Certains contenus de cette application ne sont pas disponibles pour le moment.
Si cette situation persiste, veuillez nous contacter àObservations et contact
1. (WO2019052705) PROCÉDÉ POUR USINER UNE PIÈCE LORS DE LA FABRICATION D'UN ÉLÉMENT OPTIQUE



Avertissement La version image (PDF) disponible sur le site PATENTSCOPE est la version officielle. Cette version html en ligne est fournie pour aider les utilisateurs. Malgré le grand soin apporté à la compilation pour assurer une représentation précise et exacte des données figurant sur le document imprimé/les images, des erreurs ou omissions ne peuvent être exclues en raison des processus de transmission, de conversion de données et des limitations inhérentes aux processus de traduction automatique (éventuellement) utilisés. Les liens hypertexte suivis de ce symbole sont des ressources externes qui ne sont pas contrôlées par l’OMPI. L'OMPI décline toute responsabilité concernant les points mentionnés ci-dessus.

INTERNATIONAL SEARCH REPORT (ISR)
Part 1:  1  2  3  4  5  6          Part 2:  A  B  C  D  E 
Internationales Aktenzeichen Aktenzeichen des Anmelders oder Anwalts
PCT/EP2018/067910 18 541 WO
Internationales Anmeldedatum (Tag/Monat/Jahr) (Frühestes) Prioritätsdatum (Tag/Monat/Jahr)
03. Juli 2018 13. September 2017
Anmelder
CARL ZEISS SMT GMBH
WEITERES VORGEHEN: Siehe Formblatt PCT/ISA/220 sowie, soweit zutreffend, nachstehender Punkt 5
Dieser internationale Recherchenbericht wurde von dieser Internationalen Recherchenbehörde erstellt und wird dem Anmelder gemäß Artikel 18 übermittelt. Eine Kopie wird dem Internationalen Büro übermittelt.
Darüber hinaus liegt ihm jeweils eine Kopie der in diesem Bericht genannten Unterlagen zum Stand der Technik bei.
1. Grundlage des Berichts
a. Hinsichtlich der Sprache beruht die internationale Recherche auf
der internationalen Anmeldung in der Sprache, in der sie eingereicht wurde.
einer Übersetzung der internationalen Anmeldung in die folgende Sprache                                          , bei der es sich um die Sprache der Übersetzung handelt, die für die Zwecke der internationalen Recherche eingereicht worden ist (Regeln 12.3 a) und 23.1 b)).
b.
Dieser internationale Recherchenbericht wurde erstellt unter Berücksichtigung der Berichtigung eines offensichtlichen Fehlers, die nach Regel 91 von dieser Behörde genehmigt wurde bzw. dieser Behörde mitgeteilt wurde (Regel 43.6bis a)).
c.
Hinsichtlich der Nucleotid- und/oder Aminosäuresequenz, die in der internationalen Anmeldung offenbart wurde, ist die internationale Recherche auf der Grundlage eines Sequenzprotokolls durchgeführt worden, das
2. Bestimmte Ansprüche haben sich als nicht recherchierbar erwiesen
3. Mangelnde Einheitlichkeit der Erfindung
4. Bezeichnung der Erfindung
Wird der vom Anmelder eingereichte Wortlaut genehmigt.
Wurde der Wortlaut von dieser Behörde wie folgt festgesetzt:
5. Zusammenfassung
Wird der vom Anmelder eingereichte Wortlaut genehmigt.
Wurde der Wortlaut nach Regel 38.2 in der in Feld Nr. IV angegebenen Fassung von dieser Behörde festgesetzt. Der Anmelder kann dieser Behörde innerhalb eines Monats nach dem Datum der Absendung dieses internationalen Recherchenberichts eine Stellungnahme vorlegen.

Ein Verfahren zum Bearbeiten eines Werkstücks bei der Herstellung eines optischen Elements, insbesondere für die Mikrolithographie, wobei das Verfahren wenigstens einen Bearbeitungsprozess umfasst, bei welchem eine Relativbewegung zwischen dem Werkstück (110, 210) und einem Werkzeug erfolgt, während der das Werkzeug zeitweise über einen über die zu bearbeitende Werkstückoberfläche hinausragenden Überlaufabschnitt geführt wird, wobei der Überlaufabschnitt dadurch gebildet wird, dass ein an die zu bearbeitende Werkstückoberfläche angrenzender Bereich mit einem in flüssigem Zustand befindlichen Füllstoff (120, 220) gefüllt wird, wobei dieser Füllstoff (120, 220) vor Durchführung des Bearbeitungsprozesses an dem Werkstück (110, 210) ausgehärtet wird, wobei der Füllstoff (120, 220) nach Durchführung des Bearbeitungsprozesses entfernt wird, und wobei das Entfernen des Füllstoffs (120, 220) unter Erwärmung und/oder Zufuhr eines Lösungsmittels erfolgt.


6. Zeichnungen
a.
Ist folgende Abbildung der Zeichnungen mit der Zusammenfassung zu veröffentlichen: Abb. Nr.     1a,1b    
wie vom Anmelder vorgeschlagen.
wie von dieser Behörde ausgewählt, weil der Anmelder selbst keine Abbildung vorgeschlagen hat.
wie von dieser Behörde ausgewählt, weil diese Abbildung die Erfindung besser kennzeichnet.
b.
wird keine der Abbildungen mit der Zusammenfassung veröffentlicht.

A. KLASSIFIZIERUNG DES ANMELDUNGSGEGENSTANDES

     B29D 11/00 (2006.01)i
Nach der Internationalen Patentklassifikation (IPC) oder nach der nationalen Klassifikation und der IPC

B. RECHERCHIERTE GEBIETE

Recherchierter Mindestprüfstoff (Klassifikationssystem und Klassifikationssymbole) :
     B29D; B24B; B23Q
Recherchierte, aber nicht zum Mindestprüfstoff gehörende Veröffentlichungen, soweit diese unter die recherchierten Gebiete fallen :
Während der internationalen Recherche konsultierte elektronische Datenbank (Name der Datenbank und evtl. verwendete Suchbegriffe) :
EPO-Internal, WPI Data

C. ALS WESENTLICH ANGESEHENE UNTERLAGEN

Kategorie* Bezeichnung der Veröffentlichung, soweit erforderlich unter Angabe der in Betracht kommenden Teile Betr. Anspruch Nr.
(1)
X
US 2004111866 A1 (KAO PO-SUNG [TW] ET AL) 17. Juni 2004 (2004-06-17)
1-8,10
A
Zusammenfassung
9,11,12
Abbildungen 3-8
Absätze [0009], [0010], [0022] - [0029]
Anspruch 1
(2)
X
JP H11198014 A (SEIKO EPSON CORP) 27. Juli 1999 (1999-07-27)
1-8,10
Y
Zusammenfassung
9
A
Abbildungen 1-10
11,12
Absätze [0008], [0027] - [0034]
(3)
X
JP 2009107089 A (HOYA CORP) 21. Mai 2009 (2009-05-21)
1-8,10
A
Zusammenfassung
9,11,12
Abbildungen 1-8
Absätze [0015] - [0021], [0030] - [0033], [0035] - [0036], [0043], [0044]
(4)
X
DE 102017202649 A1 (ZEISS CARL SMT GMBH [DE]) 13. April 2017 (2017-04-13)
10-12
Y
Zusammenfassung
9
A
Abbildungen 1-5
1-8
Absätze [0026], [0047] - [0048]
(5)
X
DE 102015223983 A1 (ZEISS CARL SMT GMBH [DE]) 08. Juni 2017 (2017-06-08)
10-12
A
Zusammenfassung
1-9
Abbildungen 1-2
Absätze [0034], [0043], [0061]
(6)
X
US 2009027641 A1 (KAJIYAMA KAZUHIKO [JP] ET AL) 29. Januar 2009 (2009-01-29)
10-12
in der Anmeldung erwähnt
A
Zusammenfassung
1-9
Abbildungen 1-7
Absätze [0050] - [0069]
(7)
X
US 2007229756 A1 (MANDLER ROLAND [DE] ET AL) 04. Oktober 2007 (2007-10-04)
10
A
Zusammenfassung
1-9,11,12
Abbildungen 1a-4b
(8)
X
JP 2001054862 A (SEIKO EPSON CORP) 27. Februar 2001 (2001-02-27)
10
A
Zusammenfassung
1-9,11,12
Abbildungen 1-4
(9)
X
US 5951375 A (MANDLER ROLAND [DE]) 14. September 1999 (1999-09-14)
10
A
Zusammenfassung
1-9,11,12
Abbildungen 1-3
(10)
X
US 5326413 A (ESEMPLARE PASCAL E [US] ET AL) 05. Juli 1994 (1994-07-05)
10
A
Zusammenfassung
1-9,11,12
Anspruch 1
*
Besondere Kategorien von angegebenen Veröffentlichungen:
"A"
Veröffentlichung, die den allgemeinen Stand der Technik definiert, aber nicht als besonders bedeutsam anzusehen ist
"E"
frühere Anmeldung oder Patent, die bzw. das jedoch erst am oder nach dem internationalen Anmeldedatum veröffentlicht worden ist
"L"
Veröffentlichung, die geeignet ist, einen Prioritätsanspruch zweifelhaft erscheinen zu lassen, oder durch die das Veröffentlichungsdatum einer anderen im Recherchenbericht genannten Veröffentlichung belegt werden soll oder die aus einem anderen besonderen Grund angegeben ist (wie ausgeführt)
"O"
Veröffentlichung, die sich auf eine mündliche Offenbarung, eine Benutzung, eine Ausstellung oder andere Maßnahmen bezieht
"P"
Veröffentlichung, die vor dem internationalen Anmeldedatum, aber nach dem beanspruchten Prioritätsdatum veröffentlicht worden ist
"T"
Spätere Veröffentlichung, die nach dem internationalen Anmeldedatum oder dem Prioritätsdatum veröffentlicht worden ist und mit der Anmeldung nicht kollidiert, sondern nur zum Verständnis des der Erfindung zugrundeliegenden Prinzips oder der ihr zugrundeliegenden Theorie angegeben ist
"X"
Veröffentlichung von besonderer Bedeutung; die beanspruchte Erfindung kann allein aufgrund dieser Veröffentlichung nicht als neu oder auf erfinderischer Tätigkeit beruhend betrachtet werden
"Y"
Veröffentlichung von besonderer Bedeutung; die beanspruchte Erfindung kann nicht als auf erfinderischer Tätigkeit beruhend betrachtet werden, wenn die Veröffentlichung mit einer oder mehreren Veröffentlichungen dieser Kategorie in Verbindung gebracht wird und diese Verbindung für einen Fachmann naheliegend ist
"&"
Veröffentlichung, die Mitglied derselben Patentfamilie ist

D. ANGABEN ZU VERÖFFENTLICHUNGEN, DIE ZUR SELBEN PATENTFAMILIE GEHÖREN

Im Recherchenbericht angeführtes Patentdokument Datum der Veröffentlichung
(Tag/Monat/Jahr)
Mitglied(er) der Patentfamilie Datum der Veröffentlichung
(Tag/Monat/Jahr)
US 2004111866 A1
17. Juni 2004
JP 3790748 B2
JP 2004188578 A
TW 590828 B
US 2004111866 A1
28. Juni 2006
08. Juli 2004
11. Juni 2004
17. Juni 2004
JP H11198014 A
27. Juli 1999
KEINE
JP 2009107089 A
21. Mai 2009
KEINE
DE 102017202649 A1
13. April 2017
KEINE
DE 102015223983 A1
08. Juni 2017
CN 108369299 A
DE 102015223983 A1
WO 2017093020 A1
03. August 2018
08. Juni 2017
08. Juni 2017
US 2009027641 A1
29. Januar 2009
JP 4986754 B2
JP 2009032938 A
KR 20090012116 A
TW 200918936 A
US 2009027641 A1
25. Juli 2012
12. Februar 2009
02. Februar 2009
01. Mai 2009
29. Januar 2009
US 2007229756 A1
04. Oktober 2007
AT 517733 T
AU 2004266196 A1
AU 2010257452 A1
CA 2535957 A1
CN 1946543 A
DE 10338893 A1
EP 1656248 A1
JP 4829790 B2
JP 2007503336 A
KR 20060054441 A
TW 200520890 A
US 2007229756 A1
US 2010060848 A1
WO 2005018919 A1
15. August 2011
03. März 2005
03. Februar 2011
03. März 2005
11. April 2007
07. April 2005
17. Mai 2006
07. Dezember 2011
22. Februar 2007
22. Mai 2006
01. Juli 2005
04. Oktober 2007
11. März 2010
03. März 2005
JP 2001054862 A
27. Februar 2001
KEINE
US 5951375 A
14. September 1999
CA 2205292 A1
DE 59601183 D1
EP 0807491 A1
US 5951375 A
17. November 1997
04. März 1999
19. November 1997
14. September 1999
US 5326413 A
05. Juli 1994
AU 9072791 A
US 5326413 A
WO 9208614 A1
11. Juni 1992
05. Juli 1994
29. Mai 1992
Name und Postanschrift der Internationalen Recherchenbehörde:
European Patent Office
P.B. 5818, Patentlaan 2, 2280 HV Rijswijk,
Niederlande
Tel.: (+31-70)340-2040
Fax: (+31-70)340-3016
Datum des tatsächlichen Abschlusses der internationalen Recherche:
02. Oktober 2018
Absendedatum des internationalen Recherchenberichts:
12. Oktober 2018
Bevollmächtigter Bediensteter:
Heckmann, Paul
Top    Part 1: 1 2 3 4 5 6         Part 2: A B C D E