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1. (WO2019063637) ENSEMBLE ET RÉCIPIENT POUR DÉPÔT PHYSIQUE EN PHASE VAPEUR AVEC DISSIPATION THERMIQUE
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N° de publication : WO/2019/063637 N° de la demande internationale : PCT/EP2018/076170
Date de publication : 04.04.2019 Date de dépôt international : 26.09.2018
CIB :
C23C 14/24 (2006.01) ,C23C 14/30 (2006.01) ,H01J 37/305 (2006.01)
C CHIMIE; MÉTALLURGIE
23
REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT CHIMIQUE DE SURFACE; TRAITEMENT DE DIFFUSION DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL; MOYENS POUR EMPÊCHER LA CORROSION DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES, L'ENTARTRAGE OU LES INCRUSTATIONS, EN GÉNÉRAL
C
REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT DE SURFACE DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES PAR DIFFUSION DANS LA SURFACE, PAR CONVERSION CHIMIQUE OU SUBSTITUTION; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL
14
Revêtement par évaporation sous vide, pulvérisation cathodique ou implantation d'ions du matériau composant le revêtement
22
caractérisé par le procédé de revêtement
24
Evaporation sous vide
C CHIMIE; MÉTALLURGIE
23
REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT CHIMIQUE DE SURFACE; TRAITEMENT DE DIFFUSION DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL; MOYENS POUR EMPÊCHER LA CORROSION DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES, L'ENTARTRAGE OU LES INCRUSTATIONS, EN GÉNÉRAL
C
REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT DE SURFACE DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES PAR DIFFUSION DANS LA SURFACE, PAR CONVERSION CHIMIQUE OU SUBSTITUTION; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL
14
Revêtement par évaporation sous vide, pulvérisation cathodique ou implantation d'ions du matériau composant le revêtement
22
caractérisé par le procédé de revêtement
24
Evaporation sous vide
28
par énergie éléctromagnétique ou par rayonnement corpusculaire
30
par bombardement d'électrons
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
J
TUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37
Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
30
Tubes à faisceau électronique ou ionique destinés aux traitements localisés d'objets
305
pour couler, fondre, évaporer ou décaper
Déposants :
ESSILOR INTERNATIONAL [FR/FR]; 147, rue de Paris 94220 CHARENTON-LE-PONT, FR
Inventeurs :
PAGNON, Philippe; FR
Mandataire :
PETIT, Maxime; FR
TESSIER, Benoît; FR
PEGUET, Wilfried; FR
Données relatives à la priorité :
17306283.727.09.2017EP
Titre (EN) ASSEMBLY AND CONTAINER FOR PHYSICAL VAPOR DEPOSITION WITH HEAT DISSIPATION
(FR) ENSEMBLE ET RÉCIPIENT POUR DÉPÔT PHYSIQUE EN PHASE VAPEUR AVEC DISSIPATION THERMIQUE
Abrégé :
(EN) It is proposed an assembly (10) comprising: - a crucible (12) comprising at least one cavity (16), - a container (14) for a material (15) to be vaporized, the container being intended to be disposed inside the cavity of the crucible and comprising: - a container lateral surface (20) comprising an upper part (24) and a lower part (26), the upper part being configured to be at least partially in surface contact with a cavity lateral surface when the container is disposed inside the cavity, the lower part being configured to be distant from the cavity lateral surface to form a free space (25) surrounding the container between the lower part and the cavity lateral surface when the container is disposed inside the cavity, and - a container bottom surface (28) configured to be at least partially in contact with a cavity bottom surface.
(FR) La présente invention concerne un ensemble (10) comprenant : - un creuset (12) comprenant au moins une cavité (16), - un récipient (14) pour un matériau (15) à vaporiser, le récipient étant destiné à être disposé à l'intérieur de la cavité du creuset et comprenant : - une surface latérale de récipient (20) comprenant une partie supérieure (24) et une partie inférieure (26), la partie supérieure étant configurée pour être au moins partiellement en contact de surface avec une surface latérale de cavité lorsque le récipient est disposé à l'intérieur de la cavité, la partie inférieure étant configurée pour être distante de la surface latérale de cavité pour former un espace libre (25) entourant le récipient entre la partie inférieure et la surface latérale de cavité lorsque le récipient est disposé à l'intérieur de la cavité, et - une surface inférieure de récipient (28) configurée pour être au moins partiellement en contact avec une surface inférieure de cavité.
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)