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1. (WO2019064583) DISPOSITIF DE MANIPULATION DE SUBSTRAT, DISPOSITIF D'EXPOSITION, PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'AFFICHAGE À PANNEAU PLAT, PROCÉDÉ DE PRODUCTION DE DISPOSITIF, PROCÉDÉ DE MANIPULATION DE SUBSTRAT ET PROCÉDÉ D'EXPOSITION
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N° de publication : WO/2019/064583 N° de la demande internationale : PCT/JP2017/035719
Date de publication : 04.04.2019 Date de dépôt international : 29.09.2017
CIB :
G03F 7/20 (2006.01) ,H01L 21/677 (2006.01)
G PHYSIQUE
03
PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
F
PRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
7
Production par voie photomécanique, p.ex. photolithographique, de surfaces texturées, p.ex. surfaces imprimées; Matériaux à cet effet, p.ex. comportant des photoréserves; Appareillages spécialement adaptés à cet effet
20
Exposition; Appareillages à cet effet
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67
Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
677
pour le transport, p.ex. entre différents postes de travail
Déposants :
株式会社ニコン NIKON CORPORATION [JP/JP]; 東京都港区港南二丁目15番3号 15-3, Konan 2-chome, Minato-ku, Tokyo 1086290, JP
Inventeurs :
青木保夫 AOKI, Yasuo; JP
Mandataire :
片山修平 KATAYAMA, Shuhei; JP
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) SUBSTRATE HANDLING DEVICE, EXPOSURE DEVICE, METHOD FOR PRODUCING FLAT PANEL DISPLAY, DEVICE PRODUCTION METHOD, SUBSTRATE HANDLING METHOD, AND EXPOSURE METHOD
(FR) DISPOSITIF DE MANIPULATION DE SUBSTRAT, DISPOSITIF D'EXPOSITION, PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'AFFICHAGE À PANNEAU PLAT, PROCÉDÉ DE PRODUCTION DE DISPOSITIF, PROCÉDÉ DE MANIPULATION DE SUBSTRAT ET PROCÉDÉ D'EXPOSITION
(JA) 基板搬送装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、デバイス製造方法、基板搬送方法、及び露光方法
Abrégé :
(EN) In order to shorten the time required for substrate replacement, this substrate handling device which conveys a substrate to a holding device comprises: a first holding portion which holds the substrate above the holding device; a second holding portion which holds part of the substrate held by the first holding portion; and a drive unit which moves the holding device and one of the second holding portion and the first holding portion relative to one another in such a manner that the first holding portion retracts from above the holding device. The substrate is held during the relative movement of the holding device, first holding portion and second holding portion caused by the drive unit.
(FR) Selon l'invention, afin de raccourcir le temps nécessaire au remplacement d'un substrat, ce dispositif de manipulation de substrat qui transporte un substrat vers un dispositif de maintien comprend: une première partie de maintien qui maintient le substrat au-dessus du dispositif de maintien; une seconde partie de maintien qui maintient une partie du substrat maintenue par la première partie de maintien; et une unité d'entraînement qui déplace le dispositif de maintien et l'une de la seconde partie de maintien et de la première partie de maintien l'une par rapport à l'autre de telle sorte que la première partie de maintien se rétracte depuis le dessus du dispositif de maintien. Le substrat est maintenu pendant le mouvement relatif du dispositif de maintien, de la première partie de maintien et de la seconde partie de maintien provoqué par l'unité d'entraînement.
(JA) 基板交換にかかる時間を短縮するため、基板を保持装置に搬送する基板搬送装置において、前記保持装置の上方で前記基板を保持する第1保持部と、前記第1保持部に保持された前記基板の一部を保持する第2保持部と、前記第1保持部が前記保持装置の上方から退避されるように、前記保持装置及び前記第2保持部と前記第1保持部との一方を他方に対して相対移動させる駆動部と、を備え、前記保持装置と前記第1保持部と前記第2保持部とは、前記駆動部による相対移動中に前記基板を保持する基板搬送装置である。
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Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)