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1. (WO2019062319) PROCÉDÉ DE DÉTECTION DE COUCHE DE FILM, DISPOSITIF DE DÉTECTION DE COUCHE DE FILM ET SYSTÈME DE DÉTECTION DE COUCHE DE FILM
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N° de publication : WO/2019/062319 N° de la demande internationale : PCT/CN2018/098087
Date de publication : 04.04.2019 Date de dépôt international : 01.08.2018
CIB :
G01N 21/86 (2006.01)
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
N
RECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
21
Recherche ou analyse des matériaux par l'utilisation de moyens optiques, c. à d. en utilisant des rayons infrarouges, visibles ou ultraviolets
84
Systèmes spécialement adaptés à des applications particulières
86
Analyse de feuilles mobiles
Déposants :
京东方科技集团股份有限公司 BOE TECHNOLOGY GROUP CO., LTD. [CN/CN]; 中国北京市 朝阳区酒仙桥路10号 No. 10 Jiuxianqiao Rd., Chaoyang District Beijing 100015, CN
绵阳京东方光电科技有限公司 MIANYANG BOE OPTOELECTRONICS TECHNOLOGY CO., LTD. [CN/CN]; 中国四川省绵阳市 高新西区科发大道中段198号 No. 198, Middle of Kefa Avenue, Hi-tech Zone Mianyang, Sichuan 621000, CN
Inventeurs :
安亚斌 AN, Yabin; CN
张铁轶 ZHANG, Tieyi; CN
权基瑛 KWON, Kiyoung; CN
闫小宝 YAN, Xiaobao; CN
李彦生 LI, Yansheng; CN
Mandataire :
北京市柳沈律师事务所 LIU, SHEN & ASSOCIATES; 中国北京市 海淀区彩和坊路10号1号楼10层 10th Floor, Building 1 10 Caihefang Road, Haidian District Beijing 100080, CN
Données relatives à la priorité :
201710902942.229.09.2017CN
Titre (EN) FILM LAYER DETECTION METHOD, FILM LAYER DETECTION DEVICE, AND FILM LAYER DETECTION SYSTEM
(FR) PROCÉDÉ DE DÉTECTION DE COUCHE DE FILM, DISPOSITIF DE DÉTECTION DE COUCHE DE FILM ET SYSTÈME DE DÉTECTION DE COUCHE DE FILM
(ZH) 膜层检测方法、膜层检测装置及膜层检测系统
Abrégé :
(EN) A film layer detection method, a film layer detection device, and a film layer detection system. The film layer detection device comprises: a light source (11), an image acquiring assembly (12), and an image analyzing assembly (13). The light source (11) illuminates the side of a substrate (01) to be detected provided with a film layer (02); the image acquiring assembly (12) acquires an image of the film layer (02) from the side of the substrate (01) provided with the film layer (02), the image of the film layer (02) comprising an image of at least one illuminated film layer (02); the image analyzing assembly (13) determines the type of an uppermost film layer (02) in the at least one film layer (02) according to luminance distribution of the image of the film layer (02).
(FR) L'invention concerne un procédé de détection de couche de film, un dispositif de détection de couche de film, et un système de détection de couche de film. Le dispositif de détection de couche de film comprend : une source de lumière (11), un ensemble d'acquisition d'images (12) et un ensemble d'analyse d'image (13). La source de lumière (11) éclaire le côté d'un substrat (01) à détecter pourvu d'une couche de film (02); l'ensemble d'acquisition d'image (12) acquiert une image de la couche de film (02) à partir du côté du substrat (01) pourvu de la couche de film (02), l'image de la couche de film (02) comprenant une image d'au moins une couche de film (02) éclairée; l'ensemble d'analyse d'image (13) détermine le type d'une couche de film (02) supérieure dans la ou les couches de film (02) en fonction de la distribution de luminance de l'image de la couche de film (02).
(ZH) 一种膜层检测方法、膜层检测装置及膜层检测系统。膜层检测装置包括:光源(11)、图像采集组件(12)和图像分析组件(13)。光源(11)照射待检测基板(01)设置有膜层(02)的一侧;图像采集组件(12)从基板(01)设置有膜层(02)的一侧采集膜层(02)图像,膜层(02)图像包括被照射的至少一层膜层(02)的图像;图像分析组件(13)根据膜层(02)图像的亮度分布,确定至少一层膜层(02)中最上层膜层(02)的类型。
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Langue de publication : chinois (ZH)
Langue de dépôt : chinois (ZH)