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1. (WO2019063559) DÉTERMINATION DYNAMIQUE D'UNE RECETTE D'INSPECTION D'ÉCHANTILLON D'INSPECTION PAR FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES
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N° de publication : WO/2019/063559 N° de la demande internationale : PCT/EP2018/075986
Date de publication : 04.04.2019 Date de dépôt international : 25.09.2018
CIB :
H01J 37/28 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
J
TUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37
Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
26
Microscopes électroniques ou ioniques; Tubes à diffraction d'électrons ou d'ions
28
avec faisceaux de balayage
Déposants :
ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven, NL
Inventeurs :
CHEN, Zhongwei; US
JAU, Jack; US
FANG, Wei; US
KUAN, Chiyan; US
Mandataire :
PETERS, John; NL
Données relatives à la priorité :
62/566,13229.09.2017US
Titre (EN) DYNAMIC DETERMINATION OF A SAMPLE INSPECTION RECIPE OF CHARGED PARTICLE BEAM INSPECTION
(FR) DÉTERMINATION DYNAMIQUE D'UNE RECETTE D'INSPECTION D'ÉCHANTILLON D'INSPECTION PAR FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES
Abrégé :
(EN) Disclosed herein is a method comprising: determining parameters of a recipe of charged particle beam inspection of a region on a sample, based on a second set of characteristics of the sample; inspecting the region using the recipe.
(FR) La présente invention concerne un procédé consistant : à déterminer des paramètres d'une recette d'inspection par faisceau de particules chargées d'une région sur un échantillon, sur la base d'un second ensemble de caractéristiques de l'échantillon; à inspecter la région à l'aide de la recette.
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)