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1. (WO2019062116) MASQUE DE DÉPÔT EN PHASE VAPEUR, PANNEAU OLED, SYSTÈME, ET PROCÉDÉ DE SURVEILLANCE DE DÉPÔT EN PHASE VAPEUR
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N° de publication : WO/2019/062116 N° de la demande internationale : PCT/CN2018/085015
Date de publication : 04.04.2019 Date de dépôt international : 28.04.2018
CIB :
H01L 51/56 (2006.01) ,C23C 14/04 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
51
Dispositifs à l'état solide qui utilisent des matériaux organiques comme partie active, ou qui utilisent comme partie active une combinaison de matériaux organiques et d'autres matériaux; Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de tels dispositifs ou de leurs parties constitutives
50
spécialement adaptés pour l'émission de lumière, p.ex. diodes émettrices de lumière organiques (OLED) ou dispositifs émetteurs de lumière à base de polymères (PLED)
56
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de tels dispositifs ou de leurs parties constitutives
C CHIMIE; MÉTALLURGIE
23
REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT CHIMIQUE DE SURFACE; TRAITEMENT DE DIFFUSION DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL; MOYENS POUR EMPÊCHER LA CORROSION DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES, L'ENTARTRAGE OU LES INCRUSTATIONS, EN GÉNÉRAL
C
REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT DE SURFACE DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES PAR DIFFUSION DANS LA SURFACE, PAR CONVERSION CHIMIQUE OU SUBSTITUTION; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL
14
Revêtement par évaporation sous vide, pulvérisation cathodique ou implantation d'ions du matériau composant le revêtement
04
Revêtement de parties déterminées de la surface, p.ex. au moyen de masques
Déposants :
昆山国显光电有限公司 KUNSHAN GO-VISIONOX OPTO-ELECTRONICS CO., LTD. [CN/CN]; 中国江苏省昆山市 开发区龙腾路1号4幢 Building 4, No.1, Longteng Road, Development Zone Kunshan, Jiangsu 215300, CN
Inventeurs :
刘明星 LIU, Mingxing; CN
李俊峰 LI, Junfeng; CN
王徐亮 WANG, Xuliang; CN
高峰 GAO, Feng; CN
Mandataire :
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) SHANGHAI SAVVY INTELLECTUAL PROPERTY AGENCY; 中国上海市 长宁区天山西路789号1幢341室 Room 341, Building 1 789 West Tianshan Road, Changning District Shanghai 200335, CN
Données relatives à la priorité :
201710910812.329.09.2017CN
Titre (EN) VAPOR DEPOSITION MASK, OLED PANEL, SYSTEM, AND VAPOR DEPOSITION MONITORING METHOD
(FR) MASQUE DE DÉPÔT EN PHASE VAPEUR, PANNEAU OLED, SYSTÈME, ET PROCÉDÉ DE SURVEILLANCE DE DÉPÔT EN PHASE VAPEUR
(ZH) 蒸镀掩膜板、OLED面板及系统及蒸镀监控方法
Abrégé :
(EN) The present invention provides a vapor deposition mask, an OLED panel, a system, and a vapor deposition monitoring method. The vapor deposition mask comprises a first functional area and a first peripheral area located outside the first functional area. The first functional area has a first opening for forming a functional layer by means of vapor deposition, and the first peripheral area has a second opening for monitoring the vapor deposition effect of the first opening. By means of the second opening of the vapor deposition mask, a monitoring structure can be formed on an observation layer of an OLED panel by means of vapor deposition, and by means of the monitoring structure, the vapor deposition effect of the first opening of the vapor deposition mask can be monitored, so as to monitor the vapor deposition effect in a timely manner, thereby achieving a real-time online monitoring effect.
(FR) La présente invention concerne un masque de dépôt en phase vapeur, un panneau OLED, un système et un procédé de surveillance de dépôt en phase vapeur. Le masque de dépôt en phase vapeur comprend une première zone fonctionnelle et une première zone périphérique située à l'extérieur de la première zone fonctionnelle. La première zone fonctionnelle a une première ouverture pour former une couche fonctionnelle au moyen d'un dépôt en phase vapeur, et la première zone périphérique a une seconde ouverture pour surveiller l'effet de dépôt en phase vapeur de la première ouverture. Au moyen de la seconde ouverture du masque de dépôt en phase vapeur, une structure de surveillance peut être formée sur une couche d'observation d'un panneau OLED au moyen d'un dépôt en phase vapeur, et au moyen de la structure de surveillance, l'effet de dépôt en phase vapeur de la première ouverture du masque de dépôt en phase vapeur peut être surveillé, de façon à surveiller l'effet de dépôt en phase vapeur d'une manière opportune, ce qui permet d'obtenir un effet de surveillance en ligne en temps réel.
(ZH) 本发明提供了一种蒸镀掩膜板、OLED面板及系统及蒸镀监控方法,其中,所述蒸镀掩膜板包括第一功能区域和位于所述第一功能区域外的第一外围区域,所述第一功能区域具有用于蒸镀形成功能层的第一开口,所述第一外围区域具有用于监控所述第一开口的蒸镀效果的第二开口。通过蒸镀掩膜板的第二开口可以在OLED面板的观察层上蒸镀形成监控结构,通过所述监控结构可以监控所述蒸镀掩膜板的第一开口的蒸镀效果,从而可以及时的监控蒸镀效果,达到实时在线监控的效果。
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : chinois (ZH)
Langue de dépôt : chinois (ZH)