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1. (WO2019062466) APPAREIL DE MODIFICATION DE NORMALISATION EN TEMPS RÉEL ET PROCÉDÉ DE DÉMODULATION PGC DANS UN INTERFÉROMÈTRE À MODULATION DE PHASE SINUSOÏDALE
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N° de publication : WO/2019/062466 N° de la demande internationale : PCT/CN2018/103381
Date de publication : 04.04.2019 Date de dépôt international : 31.08.2018
CIB :
G01B 9/02 (2006.01)
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
B
MESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
9
Instruments tels que spécifiés dans les sous-groupes et caractérisés par l'utilisation de moyens de mesure optiques
02
Interféromètres
Déposants :
浙江理工大学 ZHEJIANG SCI-TECH UNIVERSITY [CN/CN]; 中国浙江省杭州市 江干区下沙高教园区2号大街928号 No.928, 2th Avenue, Xiasha Higher Education Zone, Jianggan District Hangzhou, Zhejiang 310018, CN
Inventeurs :
严利平 YAN, Liping; CN
张世华 ZHANG, Shihua; CN
陈本永 CHEN, Benyong; CN
Mandataire :
杭州求是专利事务所有限公司 HANGZHOU QIUSHI PATENT OFFICE CO., LTD.; 中国浙江省杭州市 西湖区玉古路147号黄鸿年科技综合大楼215室/林超 Chao LIN/Room 215 Huanghongnian Science and Techonology Complex Building, No.147, Yugu Road, Xihu District Hangzhou, Zhejiang 310013, CN
Données relatives à la priorité :
201710918522.330.09.2017CN
Titre (EN) REAL-TIME NORMALIZATION MODIFICATION APPARATUS AND METHOD FOR PGC DEMODULATION IN SINE PHASE MODULATION INTERFEROMETER
(FR) APPAREIL DE MODIFICATION DE NORMALISATION EN TEMPS RÉEL ET PROCÉDÉ DE DÉMODULATION PGC DANS UN INTERFÉROMÈTRE À MODULATION DE PHASE SINUSOÏDALE
(ZH) 正弦相位调制干涉仪PGC解调实时归一化修正装置及方法
Abrégé :
(EN) A real-time normalization modification apparatus for PGC demodulation in a sine phase modulation interferometer, containing an optical path structure for measuring an interferometer and monitoring the interferometer; an electro-optic phase modulator is placed in a common reference arm of the two interferometers, and high-frequency sinusoidal wave modulation and low-frequency triangular wave modulation are applied at the same time; the sinusoidal wave modulation is used for generating a phase carrier, and PGC demodulation is performed to obtain an orthogonal signal containing information about a phase to be measured; the triangular wave modulation enables the orthogonal signal to periodically change, and ellipse fitting is performed on a Lissajous figure corresponding to the orthogonal signal, so as to realize the real-time normalized modification of the PGC demodulated orthogonal signal; and a measured displacement is obtained by calculating a phase difference variation of two interference signals, realizing nanoscale displacement measurement. Also provided is displacement detection method based on real-time normalization processing of PGC demodulation in a sine phase modulation interferometer. Non-linear errors caused by changes in a phase modulation depth, a phase delay, a multiplier, a filter gain, etc. in PGC demodulation are eliminated, and there is a sub-nanoscale measurement precision, which is applicable for precise displacement measurement in the field of high-end equipment manufacturing and machining.
(FR) La présente invention concerne un appareil de modification de normalisation en temps réel pour une démodulation PGC dans un interféromètre à modulation de phase sinusoïdale, contenant une structure de trajet optique pour mesurer un interféromètre et surveiller l’interféromètre ; un modulateur de phase électro-optique est placé dans un bras de référence commun des deux interféromètres, et une modulation d’onde sinusoïdale à haute fréquence et une modulation d’onde triangulaire à basse fréquence sont appliquées simultanément ; la modulation d’onde sinusoïdale est utilisée pour générer une porteuse de phase, et une démodulation PGC est effectuée pour obtenir un signal orthogonal contenant des informations concernant une phase à mesurer ; la modulation d’onde triangulaire permet au signal orthogonal de changer périodiquement, et un ajustement elliptique est effectué sur une figure de Lissajous correspondant au signal orthogonal, de façon à réaliser la modification normalisée en temps réel du signal orthogonal démodulé PGC ; et un déplacement mesuré est obtenu par calcul d’une variation de déphasage de deux signaux d’interférence, de façon à réaliser une mesure de déplacement à l’échelle nanométrique. L’invention concerne en outre un procédé de détection de déplacement basé sur un traitement de normalisation en temps réel de démodulation PGC dans un interféromètre à modulation de phase sinusoïdale. Des erreurs non linéaires causées par des changements d’une profondeur de modulation de phase, d'un retard de phase, d'un multiplicateur, d'un gain de filtre, etc., dans la démodulation PGC sont éliminées, et la précision de mesure est à l’échelle subnanométrique, qui est applicable pour une mesure de déplacement précise dans le domaine de la fabrication et de l’usinage d’équipement de pointe.
(ZH) 一种正弦相位调制干涉仪中PGC解调实时归一化修正装置,含有测量干涉仪和监测干涉仪的光路结构,在两干涉仪的公共参考臂中放置电光相位调制器并同时施加高频正弦波调制和低频三角波调制;正弦调制用于产生相位载波,进行PGC解调得到含有待测相位信息的正交信号;三角波调制使正交信号周期性变化,对正交信号对应的李萨如图形进行椭圆拟合,实现PGC解调正交信号的实时归一化修正;通过计算两路干涉信号的相位差变化量算得被测位移,实现纳米级位移测量。还提供一种正弦相位调制干涉仪中PGC解调实时归一化处理的位移检测方法。消除了PGC解调中相位调制深度、相位延迟、乘法器和滤波器增益等的变化引起的非线性误差,具有亚纳米级测量精度,适用于高端装备制造与加工领域中的精密位移测量。
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Langue de publication : chinois (ZH)
Langue de dépôt : chinois (ZH)