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1. (WO2019050715) STRUCTURES AUTO-ALIGNÉES À PARTIR DE SOUS-OXYDES
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N° de publication : WO/2019/050715 N° de la demande internationale : PCT/US2018/048343
Date de publication : 14.03.2019 Date de dépôt international : 28.08.2018
CIB :
H01L 21/768 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
70
Fabrication ou traitement de dispositifs consistant en une pluralité de composants à l'état solide ou de circuits intégrés formés dans ou sur un substrat commun, ou de parties constitutives spécifiques de ceux-ci; Fabrication de dispositifs à circuit intégré ou de parties constitutives spécifiques de ceux-ci
71
Fabrication de parties spécifiques de dispositifs définis en H01L21/7089
768
Fixation d'interconnexions servant à conduire le courant entre des composants distincts à l'intérieur du dispositif
Déposants :
APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054, US
Inventeurs :
GANDIKOTA, Srinivas; US
ROY, Susmit Singha; US
MALLICK, Abhijit Basu; US
Mandataire :
BLANKMAN, Jeffrey I.; US
Données relatives à la priorité :
62/554,30605.09.2017US
Titre (EN) SELF-ALIGNED STRUCTURES FROM SUB-OXIDES
(FR) STRUCTURES AUTO-ALIGNÉES À PARTIR DE SOUS-OXYDES
Abrégé :
(EN) Methods of producing a self-aligned structure are described. The methods comprise forming a metal sub-oxide film in a substrate feature and oxidizing the sub-oxide film to form a self-aligned structure comprising metal oxide. In some embodiments, a metal film is deposited and then treated to form the metal sub-oxide film. In some embodiments, the process of depositing and treating the metal film to form the metal sub-oxide film is repeated until a predetermined depth of metal sub-oxide film is formed within the substrate feature.
(FR) L'invention concerne des procédés de production d'une structure auto-alignée. Les procédés comprennent la formation d'un film de sous-oxyde métallique dans un élément de substrat et l'oxydation du film de sous-oxyde pour former une structure auto-alignée comprenant de l'oxyde métallique. Dans certains modes de réalisation, un film métallique est déposé puis traité pour former le film de sous-oxyde métallique. Dans certains modes de réalisation, le procédé de dépôt et de traitement du film métallique pour former le film de sous-oxyde métallique est répété jusqu'à ce qu'une profondeur prédéterminée de film de sous-oxyde métallique soit formée à l'intérieur de l'élément de substrat.
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)