détermination de la relation de position entre l'axe de référence de robot et l'axe de rotation sur la base de la position de rotation, parmi la pluralité de positions de rotation, pour laquelle la quantité corrélée à la longueur de référence est maximale ou minimale.
(JA) 基板載置部上のターゲットの回転軸を回転中心とする回転位置、及び、検出領域のロボット基準軸を回転中心とする回転位置のうち少なくとも一方を変化させた複数の回転位置において、ターゲットの表面の一部分であって回転軸を中心とし且つターゲットを通過する所定の円周の内周側に位置する部分を物体検出センサで検出するステップと、複数の回転位置の各々について、物体検出センサでターゲットを検出したときのロボット基準軸からターゲットまでの距離を表す指標長さと相関関係のある量を求めるステップと、複数の回転位置のうち指標長さと相関関係のある量が最大又は最小になるものに基づいて、ロボット基準軸と回転軸との位置関係を求めるステップとを含む。
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)