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1. (WO2019063399) DISPOSITIF MEMS PRÉSENTANT UNE SUPPRESSION DES MODES PARASITES ET PROCÉDÉ DE FONCTIONNEMENT CORRESPONDANT
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N° de publication : WO/2019/063399 N° de la demande internationale : PCT/EP2018/075431
Date de publication : 04.04.2019 Date de dépôt international : 20.09.2018
CIB :
B81B 3/00 (2006.01) ,G01C 19/5733 (2012.01)
B TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
81
TECHNOLOGIE DES MICROSTRUCTURES
B
DISPOSITIFS OU SYSTÈMES À MICROSTRUCTURE, p.ex. DISPOSITIFS MICROMÉCANIQUES
3
Dispositifs comportant des éléments flexibles ou déformables, p.ex. comportant des membranes ou des lamelles élastiques
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
C
MESURE DES DISTANCES, DES NIVEAUX OU DES RELÈVEMENTS; GÉODÉSIE; NAVIGATION; INSTRUMENTS GYROSCOPIQUES; PHOTOGRAMMÉTRIE OU VIDÉOGRAMMÉTRIE
19
Gyroscopes; Dispositifs sensibles à la rotation utilisant des masses vibrantes; Dispositifs sensibles à la rotation sans masse en mouvement; Mesure de la vitesse angulaire en utilisant les effets gyroscopiques
56
Dispositifs sensibles à la rotation utilisant des masses vibrantes, p.ex. capteurs vibratoires de vitesse angulaire basés sur les forces de Coriolis
5719
utilisant des masses planaires vibrantes entraînées dans une vibration de translation le long d’un axe
5733
Details de structure ou topologie
Déposants :
ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart, DE
Inventeurs :
NEUL, Reinhard; DE
LASSL, Andreas; DE
DEGENFELD-SCHONBURG, Peter; DE
KUHLMANN, Nils Felix; DE
SCHATZ, Frank; DE
BODE, Niels; DE
KUEHNEL, Matthias; DE
Données relatives à la priorité :
10 2017 217 009.326.09.2017DE
Titre (EN) MEMS DEVICE HAVING SUPPRESSION OF FAULT MODES AND CORRESPONDING OPERATING METHOD
(FR) DISPOSITIF MEMS PRÉSENTANT UNE SUPPRESSION DES MODES PARASITES ET PROCÉDÉ DE FONCTIONNEMENT CORRESPONDANT
(DE) MEMS-VORRICHTUNG MIT UNTERDRÜCKUNG VON STÖRMODEN SOWIE ENTSPRECHENDES BETRIEBSVERFAHREN
Abrégé :
(EN) The invention relates to a MEMS device and to a corresponding operating method. The MEMS device has a vibratory micromechanical system (100), which can be excited in a plurality of useful modes, wherein the vibratory micromechanical system (100) has at least one system component (1), which can be excited by an overlapping of the useful modes in at least one parasitic fault mode. According to the invention, there is a calibration unit (50), which is designed such that the calibration unit counteracts the parasitic fault mode by applying an electromagnetic interaction (W) to the system component (1).
(FR) L'invention concerne un dispositif MEMS et un procédé de fonctionnement correspondant. Le dispositif MEMS selon l'invention est conçu de manière à comporter un système micromécanique oscillant (100) pouvant être excité selon plusieurs modes d'utilisation. Ce système micromécanique oscillant (100) comporte au moins un composant de système (1) qui peut être excité selon au moins un mode parasite, par superposition des modes d'utilisation. Un dispositif de compensation (50) est prévu. Celui-ci est conçu pour contrecarrer le mode parasite par application d'une interaction électromagnétique (W) au composant de système (1).
(DE) Die Erfindung schafft eine MEMS-Vorrichtung sowie ein entsprechendes Betriebsverfahren. Die MEMS-Vorrichtung ist ausgestattet mit einem schwingungsfähigen mikromechanischen System (100), welches in einer Mehrzahl von Nutzmoden anregbar ist, wobei das schwingungsfähige mikromechanische System (100) mindestens eine Systemkomponente (1) aufweist, welche durch eine Überlagerung der Nutzmoden in mindestens einem parasitären Störmode anregbar ist. Es ist eine Abgleicheinrichtung (50) vorgesehen, welche derart gestaltet ist, dass sie durch Anlegen einer elektromagnetischen Wechselwirkung (W) an die Systemkomponente (1) dem parasitären Störmode entgegenwirkt.
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Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)