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1. (WO2019062941) OBJECTIF DE PROJECTION
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N° de publication : WO/2019/062941 N° de la demande internationale : PCT/CN2018/108745
Date de publication : 04.04.2019 Date de dépôt international : 29.09.2018
CIB :
G02B 13/18 (2006.01) ,G02B 13/14 (2006.01) ,G02B 13/22 (2006.01) ,G03F 7/20 (2006.01)
G PHYSIQUE
02
OPTIQUE
B
ÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
13
Objectifs optiques spécialement conçus pour les emplois spécifiés ci-dessous
18
avec des lentilles ayant une ou plusieurs surfaces non sphériques, p.ex. pour réduire l'aberration géométrique
G PHYSIQUE
02
OPTIQUE
B
ÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
13
Objectifs optiques spécialement conçus pour les emplois spécifiés ci-dessous
14
à utiliser avec des radiations infrarouges ou ultraviolettes
G PHYSIQUE
02
OPTIQUE
B
ÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
13
Objectifs optiques spécialement conçus pour les emplois spécifiés ci-dessous
22
Objectifs ou systèmes de lentilles télécentriques
G PHYSIQUE
03
PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
F
PRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
7
Production par voie photomécanique, p.ex. photolithographique, de surfaces texturées, p.ex. surfaces imprimées; Matériaux à cet effet, p.ex. comportant des photoréserves; Appareillages spécialement adaptés à cet effet
20
Exposition; Appareillages à cet effet
Déposants :
上海微电子装备(集团)股份有限公司 SHANGHAI MICRO ELECTRONICS EQUIPMENT(GROUP) CO., LTD. [CN/CN]; 中国上海市 张江高科技园区张东路1525号 1525 Zhangdong Road, Zhangjiang High-Tech Park Shanghai 201203, CN
Inventeurs :
安福平 AN, Fuping; CN
褚兆祥 CHU, Zhaoxiang; CN
郭银章 GUO, Yinzhang; CN
Mandataire :
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) SHANGHAI SAVVY INTELLECTUAL PROPERTY AGENCY; 中国上海市 黄浦区复兴中路1号申能国际大厦606-607室 Units 606-607, Shenergy International Building 1 Middle Fuxing Road, Huangpu District Shanghai 200021, CN
Données relatives à la priorité :
201710909308.129.09.2017CN
Titre (EN) PROJECTION OBJECTIVE
(FR) OBJECTIF DE PROJECTION
(ZH) 一种投影物镜
Abrégé :
(EN) A projection objective, used for projecting an object space to an image space. The objective comprises, from the object space along an optical axis in sequence: a first lens set (G1) having positive focal power, a second lens set (G2) having negative focal power, a third lens set (G3) having positive focal power, a fourth lens set (G4) having negative focal power, and a fifth lens set (G5) having positive focal power. Aspheric lenses are provided in the first lens set (G1), the second lens set (G2), the third lens set (G3), the fourth lens set (G4), and the fifth lens set (G5). According to the design, the number of lenses is reduced, the structure of the objective is more compact, the transmittance of the objective is improved, the structural design of aspheric lenses is optimized, the asphericity of the aspheric lenses is reduced, the processing difficulty and costs for the aspheric lenses are reduced, and except for the above situations, the objective has a bitelecentric structure, and the sensitivity of the objective for micro irregularity defects on a mask surface is reduced.
(FR) La présente invention a trait à un objectif de projection qui sert à projeter un espace-objet vers un espace-image. L'objectif comprend, de manière séquentielle à partir de l'espace-objet le long d'un axe optique : un premier ensemble de lentilles (G1) ayant une puissance focale positive ; un deuxième ensemble de lentilles (G2) ayant une puissance focale négative ; un troisième ensemble de lentilles (G3) ayant une puissance focale positive ; un quatrième ensemble de lentilles (G4) ayant une puissance focale négative ; et un cinquième ensemble de lentilles (G5) ayant une puissance focale positive. Des lentilles asphériques se trouvent dans le premier ensemble de lentilles (G1), le deuxième ensemble de lentilles (G2), le troisième ensemble de lentilles (G3), le quatrième ensemble de lentilles (G4), et le cinquième ensemble de lentilles (G5). Conformément à la conception, le nombre de lentilles est réduit, la structure de l'objectif est plus compacte, la transmittance de cet objectif est améliorée, la conception structurale des lentilles asphériques est optimisée, l'asphéricité desdites lentilles asphériques est limitée, la difficulté et les coûts de traitement pour ces lentilles asphériques sont réduits, et, à l'exception des situations ci-dessus, ledit objectif a une structure bitélécentrique, et la sensibilité de l'objectif à des micro-défauts d'irrégularité sur une surface de masque est limitée.
(ZH) 一种投影物镜,用于将物方的图像投影至像方,物镜从物方开始沿光轴依次包括;具有正光焦度的第一透镜组(G1)、具有负光焦度的第二透镜组(G2)、具有正光焦度的第三透镜组(G3)、具有负光焦度的第四透镜组(G4)、以及具有正光焦度的第五透镜组(G5),在第一透镜组(G1)、第二透镜组(G2)、第四透镜组(G4)和第五透镜组(G5)设有非球面镜面的透镜,采用此设计减少了透镜的个数,使得物镜结构更加紧凑,提升了物镜的透过率,优化了非球面镜面的结构设计,降低其非球面度,减少了非球面镜面的加工难度与成本,除此之外物镜具有双远心结构,降低物镜对掩模面上微小的凹凸缺陷的灵敏度。
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Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : chinois (ZH)
Langue de dépôt : chinois (ZH)