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1. (WO2019046141) FORMATION D'UN CLASSIFICATEUR DE DÉFAUTS BASÉ SUR L'APPRENTISSAGE
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N° de publication : WO/2019/046141 N° de la demande internationale : PCT/US2018/048042
Date de publication : 07.03.2019 Date de dépôt international : 27.08.2018
CIB :
H01L 21/66 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
66
Essai ou mesure durant la fabrication ou le traitement
Déposants :
KLA-TENCOR CORPORATION [US/US]; Legal Department One Technology Drive Milpitas, California 95035, US
Inventeurs :
BRAUER, Bjorn; US
Mandataire :
MCANDREWS, Kevin; US
MORRIS, Elizabeth M. N; US
Données relatives à la priorité :
16/109,63122.08.2018US
62/553,35101.09.2017US
Titre (EN) TRAINING A LEARNING BASED DEFECT CLASSIFIER
(FR) FORMATION D'UN CLASSIFICATEUR DE DÉFAUTS BASÉ SUR L'APPRENTISSAGE
Abrégé :
(EN) Methods and systems for training a learning based defect classifier are provided. One method includes training a learning based defect classifier with a training set of defects that includes identified defects of interest (DOIs) and identified nuisances. The DOIs and nuisances in the training set include DOIs and nuisances identified on at least one training wafer and at least one inspection wafer. The at least one training wafer is known to have an abnormally high defectivity and the at least one inspection wafer is expected to have normal defectivity.
(FR) La présente invention concerne des procédés et des systèmes pour la formation d'un classificateur de défauts basé sur l'apprentissage. Un procédé comprend la formation d'un classificateur de défauts basé sur l'apprentissage avec un ensemble de formation de défauts qui comprend des défauts d'intérêt (DOI) identifiés et des nuisances identifiées. Les DOI et les nuisances dans l'ensemble de formation comprennent des DOI et des nuisances identifiés sur au moins une plaquette de formation et au moins une tranche d'inspection. L'une ou les plaquettes de formation sont connues pour avoir une défectivité anormalement élevée et l'une ou les plaquettes d'inspection sont censées avoir une défectivité normale.
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)