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1. (WO2019045537) STRUCTURE DE SUPPORT
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N° de publication : WO/2019/045537 N° de la demande internationale : PCT/KR2018/010196
Date de publication : 07.03.2019 Date de dépôt international : 03.09.2018
CIB :
H01L 21/687 (2006.01) ,H01L 21/683 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67
Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
683
pour le maintien ou la préhension
687
en utilisant des moyens mécaniques, p.ex. mandrins, pièces de serrage, pinces
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67
Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
683
pour le maintien ou la préhension
Déposants :
주성엔지니어링(주) JUSUNG ENGINEERING CO., LTD. [KR/KR]; 경기도 광주시 오포읍 오포로 240 240, Opo-ro, Opo-eup Gwangju-si Gyeonggi-do 12773, KR
Inventeurs :
우람 WOO, Ram; KR
김기범 KIM, Ki Bum; KR
김희정 KIM, Hee Jeong; KR
배종태 BAE, Jong Tae; KR
이길제 LEE, Gil Je; KR
하윤규 HA, Yun Gyu; KR
Mandataire :
이승찬 LEE, Seung Chan; KR
Données relatives à la priorité :
10-2017-011254404.09.2017KR
Titre (EN) SUPPORT STRUCTURE
(FR) STRUCTURE DE SUPPORT
(KO) 지지구조체
Abrégé :
(EN) One embodiment of a support structure can comprise: a pin insertion member having a hollow portion, which is formed in the longitudinal direction and into which a substrate support pin is inserted; a plurality of support members provided in the circumferential direction at the upper and lower parts of the pin insertion member, and making rolling contact with the substrate support pin so as to support the longitudinal movement of the pin insertion member of the substrate support pin; and a coupling member, which is coupled to the outer peripheral surface of the pin insertion member, encompasses the plurality of support members so as to press the support members in the diametrical direction of the pin insertion member, and couples the plurality of support members to the pin insertion member.
(FR) L'invention concerne un mode de réalisation d'une structure de support qui peut comprendre : un élément d'insertion de broche ayant une partie creuse, qui est formée dans la direction longitudinale et dans laquelle une broche de support de substrat est insérée ; une pluralité d'éléments de support disposés dans la direction circonférentielle au niveau des parties supérieure et inférieure de l'élément d'insertion de broche, et établissant un contact de roulement avec la broche de support de substrat de manière à supporter le mouvement longitudinal de l'élément d'insertion de broche de la broche de support de substrat ; et un élément de couplage, qui est couplé à la surface périphérique externe de l'élément d'insertion de broche, englobe la pluralité d'éléments de support de manière à presser les éléments de support dans la direction diamétrale de l'élément d'insertion de broche, et couple la pluralité d'éléments de support à l'élément d'insertion de broche.
(KO) 지지구조체의 일 실시예는, 기판지지핀이 삽입되는 중공이 길이방향으로 형성되는 핀삽입부재; 상기 핀삽입부재의 상부 및 하부에 원주방향으로 복수로 구비되고, 상기 기판지지핀과 롤링접촉하여 상기 기판지지핀의 상기 핀삽입부재의 길이방향 이동을 지지하는 지지부재; 및 상기 핀삽입부재 외주면에 결합하며, 복수의 상기 지지부재를 둘러싸도록 구비되어 상기 지지부재를 상기 핀삽입부재의 직경방향으로 가압하고, 복수의 상기 지지부재를 상기 핀삽입부재에 결합하는 결합부재를 포함할 수 있다.
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Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : coréen (KO)
Langue de dépôt : coréen (KO)