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1. (WO2019063403) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF DE MESURE SANS CONTACT D’UNE DISTANCE À UNE SURFACE OU D’UNE DISTANCE ENTRE DEUX SURFACES
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N° de publication : WO/2019/063403 N° de la demande internationale : PCT/EP2018/075441
Date de publication : 04.04.2019 Date de dépôt international : 20.09.2018
CIB :
G02B 21/00 (2006.01) ,G01B 11/06 (2006.01) ,G01J 3/02 (2006.01) ,G01B 9/02 (2006.01)
G PHYSIQUE
02
OPTIQUE
B
ÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
21
Microscopes
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
B
MESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
11
Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de moyens optiques
02
pour mesurer la longueur, la largeur ou l'épaisseur
06
pour mesurer l'épaisseur
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
J
MESURE DE L'INTENSITÉ, DE LA VITESSE, DU SPECTRE, DE LA POLARISATION, DE LA PHASE OU DES CARACTÉRISTIQUES D'IMPULSIONS DE LUMIÈRE INFRAROUGE, VISIBLE OU ULTRAVIOLETTE; COLORIMÉTRIE; PYROMÉTRIE DES RADIATIONS
3
Spectrométrie; Spectrophotométrie; Monochromateurs; Mesure de la couleur
02
Parties constitutives
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
B
MESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
9
Instruments tels que spécifiés dans les sous-groupes et caractérisés par l'utilisation de moyens de mesure optiques
02
Interféromètres
Déposants :
PRECITEC OPTRONIK GMBH [DE/DE]; Schleussnerstr. 54 63263 Neu-Isenburg, DE
Inventeurs :
DIETZ, Christoph; DE
Mandataire :
OSTERTAG & PARTNER PATENTANWÄLTE MBB; Epplestraße 14 70597 Stuttgart, DE
Données relatives à la priorité :
10 2017 122 689.329.09.2017DE
Titre (EN) METHOD AND DEVICE FOR CONTACTLESSLY MEASURING A DISTANCE TO A SURFACE OR A DISTANCE BETWEEN TWO SURFACES
(FR) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF DE MESURE SANS CONTACT D’UNE DISTANCE À UNE SURFACE OU D’UNE DISTANCE ENTRE DEUX SURFACES
(DE) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR BERÜHRUNGSLOSEN MESSUNG EINES ABSTANDS ZU EINER OBERFLÄCHE ODER EINES ABSTANDS ZWISCHEN ZWEI OBERFLÄCHEN
Abrégé :
(EN) The invention relates to a measuring device for contactlessly measuring a distance to a surface (19) or a distance between two surfaces, comprising a measurement light source (11), which produces polychromatic measurement light (12), and an optical measuring head (16), which directs the measurement light (12) produced by the measurement light source (11) onto a measurement object (18) and receives measurement light (12') reflected therefrom. A spectrograph (20) with a dispersive optical element (22) and a detector (24) analyses the reflected measurement light (12') spectrally. A calibration light source (30) produces calibration light (32) having a known and temperature-independent spectral composition. An evaluation device (28) derives correction values from changes in a spectrum, which is produced by the calibration light (32) on light-sensitive cells (26) of the detector (24), by means of which correction values a predefined allocation between the light-sensitive cells (26) on the one hand and wavelengths, or variables derived from wavelengths, on the other hand is modified.
(FR) Un dispositif de mesure destiné à mesurer sans contact une distance à une surface (19) ou une distance entre deux surfaces comprend une source de lumière de mesure (11), qui génère une lumière de mesure polychromatique (12), et une tête de mesure optique (16) qui oriente la lumière de mesure (12), générée par la source de lumière de mesure (11), sur un objet de mesure (18) et reçoit une lumière de mesure (12’) réfléchie par celui-ci. Un spectrographe (20) pourvu d’un élément optique dispersif (22) et d’un détecteur (24) analyse spectralement la lumière de mesure réfléchie (12’). Une source de lumière d’étalonnage (30) génère une lumière d’étalonnage (32) et de composition spectrale connue indépendante de la température. À partir de modifications du spectre produit par la lumière d’étalonnage (32) sur des cellules photosensibles (26) du détecteur (24), un dispositif d’évaluation (28) déduit des valeurs de correction avec lesquelles une relation prédéterminée entre les cellules photosensibles (26) d’une part et les longueurs d’onde ou des grandeurs dérivées des longueurs d’onde, d’autre part est modifiée.
(DE) Eine Messvorrichtung zur berührungslosen Messung eines Abstands zu einer Oberfläche (19) oder eines Abstands zwischen zwei Oberflächen umfasst eine Messlichtquelle (11), die polychromatisches Messlicht (12) erzeugt, und einen optischen Messkopf (16) auf, der das von der Messlichtquelle (11) erzeugte Messlicht (12) auf ein Messobjekt (18) richtet und davon reflektiertes Messlicht (12') aufnimmt. Ein Spektrograf (20) mit einem dispersiven optischen Element (22) und einem Detektor (24) analysiert das reflektierte Messlicht (12') spektral. Eine Kalibrierlichtquelle (30) erzeugt Kalibrierlicht (32) bekannter und temperatur- unabhängiger spektraler Zusammensetzung. Eine Auswerteeinrichtung (28) leitet aus Ver- änderungen eines Spektrums, das von dem Kalibrierlicht (32) auf lichtempfindlichen Zellen (26) des Detektors (24) erzeugt wird, Korrekturwerte ab, mit denen eine vorgegebene Zu- ordnung zwischen den lichtempfindlichen Zellen (26) einerseits und Wellenlängen oder aus Wellenlängen abgeleiteten Größen andererseits modifiziert wird.
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Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)