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1. (WO2019043299) DÉTECTEUR THERMIQUE ET RÉSEAU DE DÉTECTEURS THERMIQUES
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N° de publication : WO/2019/043299 N° de la demande internationale : PCT/FI2018/050619
Date de publication : 07.03.2019 Date de dépôt international : 31.08.2018
CIB :
G01J 5/20 (2006.01) ,G01J 5/02 (2006.01) ,G01J 5/04 (2006.01) ,G01J 5/08 (2006.01) ,B81C 1/00 (2006.01)
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
J
MESURE DE L'INTENSITÉ, DE LA VITESSE, DU SPECTRE, DE LA POLARISATION, DE LA PHASE OU DES CARACTÉRISTIQUES D'IMPULSIONS DE LUMIÈRE INFRAROUGE, VISIBLE OU ULTRAVIOLETTE; COLORIMÉTRIE; PYROMÉTRIE DES RADIATIONS
5
Pyrométrie des radiations
10
en utilisant des détecteurs électriques de radiations
20
en utilisant des éléments résistants, thermorésistants ou semi-conducteurs sensibles aux radiations
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
J
MESURE DE L'INTENSITÉ, DE LA VITESSE, DU SPECTRE, DE LA POLARISATION, DE LA PHASE OU DES CARACTÉRISTIQUES D'IMPULSIONS DE LUMIÈRE INFRAROUGE, VISIBLE OU ULTRAVIOLETTE; COLORIMÉTRIE; PYROMÉTRIE DES RADIATIONS
5
Pyrométrie des radiations
02
Détails
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
J
MESURE DE L'INTENSITÉ, DE LA VITESSE, DU SPECTRE, DE LA POLARISATION, DE LA PHASE OU DES CARACTÉRISTIQUES D'IMPULSIONS DE LUMIÈRE INFRAROUGE, VISIBLE OU ULTRAVIOLETTE; COLORIMÉTRIE; PYROMÉTRIE DES RADIATIONS
5
Pyrométrie des radiations
02
Détails
04
Boîtiers
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
J
MESURE DE L'INTENSITÉ, DE LA VITESSE, DU SPECTRE, DE LA POLARISATION, DE LA PHASE OU DES CARACTÉRISTIQUES D'IMPULSIONS DE LUMIÈRE INFRAROUGE, VISIBLE OU ULTRAVIOLETTE; COLORIMÉTRIE; PYROMÉTRIE DES RADIATIONS
5
Pyrométrie des radiations
02
Détails
08
Particularités optiques
B TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
81
TECHNOLOGIE DES MICROSTRUCTURES
C
PROCÉDÉS OU APPAREILS SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À LA FABRICATION OU AU TRAITEMENT DE DISPOSITIFS OU DE SYSTÈMES À MICROSTRUCTURE
1
Fabrication ou traitement de dispositifs ou de systèmes dans ou sur un substrat
Déposants :
TEKNOLOGIAN TUTKIMUSKESKUS VTT OY [FI/FI]; Vuorimiehentie 3 02150 Espoo, FI
Inventeurs :
VARPULA, Aapo; FI
GUO, Bin; FI
Mandataire :
KOLSTER OY AB; (Salmisaarenaukio 1) P.O.Box 204 00181 Helsinki, FI
Données relatives à la priorité :
2017577931.08.2017FI
Titre (EN) THERMAL DETECTOR AND THERMAL DETECTOR ARRAY
(FR) DÉTECTEUR THERMIQUE ET RÉSEAU DE DÉTECTEURS THERMIQUES
Abrégé :
(EN) A wafer-level integrated thermal detector comprises a first wafer and a second wafer (W1, W2) bonded together. The first wafer (W1) includes a dielectric or semiconducting substrate (100), a dielectric sacrificial layer (102) deposited on the substrate, a support layer (104) deposited on the sacrificial layer or the substrate, a suspended active element (108) provided within an opening (106) in the support layer, a first vacuum-sealed cavity (110) and a second vacuum-sealed cavity (106) on opposite sides of the suspended active element. The first vacuum-sealed cavity (110) extends into the sacrificial layer (102) at the location of the suspended active element (108). The second vacuum-sealed cavity (106) comprises the opening of the support layer (104) closed by the bonded second wafer. The thermal detector further comprises front optics (120) for entrance of radiation from outside into one of the first and second vacuum-sealed cavities, a back reflector (112) arranged to reflect radiation back into the other one of the first and second vacuum-sealed cavities, and electrical connections (114) for connecting the suspended active element to a readout circuit (118).
(FR) Cette invention concerne un détecteur thermique intégré sur tranche, comprenant une première tranche et une seconde tranche (W1, W2) soudées l'une à l'autre. La première tranche (W1) comprend un substrat diélectrique ou semi-conducteur (100), une couche sacrificielle diélectrique (102) déposée sur le substrat, une couche de support (104) déposée sur la couche sacrificielle ou le substrat, un élément actif suspendu (108) disposé à l'intérieur d'une ouverture (106) dans la couche de support, une première cavité scellée sous vide (110) et une seconde cavité scellée sous vide (106) sur des côtés opposés de l'élément actif suspendu. La première cavité scellée sous vide (110) s'étend à l'intérieur de la couche sacrificielle (102) à l'emplacement de l'élément actif suspendu (108). La seconde cavité scellée sous vide (106) comprend l'ouverture de la couche de support (104) fermée par la seconde tranche soudée. Le détecteur thermique comprend en outre un élément optique avant (120) pour l'entrée d'un rayonnement depuis l'extérieur dans l'une des première et seconde cavités scellées sous vide, un réflecteur arrière (112) agencé pour réfléchir le rayonnement dans l'autre des première et seconde cavités scellées sous vide, et des connexions électriques (114) pour connecter l'élément actif suspendu à un circuit de lecture (118).
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)