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1. (WO2019050659) CHARNIÈRE EN SILICIUM MEMS À FACTEUR DE QUALITÉ ÉLEVÉ ET RÉSONATEUR À FENTE COUPÉE POUR GYROSCOPE VIBRANT
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N° de publication : WO/2019/050659 N° de la demande internationale : PCT/US2018/046559
Date de publication : 14.03.2019 Date de dépôt international : 13.08.2018
CIB :
G01C 19/5684 (2012.01) ,G01M 7/02 (2006.01)
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
C
MESURE DES DISTANCES, DES NIVEAUX OU DES RELÈVEMENTS; GÉODÉSIE; NAVIGATION; INSTRUMENTS GYROSCOPIQUES; PHOTOGRAMMÉTRIE OU VIDÉOGRAMMÉTRIE
19
Gyroscopes; Dispositifs sensibles à la rotation utilisant des masses vibrantes; Dispositifs sensibles à la rotation sans masse en mouvement; Mesure de la vitesse angulaire en utilisant les effets gyroscopiques
56
Dispositifs sensibles à la rotation utilisant des masses vibrantes, p.ex. capteurs vibratoires de vitesse angulaire basés sur les forces de Coriolis
567
utilisant le décalage de phase d'un noeud ou d'un anti-noeud de vibration
5677
de vibrateurs essentiellement à deux dimensions, p.ex. vibrateurs en forme d'anneau
5684
les dispositifs comportant une structure micromécanique
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
M
ESSAI D'ÉQUILIBRAGE STATIQUE OU DYNAMIQUE DES MACHINES, DES STRUCTURES OU DES OUVRAGES; ESSAI DES STRUCTURES, DES OUVRAGES OU DES APPAREILS, NON PRÉVU AILLEURS
7
Essai de vibration des structures ou ouvrages; Essai de résistance au choc des structures ou ouvrages
02
Essai de vibration
Déposants :
HRL LABORATORIES, LLC [US/US]; 3011 Malibu Canyon Road Malibu, California 90265-4799, US
Inventeurs :
HUANG, Lian X.; US
SORENSON, Logan D.; US
CHANG, Chia-ming "Gavin"; US
PERAHIA, Raviv; US
NGUYEN, Hung; US
CHANG, David T.; US
Mandataire :
LUSINCHI, Laurent P.; US
BERG, Richard P.; US
TOWER, Lee W.; US
GALLENSON, Mavis S.; US
KOBZEFF, Joseph M.; US
Données relatives à la priorité :
62/555,61707.09.2017US
Titre (EN) HIGH QUALITY FACTOR MEMS SILICON HINGE AND SLOT-CUT RESONATOR FOR A VIBRATORY GYROSCOPE
(FR) CHARNIÈRE EN SILICIUM MEMS À FACTEUR DE QUALITÉ ÉLEVÉ ET RÉSONATEUR À FENTE COUPÉE POUR GYROSCOPE VIBRANT
Abrégé :
(EN) A resonant structure comprising at least two coaxial rings, wherein adjacent coaxial rings have adjacent peripheries and are attached together by a plurality of connection structures regularly arranged along said adjacent peripheries; and wherein a first ring has a first ring portion with a first radial thickness and a second ring portion, in a vicinity of a first connection structure, with a second radial thickness smaller than said first radial thickness.
(FR) La présente invention concerne une structure résonante qui comprend au moins deux anneaux coaxiaux, des anneaux coaxiaux adjacents ayant des périphéries adjacentes et étant fixés conjointement par une pluralité de structures de raccordement agencées de façon régulière le long desdites périphéries adjacentes ; et un premier anneau ayant une première partie annulaire avec une première épaisseur radiale et une deuxième partie annulaire, à proximité d’une première structure de raccordement, ayant une deuxième épaisseur radiale inférieure à ladite première épaisseur radiale.
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)