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1. (WO2019048342) PROCÉDÉ ET APPAREIL DE MÉTROLOGIE POUR DÉTERMINER UN PARAMÈTRE DE TRAITEMENT DE MODÉLISATION
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N° de publication : WO/2019/048342 N° de la demande internationale : PCT/EP2018/073413
Date de publication : 14.03.2019 Date de dépôt international : 31.08.2018
CIB :
G03F 7/20 (2006.01)
G PHYSIQUE
03
PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
F
PRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
7
Production par voie photomécanique, p.ex. photolithographique, de surfaces texturées, p.ex. surfaces imprimées; Matériaux à cet effet, p.ex. comportant des photoréserves; Appareillages spécialement adaptés à cet effet
20
Exposition; Appareillages à cet effet
Déposants :
ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven, NL
Inventeurs :
TARABRIN, Sergey; NL
Mandataire :
BROEKEN, Petrus; NL
Données relatives à la priorité :
17189728.307.09.2017EP
Titre (EN) METHOD AND METROLOGY APPARATUS TO DETERMINE A PATTERNING PROCESS PARAMETER
(FR) PROCÉDÉ ET APPAREIL DE MÉTROLOGIE POUR DÉTERMINER UN PARAMÈTRE DE TRAITEMENT DE MODÉLISATION
Abrégé :
(EN) A method, includes illuminating a structure of a metrology target with radiation having a linear polarization in a first direction, receiving radiation redirected from the structure to a polarizing element, wherein the polarizing element has a polarization splitting axis at an angle to the first direction, and measuring, using the sensor system, an optical characteristic of the redirected radiation.
(FR) La présente invention concerne un procédé qui comprend l'éclairage d'une structure d'une cible de métrologie avec un rayonnement ayant une polarisation rectiligne orientée dans une première direction, la réception d'un rayonnement ayant été redirigé de la structure vers un élément de polarisation, l'élément de polarisation ayant un axe de division de polarisation en angle par rapport à la première direction, et la mesure, à l'aide du système de capteur, d'une caractéristique optique du rayonnement redirigé.
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)