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1. (WO2019063437) OPTIQUE DE COMPENSATION POUR UN SYSTÈME DE MESURE INTERFÉROMÉTRIQUE
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N° de publication : WO/2019/063437 N° de la demande internationale : PCT/EP2018/075650
Date de publication : 04.04.2019 Date de dépôt international : 21.09.2018
CIB :
G01B 9/02 (2006.01) ,G01B 11/24 (2006.01) ,G01M 11/00 (2006.01) ,G02B 5/32 (2006.01) ,G02B 26/06 (2006.01) ,G02B 27/09 (2006.01) ,G01J 9/02 (2006.01) ,G03F 7/20 (2006.01) ,G01N 21/17 (2006.01)
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
B
MESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
9
Instruments tels que spécifiés dans les sous-groupes et caractérisés par l'utilisation de moyens de mesure optiques
02
Interféromètres
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
B
MESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
11
Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de moyens optiques
24
pour mesurer des contours ou des courbes
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
M
ESSAI D'ÉQUILIBRAGE STATIQUE OU DYNAMIQUE DES MACHINES, DES STRUCTURES OU DES OUVRAGES; ESSAI DES STRUCTURES, DES OUVRAGES OU DES APPAREILS, NON PRÉVU AILLEURS
11
Essai des appareils d'optique; Essai des structures ou ouvrages par des méthodes optiques, non prévu ailleurs
G PHYSIQUE
02
OPTIQUE
B
ÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
5
Eléments optiques autres que les lentilles
32
Hologrammes utilisés comme éléments optiques
G PHYSIQUE
02
OPTIQUE
B
ÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
26
Dispositifs ou systèmes optiques utilisant des éléments optiques mobiles ou déformables pour commander l'intensité, la couleur, la phase, la polarisation ou la direction de la lumière, p.ex. commutation, ouverture de porte, modulation
06
pour commander la phase de la lumière
G PHYSIQUE
02
OPTIQUE
B
ÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
27
Autres systèmes optiques; Autres appareils optiques
09
Mise en forme du faisceau, p.ex. changement de la section transversale, non prévue ailleurs
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
J
MESURE DE L'INTENSITÉ, DE LA VITESSE, DU SPECTRE, DE LA POLARISATION, DE LA PHASE OU DES CARACTÉRISTIQUES D'IMPULSIONS DE LUMIÈRE INFRAROUGE, VISIBLE OU ULTRAVIOLETTE; COLORIMÉTRIE; PYROMÉTRIE DES RADIATIONS
9
Mesure du déphasage des rayons lumineux; Recherche du degré de cohérence; Mesure de la longueur d'onde des rayons lumineux
02
par des méthodes interférométriques
G PHYSIQUE
03
PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
F
PRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
7
Production par voie photomécanique, p.ex. photolithographique, de surfaces texturées, p.ex. surfaces imprimées; Matériaux à cet effet, p.ex. comportant des photoréserves; Appareillages spécialement adaptés à cet effet
20
Exposition; Appareillages à cet effet
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
N
RECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
21
Recherche ou analyse des matériaux par l'utilisation de moyens optiques, c. à d. en utilisant des rayons infrarouges, visibles ou ultraviolets
17
Systèmes dans lesquels la lumière incidente est modifiée suivant les propriétés du matériau examiné
Déposants :
CARL ZEISS SMT GMBH [DE/DE]; Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen, DE
Inventeurs :
HETZLER, Jochen; DE
SCHULTE, Stefan; DE
Mandataire :
SUMMERER, Christian; DE
ZEUNER, Stefan; DE
Données relatives à la priorité :
10 2017 217 369.629.09.2017DE
Titre (EN) COMPENSATION OPTICAL SYSTEM FOR AN INTERFEROMETRIC MEASURING SYSTEM
(FR) OPTIQUE DE COMPENSATION POUR UN SYSTÈME DE MESURE INTERFÉROMÉTRIQUE
(DE) KOMPENSATIONSOPTIK FÜR EIN INTERFEROMETRISCHES MESSSYSTEM
Abrégé :
(EN) The invention relates to a compensation optical system (30) for a measuring system (10), said measuring system being used to determine a form of an optical surface (12) of a test object (14) by interferometry and said compensation optical system being configured to produce, from an input wave (18), a measurement wave (44) that is directed on to the test object and that has a wavefront at least partially adapted to a required form of the optical surface. The compensation optical system comprises a first optical element (32) and a second optical element (34) arranged downstream of the first optical element in a beam path of the input wave. The second optical element is a diffractive optical element, which is configured to split the input wave, after interaction with the first optical element, into the measurement wave (44) and a reference wave (42). At least 20% of a refractive power of the entire compensation optical system (30), which is provided to produce the at least partially adapted wavefront of the measurement wave from a wavefront of the input wave, is accounted for by the first optical element (32) and the refractive power accounted for by the first optical element has the same sign as the refractive power of the entire compensation optical system.
(FR) L'invention concerne une optique de compensation (30) pour un système de mesure (10) servant à la détermination interférométrique d'une forme d'une surface optique (12) d'un objet en essai (14), laquelle est configurée pour générer, à partir d'une onde d'entrée (18), une onde de mesure (44) dirigée sur l'objet en essai avec un front d'onde au moins partiellement adapté à une forme voulue de la surface optique. L'optique de compensation comprend un premier élément optique (32) ainsi qu'un deuxième élément optique (34) disposé à la suite de celui-ci dans un trajet de rayon de l'onde d'entrée. Le deuxième élément optique est un élément optique diffractif qui est configuré pour dédoubler l'onde d'entrée en une onde de mesure (44) ainsi qu'une onde de référence (42) après l'interaction avec le premier élément optique. Au moins 20 % d'un pouvoir réfringent de l'optique de compensation (30) totale, laquelle est conçue pour générer le front d'onde au moins partiellement adapté de l'onde de mesure à partir d'un front d'onde de l'onde d'entrée, reviennent au premier élément optique (32), et le pouvoir réfringent qui revient au premier élément présente le même signe que le pouvoir réfringent de l'optique de compensation totale.
(DE) Eine Kompensationsoptik (30) für ein der interferometrischen Bestimmung einer Form einer optischen Oberfläche (12) eines Testobjekts (14) dienendes Messsystem (10) ist dazu konfiguriert, aus einer Eingangswelle (18) eine auf das Testobjekt gerichtete Messwelle (44) mit einer zumindest teilweise an eine Sollform der optischen Oberfläche angepassten Wellenfront zu erzeugen. Die Kompensationsoptik umfasst ein erstes optisches Element (32) sowie ein diesem in einem Strahlengang der Eingangswelle nachgeordnetes zweites optisches Element (34). Das zweite optische Element ist ein diffraktives optisches Element, welches dazu konfiguriert ist, die Eingangswelle nach Wechselwirkung mit dem ersten optischen Element in die Messwelle (44) sowie eine Referenzwelle (42) aufzuspalten. Mindestens 20% einer Brechkraft der gesamten Kompensationsoptik (30), welche zur Erzeugung der zumindest teilweise angepassten Wellenfront der Messwelle aus einer Wellenfront der Eingangswelle vorgesehen ist, entfällt auf das erste optische Element (32) und die auf das erste optische Element entfallende Brechkraft weist das gleiche Vorzeichen wie die Brechkraft der gesamten Kompensationsoptik auf.
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Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)