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1. (WO2019063532) PROCÉDÉS D'INSPECTION D'ÉCHANTILLONS AVEC DE MULTIPLES FAISCEAUX DE PARTICULES CHARGÉES
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N° de publication : WO/2019/063532 N° de la demande internationale : PCT/EP2018/075930
Date de publication : 04.04.2019 Date de dépôt international : 25.09.2018
CIB :
H01J 37/22 (2006.01) ,H01J 37/28 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
J
TUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37
Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
02
Détails
22
Dispositifs optiques ou photographiques associés au tube
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
J
TUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37
Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
26
Microscopes électroniques ou ioniques; Tubes à diffraction d'électrons ou d'ions
28
avec faisceaux de balayage
Déposants :
ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven, NL
Inventeurs :
LIU, Kuo-Shih; US
LIU, Xuedong; US
FANG, Wei; US
JAU, Jack; US
Mandataire :
PETERS, John; NL
Données relatives à la priorité :
62/566,17729.09.2017US
Titre (EN) METHODS OF INSPECTING SAMPLES WITH MULTIPLE BEAMS OF CHARGED PARTICLES
(FR) PROCÉDÉS D'INSPECTION D'ÉCHANTILLONS AVEC DE MULTIPLES FAISCEAUX DE PARTICULES CHARGÉES
Abrégé :
(EN) Disclosed herein is a method comprising: generating a plurality of probe spots (310A-310C) on a sample by a plurality of beams of charged particles; while scanning the plurality of probe spots across a region (300) on the sample, recording from the plurality of probe spots a plurality of sets of signals respectively representing interactions of the plurality of beams of charged particles and the sample; generating a plurality of images (361-363) of the region (300) respectively from the plurality of sets of signals; and generating a composite image of the region from the plurality of images.
(FR) L'invention concerne un procédé consistant à : générer une pluralité de points de sonde (310A-310C) sur un échantillon par une pluralité de faisceaux de particules chargées; tout en balayant la pluralité de points de sonde à travers une région (300) sur l'échantillon, enregistrant à partir de la pluralité de points de sonde une pluralité d'ensembles de signaux représentant respectivement des interactions de la pluralité de faisceaux de particules chargées et de l'échantillon; générer une pluralité d'images (361-363) de la région (300) respectivement à partir de la pluralité d'ensembles de signaux; et générer une image composite de la région à partir de la pluralité d'images.
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)