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1. (WO2019046631) SONDE EN CARBONE VITREUX ET PROCÉDÉ DE MICROFABRICATION
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N° de publication : WO/2019/046631 N° de la demande internationale : PCT/US2018/048938
Date de publication : 07.03.2019 Date de dépôt international : 30.08.2018
CIB :
A61B 5/02 (2006.01) ,A61B 5/0492 (2006.01) ,A61B 17/74 (2006.01) ,G01R 1/06 (2006.01) ,H01L 21/31 (2006.01) ,H01L 21/768 (2006.01)
A NÉCESSITÉS COURANTES DE LA VIE
61
SCIENCES MÉDICALE OU VÉTÉRINAIRE; HYGIÈNE
B
DIAGNOSTIC; CHIRURGIE; IDENTIFICATION
5
Mesure servant à établir un diagnostic; Identification des individus
02
Mesure du pouls, du rythme cardiaque, de la pression sanguine ou du débit sanguin; Détermination combinée du pouls, du rythme cardiaque, de la pression sanguine; Evaluation d'un état cardio-vasculaire non prévue ailleurs, p.ex. utilisant la combinaison de techniques prévues dans le présent groupe et des techniques d'électrocardiographie; Sondes cardiaques pour mesurer la pression sanguine
A NÉCESSITÉS COURANTES DE LA VIE
61
SCIENCES MÉDICALE OU VÉTÉRINAIRE; HYGIÈNE
B
DIAGNOSTIC; CHIRURGIE; IDENTIFICATION
5
Mesure servant à établir un diagnostic; Identification des individus
04
Mesure de signaux bioélectriques du corps ou de parties de celui-ci
0488
Electromyographie
0492
Electrodes spécialement adaptées à cet effet, p.ex. électrodes en forme d'aiguille
A NÉCESSITÉS COURANTES DE LA VIE
61
SCIENCES MÉDICALE OU VÉTÉRINAIRE; HYGIÈNE
B
DIAGNOSTIC; CHIRURGIE; IDENTIFICATION
17
Instruments, dispositifs ou procédés chirurgicaux, p.ex. tourniquets
56
Instruments ou procédés chirurgicaux pour le traitement des os ou des articulations; Dispositifs spécialement adaptés à cet effet
58
pour ostéosynthèse, p.ex. plaques, vis ou analogues
68
Dispositifs de fixation interne
74
Dispositifs pour la tête du fémur
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
R
MESURE DES VARIABLES ÉLECTRIQUES; MESURE DES VARIABLES MAGNÉTIQUES
1
Détails ou dispositions des appareils des types couverts par les groupes G01R5/-G01R13/125
02
Éléments structurels généraux
06
Conducteurs de mesure; Sondes de mesure
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
02
Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
04
les dispositifs présentant au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface, p.ex. une jonction PN, une région d'appauvrissement, ou une région de concentration de porteurs de charges
18
les dispositifs ayant des corps semi-conducteurs comprenant des éléments du quatrième groupe de la Classification Périodique, ou des composés AIIIBV, avec ou sans impuretés, p.ex. des matériaux de dopage
30
Traitement des corps semi-conducteurs en utilisant des procédés ou des appareils non couverts par les groupes H01L21/20-H01L21/26162
31
pour former des couches isolantes en surface, p.ex. pour masquer ou en utilisant des techniques photolithographiques; Post-traitement de ces couches; Emploi de matériaux spécifiés pour ces couches
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
70
Fabrication ou traitement de dispositifs consistant en une pluralité de composants à l'état solide ou de circuits intégrés formés dans ou sur un substrat commun, ou de parties constitutives spécifiques de ceux-ci; Fabrication de dispositifs à circuit intégré ou de parties constitutives spécifiques de ceux-ci
71
Fabrication de parties spécifiques de dispositifs définis en H01L21/7089
768
Fixation d'interconnexions servant à conduire le courant entre des composants distincts à l'intérieur du dispositif
Déposants :
SAN DIEGO STATE UNIVERSITY RESEARCH FOUNDATION [US/US]; 5500 Campanile Drive SSE 1410B San Diego, CA 92182-8220, US
Inventeurs :
KASSEGNE, Sanuel, K.; US
NIMBALKAR, Surabhi; US
BALASUBRAMANI, Arvind; US
Mandataire :
MATHEWS, Glen, T.; US
LISA, Adams; US
AZRIN, Linda, B.; US
AMENDT, Kevin, C.; US
BAUER, John, A.; US
Données relatives à la priorité :
62/552,30430.08.2017US
Titre (EN) GLASSY CARBON PROBE AND MICROFABRICATION METHOD
(FR) SONDE EN CARBONE VITREUX ET PROCÉDÉ DE MICROFABRICATION
Abrégé :
(EN) A probe device is disclosed that includes one or more insulating layers and a glassy carbon layer. The glassy carbon layer includes one or more channels. Each channel includes a microstructure, which may include an electrode region, interconnect region, and bump pad region. The electrode region may be placed in contact with a human or animal patient or test subject and used to collect or deliver signals in applications such as electrocorticography (ECoG), electromyography (EMG), and neural stimulation. A method of making a probe includes depositing a glassy carbon precursor on a substrate, patterning the precursor using photolithography, pyrolyzing the precursor to allow the formation of glassy carbon, and depositing one or more insulating layers.
(FR) L'invention concerne un dispositif sonde qui comprend une ou plusieurs couches isolantes et une couche de carbone vitreux. La couche de carbone vitreux comprend un ou plusieurs canaux. Chaque canal comprend une microstructure, qui peut comprendre une région d'électrode, une région d'interconnexion et une région de plot en bosse. La région d'électrode peut être placée en contact avec un patient humain ou animal ou un sujet de test et utilisée pour collecter ou délivrer des signaux dans des applications telles que l'électrocorticographie (ECoG), l'électromyographie (EMG) et la stimulation neuronale. Un procédé de fabrication d'une sonde comprend le dépôt d'un précurseur de carbone vitreux sur un substrat, la formation de motifs du précurseur à l'aide de la photolithographie, la pyrolyse du précurseur pour permettre la formation de carbone vitreux, et le dépôt d'une ou de plusieurs couches isolantes.
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)