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1. (WO2019047938) SYSTÈME ET PROCÉDÉ DE CORRECTION DE GALVANOMÈTRE
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N° de publication : WO/2019/047938 N° de la demande internationale : PCT/CN2018/104693
Date de publication : 14.03.2019 Date de dépôt international : 07.09.2018
CIB :
G03F 7/20 (2006.01)
G PHYSIQUE
03
PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
F
PRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
7
Production par voie photomécanique, p.ex. photolithographique, de surfaces texturées, p.ex. surfaces imprimées; Matériaux à cet effet, p.ex. comportant des photoréserves; Appareillages spécialement adaptés à cet effet
20
Exposition; Appareillages à cet effet
Déposants :
上海微电子装备(集团)股份有限公司 SHANGHAI MICRO ELECTRONICS EQUIPMENT (GROUP) CO., LTD. [CN/CN]; 中国上海市 张江高科技园区张东路1525号 1525 Zhangdong Road, Zhangjiang High-Tech Park Shanghai 201203, CN
Inventeurs :
唐江锋 TANG, Jiangfeng; CN
刘志宇 LIU, Zhiyu; CN
朱振朋 ZHU, Zhenpeng; CN
Mandataire :
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) SHANGHAI SAVVY INTELLECTUAL PROPERTY AGENCY; 中国上海市 黄浦区复兴中路1号申能国际大厦606-607室 Units 606-607, Shenergy International Building 1 Middle Fuxing Road, Huangpu District Shanghai 200021, CN
Données relatives à la priorité :
201710807754.108.09.2017CN
Titre (EN) GALVANOMETER CORRECTION SYSTEM AND METHOD
(FR) SYSTÈME ET PROCÉDÉ DE CORRECTION DE GALVANOMÈTRE
(ZH) 一种振镜矫正系统及方法
Abrégé :
(EN) Provided in the present invention are a galvanometer correction system and method, which is implemented by means of the following steps: S1: causing the optical axis of a galvanometer to move along a first horizontal direction and a second horizontal direction respectively by means of changing the swinging angle of the galvanometer in a galvanometer scanning system so as to form a plurality of light spots within a field corresponding to the galvanometer, and measuring and recording the position of the plurality of light spots by means of a light spot position measurement device; S2: substituting data measured by the light spot position measurement device in an overlay model within the field to obtain an error parameter within a current galvanometer field; S3: calculating an error amount within a galvanometer field to be compensated according to the error parameter of the current galvanometer field, the error amount within the galvanometer field comprising an error amount in a first horizontal direction and an error amount in a second horizontal direction; S4: correcting the galvanometer scanning system by means of a galvanometer controller according to the error amount in the first horizontal direction and the error amount in the second horizontal direction that are obtained in S3, controlling the corrected galvanometer scanning system to re-scan and re-form a plurality of light spots, detecting and determining the precision of the plurality of re-formed light spots, and repeating steps S1 to S3 if precision is not satisfactory; stopping repetition of the steps and finishing error correction within the field if precision is satisfactory.
(FR) L'invention concerne un système et un procédé de correction de galvanomètre, mis en oeuvre selon les étapes suivantes : S1: amener l'axe optique d'un galvanomètre à se déplacer dans une première direction horizontale et une seconde direction horizontale respectivement, par changement de l'angle d'oscillation du galvanomètre dans un système de balayage galvanométrique, de façon à former une pluralité de points lumineux dans un champ correspondant au galvanomètre, et mesurer et enregistrer la position de la pluralité de points lumineux au moyen d'un dispositif de mesure de position de points lumineux; S2: remplacer des données mesurées par le dispositif de mesure de position de points lumineux dans un modèle de recouvrement à l'intérieur du champ afin d'obtenir un paramètre d'erreur dans un champ de galvanomètre courant; S3 : calculer une quantité d'erreur dans un champ de galvanomètre à compenser en fonction du paramètre d'erreur du champ de galvanomètre courant, la quantité d'erreur dans le champ de galvanomètre comprenant une quantité d'erreur dans une première direction horizontale et une quantité d'erreur dans une seconde direction horizontale; S4 : corriger le système de balayage galvanométrique au moyen d'un dispositif de commande de galvanomètre, en fonction de la quantité d'erreur dans la première direction horizontale et la quantité d'erreur dans la seconde direction horizontale obtenues à l'étape S3, commander le système de balayage galvanométrique corrigé pour balayer à nouveau et reformer une pluralité de points lumineux, détecter et déterminer la précision de la pluralité de points lumineux formés, et répéter les étapes S1 à S3 si la précision n'est pas satisfaisante; arrêter la répétition des étapes et terminer la correction d'erreur dans le champ si la précision est satisfaisante.
(ZH) 本发明提供了一种振镜矫正系统及方法,通过以下步骤实现:S1:通过改变振镜扫描系统中的振镜的摆动角度,使得所述振镜的光轴分别沿第一水平方向和第二水平方向移动,实现在振镜对应的场内形成多个光斑,光斑位置测量装置对所述多个光斑的位置进行测量并记录;S2:将所述光斑位置测量装置测量得到的数据代入场内套刻模型得到当前振镜场内误差参数;S3:根据当前振镜场内误差参数计算得到待补偿的振镜场内误差量,所述振镜场内误差量包括第一水平方向误差量和第二水平方向误差量;S4:通过振镜控制器,根据S3中得出的所述第一水平方向误差量和所述第二水平方向误差量对所述振镜扫描系统进行校正,控制校正后的所述振镜扫描系统进行重新扫描并重新形成多个光斑,并对重新形成的多个光斑进行检测以及精度判断,如精度不满足则重复S1至S3;如精度满足则停止重复步骤,完成场内误差矫正。
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Langue de publication : chinois (ZH)
Langue de dépôt : chinois (ZH)