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1. (WO2019050663) APPAREIL ET PROCÉDÉ POUR COURANT DE FAISCEAU IONIQUE AMÉLIORÉ
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N° de publication : WO/2019/050663 N° de la demande internationale : PCT/US2018/046868
Date de publication : 14.03.2019 Date de dépôt international : 17.08.2018
CIB :
H01J 37/317 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
J
TUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37
Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
30
Tubes à faisceau électronique ou ionique destinés aux traitements localisés d'objets
317
pour modifier les propriétés des objets ou pour leur appliquer des revêtements en couche mince, p.ex. implantation d'ions
Déposants :
VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC. [US/US]; 35 Dory Road Gloucester, Massachusetts 01930, US
Inventeurs :
CHANG, Shengwu; US
SINCLAIR, Frank; US
LIKHANSKII, Alexandre; US
LAYNE, Philip; US
Mandataire :
ROY, Ronnen A.; US
Données relatives à la priorité :
15/699,25508.09.2017US
Titre (EN) APPARATUS AND METHOD FOR IMPROVED ION BEAM CURRENT
(FR) APPAREIL ET PROCÉDÉ POUR COURANT DE FAISCEAU IONIQUE AMÉLIORÉ
Abrégé :
(EN) An apparatus may include an electrode system, the electrode system comprising a plurality of electrodes to guide an ion beam from an entrance aperture to an exit aperture, and a voltage supply to apply a plurality of voltages to the electrode system. The electrode system may comprise an exit electrode assembly, where the exit electrode assembly includes a first exit electrode and a second exit electrode, separated from the first exit electrode by an electrode gap. The first exit electrode and the second exit electrode may be movable with respect to one another so as to change a size of the electrode gap over a gap range.
(FR) La présente invention concerne un appareil qui peut comprendre un système d'électrodes, le système d'électrodes comprenant une pluralité d'électrodes permettant de guider un faisceau ionique depuis une ouverture d'entrée vers une ouverture de sortie, et une source de tension permettant d'appliquer une pluralité de tensions au système d'électrodes. Le système d'électrodes peut comprendre un ensemble d'électrodes de sortie, l'ensemble d'électrodes de sortie comprenant une première électrode de sortie et une seconde électrode de sortie, séparées de la première électrode de sortie par un espace d'électrode. La première électrode de sortie et la seconde électrode de sortie peuvent être mobiles l'une par rapport à l'autre de manière à modifier une taille de l'espace d'électrode sur une plage d'espaces.
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)