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1. (WO2019048214) PROCÉDÉ ET APPAREIL DE MÉTROLOGIE
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N° de publication : WO/2019/048214 N° de la demande internationale : PCT/EP2018/072294
Date de publication : 14.03.2019 Date de dépôt international : 17.08.2018
CIB :
G03F 7/20 (2006.01)
G PHYSIQUE
03
PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
F
PRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
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Production par voie photomécanique, p.ex. photolithographique, de surfaces texturées, p.ex. surfaces imprimées; Matériaux à cet effet, p.ex. comportant des photoréserves; Appareillages spécialement adaptés à cet effet
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Exposition; Appareillages à cet effet
Déposants :
ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven, NL
Inventeurs :
JAK, Martin, Jacobus, Johan; NL
EBERT, Martin; NL
DEN BOEF, Arie, Jeffrey; NL
PANDEY, Nitesh; NL
Mandataire :
BROEKEN, Petrus; NL
Données relatives à la priorité :
17189662.406.09.2017EP
Titre (EN) METROLOGY METHOD AND APPARATUS
(FR) PROCÉDÉ ET APPAREIL DE MÉTROLOGIE
Abrégé :
(EN) A method comprising: evaluating a plurality of polarization characteristics associated with measurement of a metrology target of a substrate processed using a patterning process, against one or more measurement quality parameters; and selecting one or more polarization characteristics from the plurality of polarization characteristics based on one or more of the measurement quality parameters.
(FR) La présente invention concerne un procédé qui consiste à : évaluer une pluralité de caractéristiques de polarisation associées à la mesure d'une cible de métrologie d'un substrat traité à l'aide d'un processus de formation de motifs, l'évaluation étant faite par rapport à un ou plusieurs paramètres de qualité de mesure ; et sélectionner une ou plusieurs caractéristiques de polarisation dans la pluralité de caractéristiques de polarisation sur la base d'un ou de plusieurs des paramètres de qualité de mesure.
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)