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1. (WO2019063432) DÉTECTION DE CARACTÉRISTIQUES ENFOUIES PAR DES PARTICULES RÉTRODIFFUSÉES
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N° de publication : WO/2019/063432 N° de la demande internationale : PCT/EP2018/075610
Date de publication : 04.04.2019 Date de dépôt international : 21.09.2018
CIB :
H01J 37/244 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
J
TUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37
Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
02
Détails
244
Détecteurs; Composants ou circuits associés
Déposants :
ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven, NL
Inventeurs :
WANG, Joe; US
LIN, Chia Wen; US
CHEN, Zhongwei; US
YEH, Chang-Chun; TW
Mandataire :
PETERS, John; NL
Données relatives à la priorité :
62/563,60126.09.2017US
Titre (EN) DETECTION OF BURIED FEATURES BY BACKSCATTERED PARTICLES
(FR) DÉTECTION DE CARACTÉRISTIQUES ENFOUIES PAR DES PARTICULES RÉTRODIFFUSÉES
Abrégé :
(EN) Disclosed herein an apparatus (100) and a method for detecting buried features using backscattered particles. In an example, the apparatus comprises a source of charged particles; a stage (30); optics (16) configured to direct a beam of the charged particles to a sample (9) supported on the stage; a signal detector (5010) configured to detect backscattered particles of the charged particles in the beam from the sample; wherein the signal detector has angular resolution. In an example, the methods comprises obtaining an image of backscattered particles from a region of a sample; determining existence or location of a buried feature based on the image.
(FR) L'invention concerne un appareil (100) et un procédé de détection de caractéristiques enfouies à l'aide de particules rétrodiffusées. Dans un exemple, l'appareil comprend une source de particules chargées; une platine (30); des optiques (16) conçues pour diriger un faisceau des particules chargées vers un échantillon (9) supporté sur la platine; un détecteur de signal (5010) conçu pour détecter des particules rétrodiffusées des particules chargées dans le faisceau à partir de l'échantillon; le détecteur de signal ayant une résolution angulaire. Dans un exemple, les procédés comprennent l'obtention d'une image de particules rétrodiffusées à partir d'une région d'un échantillon; la détermination de l'existence ou de l'emplacement d'une caractéristique enterrée sur la base de l'image.
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
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Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)