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1. (WO2019046093) SYSTÈMES ET PROCÉDÉS PERMETTANT D'OBTENIR UNE AMÉLIORATION D'ÉNERGIE IONIQUE DE CRÊTE AVEC UN FAIBLE ÉTALEMENT ANGULAIRE
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N° de publication : WO/2019/046093 N° de la demande internationale : PCT/US2018/047710
Date de publication : 07.03.2019 Date de dépôt international : 23.08.2018
CIB :
H01J 37/32 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
J
TUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37
Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
32
Tubes à décharge en atmosphère gazeuse
Déposants :
LAM RESEARCH CORPORATION [US/US]; 4650 Cushing Parkway Fremont, CA 94538, US
Inventeurs :
SHOEB, Juline; US
WU, Ying; US
PATERSON, Alex; US
Mandataire :
PATEL, Nishitkumar, V.; US
PENILLA, Albert, S.; US
Données relatives à la priorité :
15/693,13431.08.2017US
Titre (EN) SYSTEMS AND METHODS FOR ACHIEVING PEAK ION ENERGY ENHANCEMENT WITH A LOW ANGULAR SPREAD
(FR) SYSTÈMES ET PROCÉDÉS PERMETTANT D'OBTENIR UNE AMÉLIORATION D'ÉNERGIE IONIQUE DE CRÊTE AVEC UN FAIBLE ÉTALEMENT ANGULAIRE
Abrégé :
(EN) Systems and methods for increasing peak ion energy with a low angular spread of ions are described. In one of the systems, multiple radio frequency (RF) generators that are coupled to an upper electrode associated with a plasma chamber are operated in two different states, such as two different frequency levels, for pulsing of the RF generators. The pulsing of the RF generators facilitates a transfer of ion energy during one of the states to another one of the states for increasing ion energy during the other state to further increase a rate of processing a substrate.
(FR) Cette invention concerne des systèmes et des procédés pour accroître l'énergie ionique de crête avec un faible étalement angulaire des ions. Dans l'un des systèmes, de multiples générateurs de radiofréquences (RF) qui sont couplés à une électrode supérieure associée à une chambre à plasma sont activés dans deux états différents, tels que deux niveaux de fréquence différents, pour transmettre des impulsions aux générateurs RF. La transmission d'impulsions aux générateurs RF facilite un transfert d'énergie ionique sous l'un des états à un autre des états pour accroître l'énergie ionique sous l'autre état afin d'accroître davantage une vitesse de traitement d'un substrat.
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
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Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)