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1. (WO2019062727) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF DE CALCUL DE PARAMÈTRES MÉCANIQUES ÉQUIVALENTS D'UNE RÉGION DE GRAVURE DE COUCHE DE FILM
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N° de publication : WO/2019/062727 N° de la demande internationale : PCT/CN2018/107412
Date de publication : 04.04.2019 Date de dépôt international : 25.09.2018
CIB :
G06F 17/50 (2006.01) ,H01L 21/762 (2006.01)
G PHYSIQUE
06
CALCUL; COMPTAGE
F
TRAITEMENT ÉLECTRIQUE DE DONNÉES NUMÉRIQUES
17
Equipement ou méthodes de traitement de données ou de calcul numérique, spécialement adaptés à des fonctions spécifiques
50
Conception assistée par ordinateur
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
70
Fabrication ou traitement de dispositifs consistant en une pluralité de composants à l'état solide ou de circuits intégrés formés dans ou sur un substrat commun, ou de parties constitutives spécifiques de ceux-ci; Fabrication de dispositifs à circuit intégré ou de parties constitutives spécifiques de ceux-ci
71
Fabrication de parties spécifiques de dispositifs définis en H01L21/7089
76
Réalisation de régions isolantes entre les composants
762
Régions diélectriques
Déposants :
京东方科技集团股份有限公司 BOE TECHNOLOGY GROUP CO., LTD. [CN/CN]; 中国北京市 朝阳区酒仙桥路10号 No.10 Jiuxianqiao Rd., Chaoyang District Beijing 100015, CN
鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 ORDOS YUANSHENG OPTOELECTRONICS CO., LTD. [CN/CN]; 中国内蒙古自治区鄂尔多斯市 东胜区鄂尔多斯装备制造基地 Ordos Equipment Manufacturing Base, Dongsheng District Ordos, Inner Mongolia 017020, CN
Inventeurs :
黄俊杰 HUANG, Chunchieh; CN
王琦 WANG, Qi; CN
张健 ZHANG, Jian; CN
吕守华 LV, Shouhua; CN
杨成发 YANG, Chengfa; CN
周猛 ZHOU, Meng; CN
Mandataire :
北京中博世达专利商标代理有限公司 BEIJING ZBSD PATENT & TRADEMARK AGENT LTD.; 中国北京市 海淀区交大东路31号11号楼8层 8F, Building 11 No. 31 Jiaoda East Road, Haidian District Beijing 100044, CN
Données relatives à la priorité :
201710883448.626.09.2017CN
Titre (EN) METHOD AND DEVICE FOR CALCULATING EQUIVALENT MECHANICAL PARAMETERS OF FILM LAYER ETCHING REGION
(FR) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF DE CALCUL DE PARAMÈTRES MÉCANIQUES ÉQUIVALENTS D'UNE RÉGION DE GRAVURE DE COUCHE DE FILM
(ZH) 膜层刻蚀区域等效力学参数的计算方法和设备
Abrégé :
(EN) The present disclosure provides a method for calculating equivalent mechanical parameters of a film layer etching region, the method comprising: selecting at least a part of the film layer etching region as an analysis region; establishing a planar model corresponding to the analysis region; performing grid division on the planar model at a first density; according to the actual mechanical parameters of film layer material and the grid division of the first density, analyzing, by means of a finite element method, a first simulation stress of the planar model in simulated boundary conditions; and calculating equivalent mechanical parameters, under the simulated boundary conditions, the equivalent mechanical parameters enabling an anisotropic planar blanking panel having the same size as that of the boundary of the planar model to reach the first simulated stress.
(FR) La présente invention concerne un procédé de calcul de paramètres mécaniques équivalents d'une région de gravure de couche de film, le procédé consistant à : sélectionner au moins une partie de la région de gravure de couche de film en tant que région d'analyse; établir un modèle plan correspondant à la région d'analyse; réaliser une division de grille sur le modèle plan à une première densité; en fonction des paramètres mécaniques réels du matériau de couche de film et de la division de grille de la première densité, analyser, au moyen d'un procédé à éléments finis, une première contrainte de simulation du modèle plan dans des conditions limites simulées; et calculer des paramètres mécaniques équivalents, dans les conditions limites simulées, les paramètres mécaniques équivalents permettant à un panneau de découpage plan anisotrope ayant la même taille que celui de la limite du modèle plan d'atteindre la première contrainte simulée.
(ZH) 本公开提供一种膜层刻蚀区域等效力学参数的计算方法,其包括:选取膜层刻蚀区域的至少一部分为分析区域;建立与分析区域对应的平面模型;以第一密度对平面模型进行网格划分;根据膜层材料的实际力学参数和第一密度的网格划分,通过有限元法分析平面模型在模拟边界条件下的第一模拟应力;计算等效力学参数,其中,在模拟边界条件下,等效力学参数能使与平面模型边界尺寸相同的各向异性的平面盲板达到第一模拟应力。
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Langue de publication : chinois (ZH)
Langue de dépôt : chinois (ZH)