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1. (WO2019042905) OUTIL D'INSPECTION DE FAISCEAU D'ÉLECTRONS
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N° de publication : WO/2019/042905 N° de la demande internationale : PCT/EP2018/072939
Date de publication : 07.03.2019 Date de dépôt international : 25.08.2018
CIB :
H01J 37/20 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
J
TUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37
Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
02
Détails
20
Moyens de support ou de mise en position de l'objet ou du matériau; Moyens de réglage de diaphragmes ou de lentilles associées au support
Déposants :
ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven, NL
Inventeurs :
VAN BANNING, Dennis, Herman, Caspar; NL
GOSEN, Jeroen, Gerard; NL
KADIJK, Edwin, Cornelis; NL
TER HEERDT, Maarten, Lambertus, Henricus; NL
Mandataire :
PETERS, John; NL
Données relatives à la priorité :
17188682.331.08.2017EP
17206118.608.12.2017EP
Titre (EN) ELECTRON BEAM INSPECTION TOOL
(FR) OUTIL D'INSPECTION DE FAISCEAU D'ÉLECTRONS
Abrégé :
(EN) An e-beam inspection tool is disclosed, the tool comprising: an electron optics system configured to generate an electron beam; an object table configured to hold a specimen; a positioning device configured to position the object table, the positioning device comprising an actuator, wherein the positioning device further comprises a heating device configured to generate a heat load and a heat load controller to control the generated heat load at least partly based on an actuator heat load generated in the actuator.
(FR) L'invention concerne un outil d'inspection de faisceau d'électrons, l'outil comprenant : un système d'optique électronique conçu pour générer un faisceau d'électrons ; une table d'objet conçue pour contenir un échantillon ; un dispositif de positionnement conçu pour positionner la table d'objet, le dispositif de positionnement comprenant un actionneur, le dispositif de positionnement comprenant en outre un dispositif de chauffage conçu pour générer une charge de chaleur et un dispositif de commande de charge de chaleur pour commander la charge de chaleur générée au moins partiellement sur la base d'une charge de chaleur d'actionneur générée dans l'actionneur.
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)