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1. (WO2019062037) CRYOPOMPE À LIMITE D'OCCLUSION ÉLEVÉE
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N° de publication : WO/2019/062037 N° de la demande internationale : PCT/CN2018/078722
Date de publication : 04.04.2019 Date de dépôt international : 12.03.2018
CIB :
F04B 37/08 (2006.01) ,F04B 39/00 (2006.01) ,F04B 39/06 (2006.01)
F MÉCANIQUE; ÉCLAIRAGE; CHAUFFAGE; ARMEMENT; SAUTAGE
04
"MACHINES" À LIQUIDES À DÉPLACEMENT POSITIF, POMPES À LIQUIDES OU À FLUIDES COMPRESSIBLES
B
"MACHINES" À LIQUIDES À DÉPLACEMENT POSITIF; POMPES
37
Pompes spécialement adaptées aux fluides compressibles et ayant des caractéristiques pertinentes non prévues dans les groupes F04B25/-F04B35/178
06
pour l'évacuation par moyens thermiques
08
par condensation ou réfrigération, p.ex. pompes cryogéniques
F MÉCANIQUE; ÉCLAIRAGE; CHAUFFAGE; ARMEMENT; SAUTAGE
04
"MACHINES" À LIQUIDES À DÉPLACEMENT POSITIF, POMPES À LIQUIDES OU À FLUIDES COMPRESSIBLES
B
"MACHINES" À LIQUIDES À DÉPLACEMENT POSITIF; POMPES
39
Parties constitutives, détails ou accessoires de pompes ou de systèmes de pompage spécialement adaptés aux fluides compressibles, non prévus dans les groupes F04B25/-F04B37/210
F MÉCANIQUE; ÉCLAIRAGE; CHAUFFAGE; ARMEMENT; SAUTAGE
04
"MACHINES" À LIQUIDES À DÉPLACEMENT POSITIF, POMPES À LIQUIDES OU À FLUIDES COMPRESSIBLES
B
"MACHINES" À LIQUIDES À DÉPLACEMENT POSITIF; POMPES
39
Parties constitutives, détails ou accessoires de pompes ou de systèmes de pompage spécialement adaptés aux fluides compressibles, non prévus dans les groupes F04B25/-F04B37/210
06
Refroidissement; Chauffage; Prévention du gel
Déposants :
安徽万瑞冷电科技有限公司 ANHUI VACREE TECHNOLOGIES CO., LTD. [CN/CN]; 中国安徽省合肥 高新技术开发区海棠路189号 No. 189 Haitang Road Hi-Tech Industry Development Zone Hefei, Anhui 230088, CN
Inventeurs :
武义峰 WU, Yifeng; CN
邓家良 DENG, Jialiang; CN
Données relatives à la priorité :
201710884204.X26.09.2017CN
Titre (EN) CRYOPUMP WITH HIGH OCCLUSION LIMIT
(FR) CRYOPOMPE À LIMITE D'OCCLUSION ÉLEVÉE
(ZH) 一种高吸留极限的低温泵
Abrégé :
(EN) Disclosed is a cryopump with a high occlusion limit mounted in a vacuum chamber. The cryopump comprises a housing (2), a low-temperature cold source, a radiation cooling shield (3) located in the housing (2) and a low-temperature plate assembly (7) surrounded by the radiation cooling shield (3), wherein the low-temperature cold source comprises a refrigerator cold head (4), the refrigerator cold head (4) comprises a second stage cooling station (42) and a first stage cooling station (41) arranged coaxially, the radiation cooling shield (3) is connected by heat to the first stage cooling station (41), the low-temperature plate assembly (7) is in thermal connection with the second stage cooling station (42), the housing (2) is provided with a gas inlet (1) with a gas intake direction thereof being axially orthogonal to the refrigerator cold head (4), and the low-temperature plate assembly (7) is movably mounted on the second stage cooling station (42) and can rotate around the second stage cooling station (42). The low-temperature plate assembly of the cryopump is able to more closely approach the gas inlet by means of rotational movement thereof, thereby realizing good condensation and adsorption of gas at the gas inlet.
(FR) L'invention concerne une cryopompe ayant une limite d'occlusion élevée, montée dans une chambre à vide. La cryopompe comprend un boîtier (2), une source froide basse température, un écran de refroidissement par rayonnement (3) situé dans le boîtier (2) et un ensemble plaque basse température (7) entouré par l'écran de refroidissement par rayonnement (3), la source froide basse température comprenant une tête froide de réfrigérateur (4), la tête froide de réfrigérateur (4) comprenant une station de refroidissement de deuxième étage (42) et une station de refroidissement de premier étage (41) disposées de manière coaxiale, l'écran de refroidissement par rayonnement (3) est relié par la chaleur à la station de refroidissement de premier étage (41), l'ensemble plaque basse température (7) est en liaison thermique avec la station de refroidissement de deuxième étage (42), le boîtier (2) est pourvu d'une entrée de gaz (1) dont la direction d'admission de gaz est axialement orthogonale à la tête froide de réfrigérateur (4), et l'ensemble plaque basse température (7) est monté mobile sur la station de refroidissement de deuxième étage (42) et peut tourner autour de la station de refroidissement de deuxième étage (42). L'ensemble plaque basse température de la cryopompe est capable de s'approcher plus étroitement de l'entrée de gaz au moyen d'un mouvement de rotation de celui-ci, ce qui permet d'obtenir une bonne condensation et une bonne adsorption de gaz au niveau de l'entrée de gaz.
(ZH) 一种高吸留极限的低温泵,安装于真空腔室中,其包括壳体(2)、低温冷源、位于壳体(2)内的辐射冷屏(3)和被辐射冷屏(3)包围的低温板组件(7),所述低温冷源包括制冷机冷头(4),所述制冷机冷头(4)包括同轴配置的二级冷却台(42)和一级冷却台(41),所述辐射冷屏(3)与一级冷却台(41)热连接,所述低温板组件(7)与二级冷却台(42)热连接,所述壳体(2)上设有进气口(1),其进气方向与制冷机冷头(4)的轴向正交,所述低温板组件(7)活动安装于二级冷却台(42)上并可绕所述二级冷却台(42)旋转。该低温泵的低温板组件通过其旋转运动均可较为接近吸气口,实现对吸气口气体的良好冷凝和吸附。
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Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : chinois (ZH)
Langue de dépôt : chinois (ZH)