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1. (WO2019046419) DISPOSITION DE SONDES VERTICALES COMPORTANT UN TRANSFORMATEUR SPATIAL À MEMBRANE JUXTAPOSÉ
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N° de publication : WO/2019/046419 N° de la demande internationale : PCT/US2018/048534
Date de publication : 07.03.2019 Date de dépôt international : 29.08.2018
CIB :
G01R 1/06 (2006.01) ,G01R 1/07 (2006.01) ,G01R 31/28 (2006.01)
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
R
MESURE DES VARIABLES ÉLECTRIQUES; MESURE DES VARIABLES MAGNÉTIQUES
1
Détails ou dispositions des appareils des types couverts par les groupes G01R5/-G01R13/125
02
Éléments structurels généraux
06
Conducteurs de mesure; Sondes de mesure
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
R
MESURE DES VARIABLES ÉLECTRIQUES; MESURE DES VARIABLES MAGNÉTIQUES
1
Détails ou dispositions des appareils des types couverts par les groupes G01R5/-G01R13/125
02
Éléments structurels généraux
06
Conducteurs de mesure; Sondes de mesure
067
Sondes de mesure
07
Sondes n'établissant pas de contact
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
R
MESURE DES VARIABLES ÉLECTRIQUES; MESURE DES VARIABLES MAGNÉTIQUES
31
Dispositions pour vérifier les propriétés électriques; Dispositions pour la localisation des pannes électriques; Dispositions pour l'essai électrique caractérisées par ce qui est testé, non prévues ailleurs
28
Essai de circuits électroniques, p.ex. à l'aide d'un traceur de signaux
Déposants :
FORMFACTOR, INC. [US/US]; 7005 Southfront Road Livermore, CA 94551, US
Inventeurs :
ELDRIDGE, Benjamin, N.; US
WATANABE, Masanori; JP
KUHNERT, Scott; US
COUSSENS, Jeffrey; US
Mandataire :
LODENKAMPER, Robert; US
Données relatives à la priorité :
62/552,23230.08.2017US
Titre (EN) VERTICAL PROBE ARRAY HAVING A TILED MEMBRANE SPACE TRANSFORMER
(FR) DISPOSITION DE SONDES VERTICALES COMPORTANT UN TRANSFORMATEUR SPATIAL À MEMBRANE JUXTAPOSÉ
Abrégé :
(EN) Vertical probe heads having a space transformer laterally tiled into several sections are provided. This change relative to conventional approaches improves manufacturing yield. These probe heads can include metal ground planes, and in embodiments where the ground planes are provided as separate metal plates parallel to the guide plates, the metal plates can also be laterally tiled into several sections. Such tiling of metal plates improves manufacturing yield and alleviates thermal mismatch issues. Probes are not mechanically connected to the space transformer, which facilitates replacement of individual probes of an array.
(FR) L'invention concerne des têtes de sondes verticales pourvues d'un transformateur spatial juxtaposé latéralement en plusieurs sections. Ce changement par rapport à des approches classiques améliore le rendement de fabrication. Ces têtes de sondes peuvent comprendre des plans de masse métalliques, et dans des modes de réalisation où les plans de masse sont fournis sous la forme de plaques métalliques séparées parallèles aux plaques de guidage, les plaques métalliques peuvent également être juxtaposées latéralement en plusieurs sections. Une telle juxtaposition des plaques métalliques améliore le rendement de fabrication et atténue les problèmes de désadaptation thermique. Les sondes ne sont pas reliées mécaniquement au transformateur spatial, ce qui facilite le remplacement de sondes individuelles d'une matrice.
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)