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1. (WO2019048202) CAPTEUR DE GAZ POUR MESURER UNE CONCENTRATION DE GAZ D'ANALYSE
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N° de publication : WO/2019/048202 N° de la demande internationale : PCT/EP2018/072171
Date de publication : 14.03.2019 Date de dépôt international : 16.08.2018
CIB :
G01N 27/18 (2006.01)
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
N
RECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
27
Recherche ou analyse des matériaux par l'emploi de moyens électriques, électrochimiques ou magnétiques
02
en recherchant l'impédance
04
en recherchant la résistance
14
d'un corps chauffé électriquement dépendant de variations de température
18
produite par des variations de la conductivité thermique d'un matériau de l'espace environnant à essayer
Déposants :
ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart, DE
Inventeurs :
MUELLER, Renate; DE
FREY, Tobias Sebastian; DE
Données relatives à la priorité :
10 2017 215 527.205.09.2017DE
Titre (EN) GAS SENSOR FOR MEASURING A CONCENTRATION OF AN ANALYSIS GAS
(FR) CAPTEUR DE GAZ POUR MESURER UNE CONCENTRATION DE GAZ D'ANALYSE
(DE) GASSENSOR ZUM MESSEN EINER KONZENTRATION EINES ANALYSEGASES
Abrégé :
(EN) The invention relates to a gas sensor for measuring a concentration of an analysis gas based on a thermal conductivity principle, comprising at least one analysis heating element arranged on a first membrane for heating the analysis gas, a reference heating element arranged on a second membrane for heating a reference gas, and at least one evaluation electronics system for measuring a change in resistance of the analysis heating element relative to an electrical resistance of the reference heating element caused by the analysis gas, wherein the first membrane and the second membrane are arranged next to one another in a sensor substrate and wherein, by means of base substrate arranged on one side of the sensor substrate, a measuring volume can be formed between the first membrane and the base substrate and a reference volume can be formed between the second membrane and the base substrate.
(FR) La présente invention concerne un capteur de gaz pour mesurer une concentration de gaz d'analyse basé sur un principe de conductivité thermique, ayant au moins un élément thermique d'analyse disposé sur une première membrane pour chauffer le gaz d'analyse, un élément thermique de référence disposé sur une seconde membrane, au moins un circuit électronique d'évaluation pour mesurer une modification de résistance de l'élément thermique d'analyse provoquée par le gaz d'analyse par rapport à une résistance électrique de l'élément thermique de référence, la première membrane et la seconde membrane étant situées dans un substrat de capteur de manière adjacente l'une à l'autre et, à l'aide d'un substrat socle situé d'un côté sur le substrat de capteur entre la première membrane et le substrat socle, un volume de mesure et, entre la seconde membrane et le substrat socle, un volume de référence peut se former.
(DE) Offenbart ist ein Gassensor zum Messen einer Konzentration eines Analysegases basierend auf einem Wärmeleitfähigkeitsprinzip, mit mindestens einem auf einer ersten Membran angeordneten Analyseheizelement zum Erwärmen des Analysegases, mit einem auf einer zweiten Membran angeordneten Referenzheizelement zum Erwärmen eines Referenzgases, mit mindestens einer Auswerteelektronik zum Messen einer durch das Analysegas verursachten Widerstandsänderung des Analyseheizelementes relativ zu einem elektrischen Widerstand des Referenzheizelementes, wobei die erste Membran und die zweite Membran zueinander benachbart in einem Sensorsubstrat angeordnet sind und wobei durch ein einseitig an dem Sensorsubstrat angeordnetes Sockelsubstrat zwischen der ersten Membran und dem Sockelsubstrat ein Messvolumen und zwischen der zweiten Membran und dem Sockelsubstrat ein Referenzvolumen bildbar ist.
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Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)