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1. (WO2019048171) AGENCEMENT DE CAPTEURS DE VITESSE DE ROTATION MICROMÉCANIQUE À TROIS AXES COMPRENANT DES DISPOSITIFS CAPTEURS POUVANT ÊTRE ENTRAÎNÉS LINÉAIREMENT ET EN ROTATION
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N° de publication : WO/2019/048171 N° de la demande internationale : PCT/EP2018/071565
Date de publication : 14.03.2019 Date de dépôt international : 08.08.2018
CIB :
G01C 19/5712 (2012.01) ,G01C 19/5747 (2012.01)
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
C
MESURE DES DISTANCES, DES NIVEAUX OU DES RELÈVEMENTS; GÉODÉSIE; NAVIGATION; INSTRUMENTS GYROSCOPIQUES; PHOTOGRAMMÉTRIE OU VIDÉOGRAMMÉTRIE
19
Gyroscopes; Dispositifs sensibles à la rotation utilisant des masses vibrantes; Dispositifs sensibles à la rotation sans masse en mouvement; Mesure de la vitesse angulaire en utilisant les effets gyroscopiques
56
Dispositifs sensibles à la rotation utilisant des masses vibrantes, p.ex. capteurs vibratoires de vitesse angulaire basés sur les forces de Coriolis
5705
utilisant des masses entraînées dans un mouvement de rotation alternatif autour d'un axe
5712
les dispositifs comportant une structure micromécanique
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
C
MESURE DES DISTANCES, DES NIVEAUX OU DES RELÈVEMENTS; GÉODÉSIE; NAVIGATION; INSTRUMENTS GYROSCOPIQUES; PHOTOGRAMMÉTRIE OU VIDÉOGRAMMÉTRIE
19
Gyroscopes; Dispositifs sensibles à la rotation utilisant des masses vibrantes; Dispositifs sensibles à la rotation sans masse en mouvement; Mesure de la vitesse angulaire en utilisant les effets gyroscopiques
56
Dispositifs sensibles à la rotation utilisant des masses vibrantes, p.ex. capteurs vibratoires de vitesse angulaire basés sur les forces de Coriolis
5719
utilisant des masses planaires vibrantes entraînées dans une vibration de translation le long d’un axe
5733
Details de structure ou topologie
574
les dispositifs ayant deux masses de détection en mouvement en opposition de phase
5747
chaque masse de détection étant reliée à une masse d'entraînement, p.ex. cadres d'entraînement
Déposants :
ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart, DE
Inventeurs :
NEUL, Reinhard; DE
LASSL, Andreas; DE
KUHLMANN, Burkhard; DE
DEGENFELD-SCHONBURG, Peter; DE
PRUETZ, Odd-Axel; DE
KUHLMANN, Nils Felix; DE
LIEWALD, Jan-Timo; DE
BODE, Niels; DE
KUEHNEL, Matthias; DE
Données relatives à la priorité :
10 2017 215 503.505.09.2017DE
Titre (EN) THREE-AXIS MICROMECHANICAL ROTATION RATE SENSOR ARRANGEMENT HAVING SENSOR DEVICES WHICH CAN BE DRIVEN IN A LINEAR AND ROTATORY MANNER
(FR) AGENCEMENT DE CAPTEURS DE VITESSE DE ROTATION MICROMÉCANIQUE À TROIS AXES COMPRENANT DES DISPOSITIFS CAPTEURS POUVANT ÊTRE ENTRAÎNÉS LINÉAIREMENT ET EN ROTATION
(DE) DREIACHSIGE MIKROMECHANISCHE DREHRATEN-SENSORANORDNUNG MIT LINEAR UND ROTATORISCH ANTREIBBAREN SENSOREINRICHTUNGEN
Abrégé :
(EN) The invention relates to a micromechanical rotation rate sensor arrangement and a corresponding production method. The micromechanical rotation rate sensor arrangement according to the invention comprises a first rotation rate sensor device (100), which is rotatably drivable in an oscillating manner about a first axis (z), in order to detect a first outer rotation rate about a second axis (y) and a second outer rotation rate about a third axis (x), wherein the first, second and third axis (z, y, x) are arranged perpendicular to each other, and a second rotation rate sensor device (200; 201; 202), which is drivable in a linear oscillating manner along the second axis (y) by a drive device (AT; AT'; AT"), in order to detect a third outer rotation rate about the first axis (z). The second rotation rate sensor device (200; 201; 202) is connected to the first rotation sensor device (100) in order to drive the first rotation rate sensor device (100) by means of the drive device (200; 201; 202) via a first coupling device (S1, F5; S2, F6; SA, SB, F12).
(FR) L’invention concerne un agencement de capteurs de vitesse de rotation micromécanique et un procédé de fabrication correspondant. L’agencement de capteurs de vitesse de rotation micromécanique comprend un premier dispositif capteur de vitesse de rotation (100) pouvant être entraîné en rotation de façon oscillante autour d’un premier axe (z) pour la saisie d’une première vitesse de rotation externe autour d’un deuxième axe (y) et d’une deuxième vitesse de rotation externe autour d’un troisième axe (x), les premier, deuxième et troisième axes (z, y, x) étant disposés perpendiculairement les uns par rapport aux autres, et un deuxième dispositif capteur de vitesse de rotation (200 ; 201 ; 202) pouvant être entraîné linéairement de façon oscillante le long du deuxième axe (y) par un dispositif d’entraînement (AT ; AT' ; AT") pour la saisie d’une troisième vitesse de rotation autour du premier axe (z). Le deuxième dispositif capteur de vitesse de rotation (200 ; 201 ; 202) est relié au premier dispositif capteur de vitesse de rotation (100) au moyen d’un premier dispositif de couplage (S1, F5 ; S2, F6 ; SA, SB, F12), pour l’entraînement du premier dispositif capteur de vitesse de rotation (100) par le dispositif d’entraînement (200 ; 201 ; 202).
(DE) Die Erfindung schafft eine mikromechanische Drehraten-Sensoranordnung und ein entsprechendes Herstellungsverfahren. Die mikromechanische Drehraten-Sensoranordnung umfasst eine rotatorisch um eine erste Achse (z) oszillierend antreibbare erste Drehratensensoreinrichtung (100) zum Erfassen einer ersten äußeren Drehrate um eine zweite Achse (y) und einer zweiten äußeren Drehrate um eine dritte Achse (x), wobei die erste, zweite und dritte Achse (z, y, x) senkrecht zueinander angeordnet sind, und eine linear oszillierend entlang der zweiten Achse (y) durch eine Antriebseinrichtung (AT; AT'; AT") antreibbare zweite Drehratensensoreinrichtung (200; 201; 202) zum Erfassen einer dritten äußeren Drehrate um die erste Achse (z). Die zweite Drehratensensoreinrichtung (200; 201; 202) ist mit der ersten Drehratensensoreinrichtung (100) zum Antreiben der ersten Drehratensensoreinrichtung (100) durch die Antriebseinrichtung (200; 201; 202) über eine erste Kopplungseinrichtung (S1, F5; S2, F6; SA, SB, F12) verbunden.
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)